变动量的图表的同一湿度下的质量变动量，能够对附着于双 方的传感器的颗粒的质量的比进行运算。通过使用运算出的质量的比作为修正系数，能够 修正附着于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20的颗粒的质量的差。 W例图12是示意地表示修正附着于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20 的颗粒的质量的差的修正系数的运算方法的图。
[0070] 在图12中，横轴表示附着于测定用QCM传感器10的颗粒的吸湿-干燥循环所引 起的质量变动量，纵轴表示附着于参照用QCM传感器20的颗粒的吸湿-干燥循环所引起的 质量变动量。另外，在图12中，黑点表示同一湿度下的附着于测定用QCM传感器10化及参 照用QCM传感器20的颗粒的吸湿-干燥循环所引起的质量变动量的相关关系。
[0071] 在图12中，W箭头C表示的直线是使黑点一阶近似后的直线。在图12中W箭头 C表示的直线的倾斜度a/c为1. 2。运意味着附着于测定用QCM传感器10的颗粒的质量是 附着于参照用QCM传感器20的颗粒的质量的1. 2倍。
[0072] 在第=处理中，通过执行参照图11W及12说明的处理，对修正附着的颗粒的质量 的差的修正系数进行运算。通过使用运算出的修正系数，排除分别附着于测定用QCM传感 器10 W及参照用QCM传感器20的颗粒的质量差的影响。
[0073] 通过执行第二处理和第S处理，对测定用QCM传感器10的腐蚀量进行运算。测定 用QCM传感器10的腐蚀量mW式（1)表不。 W74][式 1] 阳0巧]
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[0076] 运里，b是在第二处理运算出的测定用QCM传感器10的电极的腐蚀W及附着于测 定用QCM传感器10的颗粒所引起的质量增加量。另外，d是在第二处理运算出的附着于参 照用QCM传感器10的颗粒所引起的质量增加量。而且，a/c是在第S处理运算出的修正系 数。 阳077] 图13是控制部50的功能框图。
[0078] 控制部50具有装置启动停止部501、测定部502、频率湿度检查部503、质量增加量 决定部504、修正系数决定部505、腐蚀量运算部506、W及警报输出部507。
[0079] 装置启动停止部501判定是否从接口部42接收了测定开始指令信号。若判定为 从接口部42接收了测定开始指令信号，则装置启动停止部501将当前时刻作为测定开始时 刻存储于存储部41，并向测定部502发送测定开始指示信号。
[0080] 装置启动停止部501判定是否从接口部42接收了测定结束指令信号。若从接口 部42接收了测定结束指令信号，则装置启动停止部501将当前时刻作为测定结束时刻存储 于存储部41，并且向频率湿度检查部503发送频率湿度检查指示信号。
[0081] 装置启动停止部501判定是否从频率湿度检查部503 W及质量增加量决定部504 发送了警报信号。
[0082] 测定部502若接收了测定开始指示信号，则测定部502开始测定用QCM传感器10 的频率的测定。另外，比较存储于存储部41的测定时刻的最新的测定时刻与当前时刻，判 定是否经过了规定的测定间隔期间。若判定为经过了规定的测定间隔期间，则测定部502 开始测定用QCM传感器10的频率的测定。具体而言，测定部502向切换电路30发送切换 信号W测定测定用QCM传感器10的振荡频率。测定部502将从频率计数器31发送的计数 器信号作为测定用QCM计数器信号存储于存储部41。若将测定用QCM计数器信号存储于存 储部41，则测定部502结束测定用QCM传感器10的频率的测定。
[0083] 若结束测定用QCM传感器10的频率的测定，则测定部502开始参照用QCM传感器 20的频率的测定。具体而言，测定部502向切换电路30发送切换信号W测定参照用QCM传 感器20的振荡频率。测定部502将从频率计数器31发送的计数器信号作为参照用QCM计 数器信号存储于存储部41。若将参照用QCM计数器信号存储于存储部41，则测定部502结 束参照用QCM传感器20的频率的测定。
[0084] 若结束参照用QCM传感器20的频率的测定，则测定部502将从湿度值转换部52 发送的湿度信号存储于存储部41。若将湿度信号存储于存储部41，则测定部502存储当前 时刻作为测定时刻。在一系列的处理中存储于存储部41的测定用QCM计数器信号、参照用 QCM计数器信号W及湿度信号与作为测定时刻存储的当前时刻相关联地存储。 阳0化]测定部502能够按时间序列依次存储测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感 器20的频率W及湿度。根据按时间序列依次存储的测定用QCM传感器10W及参照用QCM 传感器20的频率W及湿度，对测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20的质量增加 量进行运算。
[0086] 频率湿度检查部503根据存储于存储部41的测定用QCM传感器10W及参照用 QCM传感器20的频率与在同一时刻测定出的湿度的关系，检查各个频率与湿度的关系是否 满足图8所示的关系。若从装置启动停止部501接收了频率湿度检查指示信号则频率湿度 检查部503开始检查处理。
[0087] 对于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20的频率，频率湿度检查部503 分别每隔十二小时检查频率与湿度的关系。首先，频率湿度检查部503在检查频率与湿度 的关系时，判定湿度50%~80%时的频率的测定点数是否比规定的阔值多。若判定为湿度 50%~80%的时的频率的测定点数比规定的阔值多，则频率湿度检查部503判定频率与湿 度的关系是否与S型（Sigmoid)函数拟合。频率湿度检查部503判定将纵轴设为频率，并 将横轴设为湿度来将频率与湿度的关系曲线化后的图表是否与S型函数拟合。若判定为频 率与湿度的关系与S型函数拟合，则频率湿度检查部503将拟合结果存储于存储部41，并向 质量增加量决定部504发送质量增加量决定指示信号。
[0088] 若判定为频率与湿度的关系不与S型函数拟合，则频率湿度检查部503向警报输 出部507发送未拟合信号和表示未拟合的时间段的未拟合时间段信号。频率湿度检查部 503针对存储于存储部41的全部的测定用QCM频率信号W及参照用QCM频率信号执行判定 处理，之后在没有判定为拟合的信号时向警报输出部507发送拟合失败信号。
[0089] 若从频率湿度检查部503接收了质量增加量决定指示信号，则质量增加量决定部 504开始为了排除颗粒的吸湿-干燥循环所引起的质量变动的影响而执行的第二处理。
[0090] 为了执行第二处理，质量增加量决定部504对与存储于存储部41的湿度信号对应 的湿度在10%W下的湿度信号的数目进行计数。接下来，质量增加量决定部504判定计数 的湿度信号的数目是否在五个W上。质量增加量决定部504在计数的湿度信号的数目不满 五个时，对与湿度信号对应的湿度在20%W下的湿度信号的数目进行计数，并判定湿度在 20%W下的湿度信号的数目是否在五个W上。质量增加量决定部504到判定为计数的湿度 信号的数目在五个W上为止，将湿度每次提高10%反复相同的处理。在即使将湿度提高到 60%也未判定为计数的湿度信号的数目在五个W上时，质量增加量决定部504向警报输出 部507发送运算数不足信号。
[0091] 若判定为计数的湿度信号的数目在五个W上，则质量增加量决定部504选择与计 数的湿度信号相关联的测定用QCM计数器信号W及参照用QCM计数器信号。质量增加量决 定部504通过从与较低的湿度对应的湿度信号开始依次选择，选择与较低的湿度所对应的 湿度信号相关联的测定用QCM计数器信号W及参照用QCM计数器信号来执行第二处理。
[0092] 质量增加量决定部504根据选择的测定用QCM计数器信号、和与选择的测定用QCM 计数器信号相关联的测定时刻来对测定用QCM传感器10的电极的腐蚀W及附着于测定用 QCM传感器10的颗粒所引起的质量增加量进行运算。
[0093] 质量增加量决定部504根据与选择的测定用QCM计数器信号对应的频率的大小， 对测定用QCM传感器10的质量增加量进行运算。质量增加量决定部504对将运算出的测 定用QCM传感器10的质量增加量与测定时刻的关系曲线化时的近似直线进行运算。质量 增加量决定部504根据运算出的近似直线和测定结束时刻，决定测定用QCM传感器10的电 极的腐蚀W及附着于测定用QCM传感器10的颗粒所引起的质量增加量。
[0094] 质量增加量决定部504根据选择的参照用QCM计数器信号、和与选择的参照用QCM 计数器信号相关联的测定时刻对附着于参照用QCM传感器20的颗粒所引起的质量增加量 进行运算。
[0095] 质量增加量决定部504根据与选择的参照用QCM计数器信号对应的频率的大小， 对参照用QCM传感器20的质量增加量进行运算。质量增加量决定部504对将运算出的参 照用QCM传感器20的质量增加量与测定时刻的关系曲线化时的近似直线进行运算。质量 增加量决定部504根据运算出的近似直线和测定结束时刻，决定附着于参照用QCM传感器 20的颗粒所引起的质量增加量。
[0096] 若决定附着于参照用QCM传感器20的颗粒所引起的质量增加量，则质量增加量决 定部504向修正系数决定部505发送修正系数决定指示信号。 阳097] 若从质量增加量决定部504接收到修正系数决定指示信号，则修正系数决定部 505开始为了排除分别附着于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20的颗粒的质 量差的影响而执行的第=处理。
[0098] 修正系数决定部505对附着于测定用QCM传感器10的颗粒的吸湿-干燥循环所 引起的质量变动量进行运算。在质量变动量的运算中，修正系数决定部505使用存储于存 储部41的测定用QCM计数器信号、和将质量增加量决定部504运算出的测定用QCM传感器 10的质量增加量和测定时刻的关系曲线化时的近似直线。修正系数决定部505根据与测 定用QCM计数器信号各个对应的频率的大小，对测定用QCM传感器10的质量增加量进行运 算。修正系数决定部505从测定用QCM传感器10的质量增加量，减去根据近似直线运算出 的对应的测定时刻的测定用QCM传感器10的电极的腐蚀W