的成功次数为零，则处理进入步骤S211。若频 率湿度检查部503判定判定为拟合的成功次数不为零，则处理进入步骤S212。
[0134] 若处理进入步骤S211，则频率湿度检查部503向警报输出部507发送拟合失败信 号。若处理进入步骤S212,则频率湿度检查部503向质量增加量决定部504发送质量增加 量决定指示信号。 阳135] 图16是在图14作为步骤Sill示出的质量增加量处理的处理流程的流程图。 阳136]首先，在步骤S301中，质量增加量决定部504将阔值湿度设定为10%。 阳137] 接下来，在步骤S302中，质量增加量决定部504对与存储于存储部41的湿度信号 对应的湿度在10%W下的湿度信号的数目进行计数。
[0138] 接下来，在步骤S303中，质量增加量决定部504判定计数的湿度信号的数目是否 在五点W上。在质量增加量决定部504判定为计数的湿度信号的数不在五点W上时，处理 进入步骤S304。在质量增加量决定部504判定为计数的湿度信号的数目在五点W上时，处 理进入步骤S307。
[0139] 若处理进入步骤S304,则质量增加量决定部504将阔值湿度提高10 %达到20%。
[0140] 接下来，在步骤S305中，质量增加量决定部504判定阔值湿度是否比60%大。在 质量增加量决定部504判定为阔值湿度不比60%大时，处理返回到步骤S302。在质量增加 量决定部504判定为阔值湿度比60 %大时，处理进入步骤S306。 阳141] 质量增加量决定部504到在步骤S303中判定为计数的湿度信号的数目在五点W 上，或者在步骤S305中判定为阔值湿度比60%大为止，反复执行步骤S302~S305的处理。 阳142] 若进入步骤S307,则质量增加量决定部504选择与计数的湿度信号相关联的选择 的测定用QCM计数器信号。 阳143] 接下来，在步骤S308中，质量增加量决定部504对测定用QCM传感器10的电极的 腐蚀W及附着于测定用QCM传感器10的颗粒所引起的质量增加量进行运算。 阳144] 接下来，在步骤S309中，质量增加量决定部504选择与计数的湿度信号相关联的 选择的参照用QCM计数器信号。
[0145] 接下来，在步骤S310中，质量增加量决定部504对附着于参照用QCM传感器20的 颗粒所引起的质量增加量进行运算。 阳146] 若处理进入步骤S306,则质量增加量决定部504向警报输出部507发送运算数不 足信号。 阳147] 图17是在图14作为步骤S114示出的修正系数决定处理的处理流程的流程图。
[0148] 首先，在步骤S401中，修正系数决定部505对附着于测定用QCM传感器10的颗粒 的吸湿-干燥循环所引起的质量变动量进行运算。
[0149] 接下来，在步骤S402中，修正系数决定部505对附着于参照用QCM传感器20的颗 粒的吸湿-干燥循环所引起的质量变动量进行运算。
[0150] 然后，在步骤S403中，质量增加量决定部504对修正系数进行运算。质量增加量 决定部504对经由湿度使运算出的附着于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20 的颗粒的吸湿-干燥循环所引起的质量变动量相关联而曲线化时的一阶近似直线的倾斜度 进行运算作为修正系数。 阳15U 在环境测定装置1中，测定用QCM传感器10的测定用电极12的腐蚀量使用表示 在规定的湿度W下测定出的频率的测定用计数信号W及参照用计数信号决定。由于使用表 示在规定的湿度W下测定出的频率的测定用计数信号W及参照用计数信号，所W排除附着 于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20的颗粒的湿度一干燥循环所引起的质量 变动的影响。 阳15引在环境测定装置1中，测定用QCM传感器10的测定用电极12的腐蚀量使用用于 修正附着于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20的颗粒的量的差的修正系数决 定。在环境测定装置1中，由于使用用于修正附着的颗粒的量的差的修正系数来决定，所W 即使在附着于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20的颗粒的量不同的情况下也 能够精度良好地决定腐蚀量。 阳15引在环境测定装置1中，修正系数根据分别附着于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20的颗粒的吸湿-干燥循环所引起的质量变动量的大小之比运算。在环境测定 装置1中，使用根据附着的颗粒的吸湿-干燥循环所引起的质量变动量的大小之比运算出 的修正系数，所W能够进行反映了附着的颗粒的量的修正。
[0154]在环境测定装置1中，虽然测定用QCM传感器10的测定用电极12W银形成，但也 可W利用腐蚀性的其他的金属或者合金形成。另外，虽然参照用QCM传感器20的参照用电 极22W金形成，但也可W利用耐腐蚀性的其他的金属或者合金形成。
[01巧]在环境测定装置1中，质量增加量决定部504基于五个频率信号对近似直线进行 运算，但为了对近似直线进行运算所使用的频率信号的数目也可W比五个少，另外也可W 比五个多。另外，质量增加量决定部504为了对近似直线进行运算而使阔值湿度每次上升 10 %，但也可W使其每次上升5 %等适当的湿度。
[0156] 在环境测定装置1中，修正系数根据分别附着于测定用QCM传感器10W及参照用 QCM传感器20的颗粒的吸湿-干燥循环所引起的质量变动量的大小之比进行运算。然而， 在附着于测定用QCM传感器10W及参照用QCM传感器20各自的传感器的质量的比已知的 情况下，也可W根据已知的质量的比对修正系数进行运算。另外，在附着于测定用QCM传感 器10化及参照用QCM传感器20各自的传感器的质量相同的环境下，也可W不使用修正系 数而决定测定用QCM传感器10的电极的腐蚀所引起的质量增加量。 阳157]符号说明
[0158]1、100…环境测定装置，10…测定用QCM传感器，11、21…石英振子，12…测定用电 极（由腐蚀性金属形成的电极），15…测定用振荡电路，20…参照用QCM传感器，22…参照用 电极（由耐腐蚀性金属形成的电极），25…参照用振荡电路，31…频率计数器，40、50…控制 部，51…湿度传感器。
【主权项】
1. 一种环境测定装置，其特征在于，具有： 测定用QCM传感器，其具有振子和在上述振子的表面由腐蚀性金属形成的电极； 参照用QCM传感器，其具有振子和在上述振子的表面由耐腐蚀性金属形成的电极； 测定用振荡电路，其使上述测定用QCM传感器振动，并且发送具有与上述测定用QCM传 感器的振动频率对应的频率的测定用频率信号； 参照用振荡电路，其使上述参照用QCM传感器振动，并且发送具有与上述参照用QCM传 感器的振动频率对应的频率的参照用频率信号； 频率计数器，其与上述测定用振荡电路以及上述参照用振荡电路连接，对上述测定用 频率信号以及上述参照用频率信号各自的频率进行计数，并发送表示上述计数出的计数数 的测定用计数信号以及参照用计数信号； 湿度传感器，其检测大气中的湿度，并发送表示检测出的湿度的湿度信号； 存储部，其将上述测定用计数信号、上述参照用计数信号以及上述湿度信号与测定时 刻相关联地存储；以及 控制部，其使用表示在规定的湿度以下测定出的频率的测定用计数信号以及参照用计 数信号，决定上述测定用QCM传感器的电极的腐蚀所引起的质量增加量。2. 根据权利要求1所述的环境测定装置，其特征在于， 上述控制部在决定上述测定用QCM传感器的电极的腐蚀所引起的质量增加量时，使用 用于修正分别附着于上述测定用QCM传感器以及上述参照用QCM传感器的颗粒的量的差的 修正系数。3. 根据权利要求2所述的环境测定装置，其特征在于， 上述修正系数根据分别附着于上述测定用QCM传感器以及上述参照用QCM传感器的颗 粒的吸湿-干燥循环所引起的质量变动量的大小的比来运算。4. 一种环境测定方法，其特征在于， 测定具有振子和在上述振子的表面由腐蚀性金属形成的电极的测定用QCM传感器的 频率， 根据规定的湿度以下的上述测定用QCM传感器的频率对测定用QCM传感器的质量增加 量进行运算， 测定具有振子和在上述振子的表面由耐腐蚀性金属形成的电极的参照用QCM传感器 的频率， 根据上述规定的湿度以下的上述参照用QCM传感器的频率对上述参照用QCM传感器的 质量增加量进行运算， 使用上述测定用QCM传感器的质量增加量、和上述参照用QCM传感器的质量增加量，决 定上述测定用QCM传感器的电极的腐蚀所引起的质量增加量。5. 根据权利要求4所述的环境测定方法，其特征在于， 在决定上述测定用QCM传感器的电极的腐蚀所引起的质量增加量时，使用用于修正分 别附着于上述测定用QCM传感器以及上述参照用QCM传感器的颗粒的量的差的修正系数。6. 根据权利要求5所述的环境测定方法，其特征在于， 上述修正系数根据分别附着于上述测定用QCM传感器以及上述参照用QCM传感器的颗 粒的吸湿-干燥循环所引起的质量变动量的大小的比来运算。
【专利摘要】本发明的目的在于提供除去附着于QCM传感器的颗粒所引起的影响，决定QCM传感器的电极的腐蚀所引起的质量增加量的环境测定装置。环境测定装置(1)具有：具备由腐蚀性金属形成的电极(12)的测定用QCM传感器(10)、具有由耐腐蚀性金属形成的电极(22)的参照用QCM传感器(20)、测定用振荡电路(15)、参照用振荡电路(25)、频率计数器(31)、湿度传感器(51)、控制部(40)以及存储部(41)。存储部(41)将与测定用QCM传感器(10)的频率对应的测定用计数信号、与参照用QCM传感器(20)的频率对应的参照用计数信号以及湿度信号与测定时刻相关联地存储。控制部(40)使用表示在规定的湿度以下测定出的频率的测定用计数信号以及参照用计数信号，决定测定用QCM传感器的电极的腐蚀所引起的质量增加量。
【IPC分类】G01N17/04, G01N5/02
【公开号】CN105229444
【申请号】CN201380076759
【发明人】高须良三
【申请人】富士通株式会社
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2013年5月24日
【公告号】US20160061777, WO2014188594A1