样放大器U2输出电压VAD连接到模数转换器35的输入端。电流采样放大器U2采集流过参考电阻Rsen的电流Isen，因采样放大器U2输入端RS电阻无穷大，因此流过被测电阻Ry的电流Iy和电流Isen相等。在本实施例中，所述电流采样放大器采用AD公式的AD8418A芯片，根据规格书计算参考电阻Rsen的电流Isen，
[0084]Isen = V2/ (Rsen*Av)，Αν为电压放大系数，所述AD8418A芯片的Αν值为50。
[0085]与所述控制模块13和所述采集模块15连接的模数转换器16用于将采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压编制成为信号特征表现为模拟信号的第三传输信号，将所述第三传输信号进行模数转换以产生信号特征表现为数字信号的第四传输信号，并将所述第四传输信号传输至所述上位机以便其解析所述第四传输信号。所述上位机根据所述第四传输信号中所述MEMS器件的测量电流和测量电压通过欧姆定律计算所述MEMS器件的电阻。即 Ry = Vy/Iy。
[0086]综上所述，本发明所述的基于MEMS器件的电阻测量系统和基于MEMS器件的电阻采集设备形成与所述MEMS器件数量相同的测量通道。因此，所述基于MEMS器件的电阻测量系统和基于MEMS器件的电阻采集设备通过可编程电压的特性实现不同MEMS器件的电阻值的测量，节约时间，提高工作效率，有效解决了现有技术中在MEMS器件的电阻测量过程中占用大量设备资源，成本高，由于静电损坏器件等问题，并通过选择控制器的通道数量来设置测量通道的数据。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0087]上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种基于MEMS器件的电阻测量方法，其特征在于，所述基于MEMS器件的电阻测量方法包括以下步骤: 接收测量指令以输出所述MEMS器件的工作电压； 驱动所述MEMS器件的工作电压以放大所述MEMS器件的工作电压； 采集流经所述MEMS器件的测量数据，所述测量数据包括流经所述MEMS器件的测量电流和测量电压以便根据采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压分析计算所述MEMS器件的电阻。2.根据权利要求1所述的基于MEMS器件的电阻测量方法，其特征在于:所述基于MEMS器件的电阻测量方法还包括将测量指令和输出的所述MEMS器件的工作电压编制成信号特征表现为数字信号的第一传输信号，将所述第一传输信号进行数模转换以产生信号特征表现为模拟信号的第二传输信号。3.根据权利要求2所述的基于MEMS器件的电阻测量方法，其特征在于:所述基于MEMS器件的电阻测量方法还包括将采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压编制成为信号特征表现为模拟信号的第三传输信号，将所述第三传输信号进行模数转换以产生信号特征表现为数字信号的第四传输信号，传输并解析所述第四传输信号。4.一种基于MEMS器件的电阻测量系统，其特征在于，所述基于MEMS器件的电阻测量系统与多个所述MEMS器件连接，用于从所述MEMS器件采集测量数据，根据采集到的测控数据分析计算所述MEMS器件的电阻；其中，所述基于MEMS器件的电阻测量系统包括: 中央处理模块，用于发送测量指令，并分析计算从所述MEMS器件采集测量数据以获取所述MEMS器件的电阻； 控制模块，与所述中央处理模块连接，用于接收所述测量指令，并输出所述MEMS器件的工作电压； 驱动模块，与所述控制模块和MEMS器件连接，用于驱动所述MEMS器件的工作电压以放大所述MEMS器件的工作电压； 采集模块，与所述控制模块和MEMS器件连接，用于采集流经所述MEMS器件的测量数据，所述测量数据包括测量电流和测量电压以便根据采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压分析计算所述MEMS器件的电阻。5.根据权利要求4所述的基于MEMS器件的电阻测量系统，其特征在于:所述基于MEMS器件的电阻测量系统还包括分别与所述控制模块和驱动模块连接，用于测量指令和输出的所述MEMS器件的工作电压编制成信号特征表现为数字信号的第一传输信号，将所述第一传输信号进行数模转换以产生信号特征表现为模拟信号的第二传输信号的数模转换模块。6.根据权利要求4所述的基于MEMS器件的电阻测量系统，其特征在于:所述基于MEMS器件的电阻测量系统还包括分别与所述控制模块和采集模块连接，用于将采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压编制成为信号特征表现为模拟信号的第三传输信号，将所述第三传输信号进行模数转换以产生信号特征表现为数字信号的第四传输信号的模数转换模块；所述控制模块将所述第四传输信号传输至所述中央处理模块以便其解析所述第四传输信号。7.一种基于MEMS器件的电阻采集设备，其特征在于，所述基于MEMS器件的电阻采集设备分别与用于发送测量指令，并分析计算从所述MEMS器件采集测量数据以获取所述MEMS器件的电阻的上位机和与多个所述MEMS器件连接，其中，所述基于MEMS器件的电阻采集设备包括: 控制器，与所述上位机连接，用于接收所述测量指令，并输出所述MEMS器件的工作电压； 驱动器，与所述控制器和MEMS器件连接，用于驱动所述MEMS器件的工作电压以放大所述MEMS器件的工作电压； 采集器，与所述控制器和MEMS器件连接，用于采集流经所述MEMS器件的测量数据，所述测量数据包括测量电流和测量电压以便所述上位机根据采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压分析计算所述MEMS器件的电阻。8.根据权利要求7所述的基于MEMS器件的电阻采集设备，其特征在于:所述驱动器包括运算放大器和MOS管，所述运算放大器的输出端与所述MOS管的基极相连接。9.根据权利要求7所述的基于MEMS器件的电阻采集设备，其特征在于:所述采集器包括电流采集器和电压采集器；所述电流采集器包括采样放大器和参考电阻，所述采样放大器获取其输出端电压，通过预存电流公式计算流经所述参考电阻的所述测量电流。10.根据权利要求7所述的基于MEMS器件的电阻采集设备，其特征在于:所述控制器可采用MCU或可编程逻辑器件。
【专利摘要】本发明提供一种基于MEMS器件的电阻测量方法，所述基于MEMS器件的电阻测量方法包括以下步骤：接收测量指令以输出所述MEMS器件的工作电压；驱动所述MEMS器件的工作电压以放大所述MEMS器件的工作电压；采集流经所述MEMS器件的测量数据，所述测量数据包括流经所述MEMS器件的测量电流和测量电压以便根据采集到的所述MEMS器件的测量电流和测量电压分析计算所述MEMS器件的电阻。本发明所述的基于MEMS器件的电阻测量方法有效解决MEMS器件电阻测试中现有测量装置占用设备资源大，成本高等问题。使用该测量方法可以方便测量待测MEMS器件的阻值。
【IPC分类】G01R27/08
【公开号】CN105242114
【申请号】CN201510662678
【发明人】范亚妮
【申请人】上海斐讯数据通信技术有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年10月14日