专利名称：电阻测量系统及应用其的测量方法
技术领域：
本发明涉及一种电阻测量系统及应用其的测量方法，且特别涉及一种用以检测机台上不同部位间的电阻值，以检测机台状况是否异常的电阻测量系统及应用其的测量方法。
背景技术：
在光电产业中，生产机台的运作除了例行的保养维修外，基本上是以二十四小时不间断的方式进行生产，以维持最大的产能。在生产过程中，机台难免仍有故障或状态异常的情况发生，往往只有在产品出现瑕疵时才能够加以发现。
以曝光制程中所使用的扫描式曝光机为例，是以曝光平台(chuck)承载基板以进行曝光。而曝光平台则藉由底部所设置的多孔性材质的气垫(airpad)，将空气持续吹出使平台悬浮在基座上方。请参照图1，其示出了传统扫描式曝光机的曝光平台的气垫配置示意图。曝光平台100的底部中央设置有六个底部气垫110，两侧位于滑轨上方的底部共设置有四个滑轨气垫120。此外，还包括用以与旁侧保持一定间距的两个侧向气垫130。曝光平台100即藉由这些气垫保持平稳且不受外界干扰的状态，使其所承载的基板能够精确的进行曝光。
当气垫发生异常状况，例如发生堵塞时，则曝光平台100会因作用力不平衡产生倾斜，导致进行曝光的基板的曝光图案错误。传统上往往必须等到发现曝光图案错误之后才知道问题产生，此时已生产出相当数量的瑕疵品而造成损失。而且接着必须在停机之后以人工逐一检查各个气垫，十分耗时。即使在例行保养维修工作中，也是仰赖人工逐一检查各个气垫，造成生产线停摆。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的就是在提供一种电阻测量系统及应用其的测量方法，利用测量气垫与基座之间的电阻值，判断机台是否发生异常，可以立即停机进行处理。因此本发明可以在机台发生异常时的第一时间内停止作业，防止继续生产出有瑕疵的产品。而即使气垫的状况未达警戒的标准，所量得的电阻值也可据以了解所连接的气垫的状况，在保养维修时可做为参考之用。
根据本发明的目的，提出一种电阻测量系统，应用于一机台，机台具有基座及承载座。承载座具有至少一第一气垫，第一气垫设置在承载座的底面，承载座以第一气垫悬浮在基座上。电阻测量系统包括一电阻计，电阻计具有接地输入端及至少一第一欧姆输入端。接地输入端耦接基座，第一欧姆输入端耦接第一气垫，电阻计测量第一气垫及基座间的电阻值。当电阻值小于一临界电阻值时，电阻计发出一信号以使机台停止运作。
根据本发明的目的，提出一种电阻测量方法，应用于一机台。机台具有基座及承载座，承载座具有至少一第一气垫，第一气垫设置在承载座的底面。承载座以第一气垫悬浮在基座上，该方法包括下列步骤首先，提供一电阻计，电阻计具有接地输入端及至少一第一欧姆输入端；接着，耦接接地输入端与基座；然后，耦接第一欧姆输入端与第一气垫；接着，设定电阻计的临界电阻值；然后，测量第一气垫及基座间的一电阻值。当电阻值小于临界电阻值时，电阻计发出一信号以使机台停止运作。
根据本发明的目的，再提出一种电阻测量系统，应用于一机台。机台具有基座及承载座，承载座是以多组气垫悬浮在基座上。电阻测量系统包括电阻测量线路、高阻计及警报器。电阻测量线路包括与多组气垫连接的多条气垫线路，及与基座连接的一接地线路。电阻测量线路用以测量多组气垫和基座间的一电阻值。高阻计具有一欧姆输入端及一接地输入端，多条气垫线路并联后连接欧姆输入端，接地线路连接接地输入端。高阻计内具有一预设的临界电阻值。警报器设置在机台内并与高阻计电性连接。当电阻测量线路所测量到的电阻值小于预设的临界电阻值时，高阻计送出一警告信号至警报器，以使机台停止运作。
为让本发明的上述目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举出几项实施例，并配合附图，作详细说明如下。
图1示出了传统扫描式曝光机的曝光平台的气垫配置示意图；
图2示出了本发明实施例一的一种电阻测量系统的方块图；图3示出了本发明实施例二的一种电阻测量系统的方块图；以及图4示出了本发明一种应用电阻测量的警报系统运作方法流程图。
附图符号说明100曝光平台110底部气垫112、122、132气垫线路120滑轨气垫130侧向气垫150基座152接地线路180控制模块200、400数字式电阻计210欧姆输入端220、440接地输入端300警报系统410第一欧姆输入端420第二欧姆输入端430第三欧姆输入端具体实施方式
本发明是将原有的机台加上一组电阻测量系统，测量悬浮的承载座与机台的基座之间的电阻值。藉由电阻值的检测判断机台是否发生异常，以发出警报信号或停止机台的运作。至于详细的实施方式请参照以下实施例。
实施例一请参照图2，其示出了本发明实施例一的一种电阻测量系统的方块图。电阻测量系统应用于一机台，例如一扫描式曝光机。扫描式曝光机具有基座150及承载座，承载座例如为图1的曝光平台100。曝光平台100共具有六个底部气垫110、四个滑轨气垫120及两个侧向气垫130。底部气垫110设置在曝光平台100的底面，滑轨气垫120设置在曝光平台100在滑轨(未显示)上方的底面，侧向气垫130设置在曝光平台100的侧面上。曝光平台100以多个底部气垫110悬浮在基座150上。电阻测量系统包括一电阻计(高阻计)，例如一数字式电阻计200。数字式电阻计200具有接地输入端220及一欧姆输入端210，接地输入端220以一接地线路152耦接基座150。本实施例中各取一底部气垫110、滑轨气垫120及侧向气垫130分别与气垫线路112、122及132连接。将气垫线路112、122及132并联之后，耦接于欧姆输入端210。数字式电阻计200测量并联后的气垫与基座150间的电阻值。当任一气垫发生阻塞而减少出力时，阻塞的气垫与基座150之间的距离会缩短，使得阻塞的气垫与基座150之间的电阻值下降，因此气垫并联之后的电阻值也跟着下降。当电阻值小于数字式电阻计200所设定的临界电阻值时，数字式电阻计200发出一信号A1至与数字式电阻计200耦接的警报系统300。警报系统300收到信号A1后，即发出警报通知状态异常。此处的警报系统300可以是扫描式曝光机本身的一部份例如内部所安装的一警报器。
此外，警报系统300更与扫描式曝光机的控制模块180耦接。警报系统300在发出警报的同时，亦发出警告信号C1至控制模块180，控制模块180即停止扫描式曝光机的运作。
然而，本发明所属的技术领域具有通常知识者，可知本发明的技术不限于此。曝光机台100的六个底部气垫110、四个滑轨气垫120及两个侧向气垫130可以部分或全部并联后耦接欧姆输入端210。因此只要耦接的气垫中有任一发生阻塞，导致测量的电阻值小于临界电阻值时，数字式电阻计200即发出信号A1至警报系统300，警报系统300即发出警报。
实施例二请参照图3，其示出了本发明实施例二的一种电阻测量系统的方块图。本实施例与实施例一的主要不同之处，在于数字式电阻计400具有第一欧姆输入端410、第二欧姆输入端420及第三欧姆输入端430。并各取一底部气垫110、滑轨气垫120及侧向气垫130分别与第一欧姆输入端410、第二欧姆输入端420及第三欧姆输入端430耦接。也就是说，数字电阻计400可用以分别测量底部气垫110、滑轨气垫120及侧向气垫130与基座150之间的电阻值。因此当底部气垫110与基座150之间的电阻值小于数字式电阻计400内预设的临界电阻值时，数字式电阻计400发出信号A1至警报系统300，警报系统300即发出警报。同样的原理，当滑轨气垫120及侧向气垫130与基座150之间的电阻值小于预设的临界电阻值时，数字式电阻计400分别发出信号A2及信号A3至警报系统300，使警报系统300发出警报。而警报系统300可设计成接收到不同的信号时，发出不一样的警报，可以藉此得知是那个欧姆输入端连接的气垫发生异常。因此本实施例可以更有效率的找出发生异常状况的气垫，以利于状况排除。
然而本发明所属的技术领域具有通常知识者，可知本发明的技术不限于此。如果数字式电阻计具有更多独立的欧姆输入端，足以个别耦接六个底部气垫110、四个滑轨气垫120及两个侧向气垫130时，则数字式电阻计可以根据每个接垫发生异常状况时发出不同的信号。警报系统可据以发出不同的警报并停止扫描式曝光机的运作。本实施例可更有效率地找出发生问题的气垫进行状况排除。
请参照图4，其示出了本发明一种应用电阻测量的警报系统运作方法流程图，并使用实施例一图2的电阻测量系统作说明。首先，如步骤11所示，提供数字式电阻计200。数字式电阻计200具有欧姆输入端210及接地输入端220。
接着，如步骤12所示，以接地线路152耦接接地输入端220及基座150。
然后，如步骤13所示，一底部气垫110、一滑轨气垫120及一侧向气垫130分别与气垫线路112、122及132连接且并联之后与欧姆输入端210耦接。
接着，如步骤14所示，设定数字式电阻计200的临界电阻值。
然后，如步骤15所示，测量并联的气垫与基座150之间的电阻值。
接着，如步骤16所示，耦接数字式电阻计200及警报系统300。
然后，如步骤17所示，当电阻值小于数字式电阻计200所设定的临界电阻值时，数字式电阻计200发出信号A1至警报系统300，警报系统300根据信号A1发出警报。
接着，如步骤18所示，警报系统300发出警告信号C1至扫描式曝光机，使扫描式曝光机停止运作。
此外，本警报系统的运作方法亦可使用实施例二图3的电阻测量系统。主要差异在于步骤17中，当底部气垫110、滑轨气垫120或侧向气垫130所耦接的第一欧姆输入端410、第二欧姆输入端420或第三欧姆输入端430所量得的电阻值小于预设的临界电阻值时，数字式电阻计400分别发出信号A1、A2或A3至警报系统300，警报系统300可根据不同信号发出不同的警报并停止扫描式曝光机的运作。
本发明上述实施例所揭露的电阻测量系统及应用其的测量方法，应用一电阻计测量曝光机的基座与曝光平台的气垫之间的电阻值，一旦气垫发生异常状况导致电阻值小于所设定的临界电阻值，则电阻计发出信号给耦接的警报系统发出警报。而警报系统可进一步与曝光机的控制模块连接，在警报发出的同时发出警告信号通知控制模块停止曝光机的运作。而即使气垫的状况未达警戒的标准，所量得的电阻值也可据以了解所连接的气垫的状况，在保养维修时可做为参考。
综上所述，虽然本发明已以几项实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视后附的申请专利范围所界定者为准。
权利要求
1.一种电阻测量系统，应用于一机台，该机台具有一基座及一承载座，该承载座具有至少一第一气垫，该第一气垫设置在该承载座的底面，该承载座以该第一气垫悬浮在该基座上，该电阻测量系统包括一电阻计，该电阻计具有一接地输入端及至少一第一欧姆输入端，该接地输入端耦接该基座，该第一欧姆输入端耦接该第一气垫，该电阻计测量该第一气垫及该基座间的一第一电阻值；其中，当该第一电阻值小于一临界电阻值时，该电阻计发出一第一信号至该机台，使该机台停止运作。
2.如权利要求1所述的电阻测量系统，其中，该承载座具有一第二气垫，该第一气垫与该第二气垫并联后耦接该第一欧姆输入端。
3.如权利要求2所述的电阻测量系统，其中，该第二气垫设置在该承载座的一侧面。
4.如权利要求1所述的电阻测量系统，其中，该电阻计更包括一第二欧姆输入端，该承载座更包括一第二气垫，该第二欧姆输入端耦接该第二气垫，该电阻计测量该第二气垫及该基座间的一第二电阻值；其中，当该第二电阻值小于该临界电阻值时，该电阻计发出一第二信号至该机台，使该机台停止运作。
5.如权利要求4所述的电阻测量系统，其中，该电阻计更耦接一警报系统，该警报系统接收该第一信号或该第二信号后发出警报。
6.如权利要求1所述的电阻测量系统，其中，该电阻计为一数字式电阻计。
7.如权利要求1所述的电阻测量系统，其中，该机台为一扫描式曝光机。
8.如权利要求1所述的电阻测量系统，其中，该电阻计更耦接一警报系统，该警报系统接收该第一信号后发出警报。
9.一种电阻测量方法，应用于一机台，该机台具有一基座及一承载座，该承载座具有至少一第一气垫，该第一气垫设置在该承载座的底面，该承载座以该第一气垫悬浮在该基座上，该方法包括提供一电阻计，该电阻计具有一接地输入端及至少一第一欧姆输入端；耦接该接地输入端与该基座；耦接该第一欧姆输入端与该第一气垫；设定该电阻计发一临界电阻值；测量该第一气垫及该基座间发一第一电阻值；以及当该第一电阻值小于一临界电阻值时，该电阻计发出一第一信号至该机台，使该机台停止运作。
10.如权利要求9所述的电阻测量方法，其中，该承载座具有一第二气垫，该方法更包括并联该第一气垫与该第二气垫后，耦接该第一欧姆输入端。
11.如权利要求9所述的电阻测量方法，其中，该电阻计更包括一第二欧姆输入端，该承载座更包括一第二气垫，该方法更包括耦接该第二欧姆输入端及该第二气垫；以及测量该第二气垫及该基座间的一第二电阻值；以及当该第二电阻值小于该临界电阻值时，该电阻计发出一第二信号至该机台，使该机台停止运作。
12.如权利要求11所述的电阻测量方法，更包括耦接该电阻计及一警报系统；以及当该警报系统接收到该第一信号或该第二信号时，该警报系统发出警报。
13.如权利要求9所述的电阻测量方法，更包括耦接该电阻计及一警报系统；以及当该警报系统接收到该第一信号时，该警报系统发出警报。
14.如权利要求13所述的电阻测量方法，其中，该警报系统更耦接该机台，该方法更包括该警报系统发出一警告信号至该机台，使该机台停止运作。
全文摘要
一种电阻测量系统，应用于一机台，机台具有基座及承载座。承载座具有至少一第一气垫，第一气垫设置在承载座的底面，承载座以第一气垫悬浮在基座上。电阻测量系统包括一电阻计，电阻计具有接地输入端及至少一第一欧姆输入端。接地输入端耦接基座，第一欧姆输入端耦接第一气垫，电阻计测量第一气垫及基座间的电阻值。当电阻值小于一临界电阻值时，电阻计发出一信号以使机台停止运作。
文档编号G01R27/02GK1862389SQ200610087800
公开日2006年11月15日 申请日期2006年6月7日 优先权日2006年6月7日
发明者蔡承卫 申请人:友达光电股份有限公司