气泡6在 水平方向也还沿着深度方向T的位置的数据。在坯料1中发现有三个以气泡形式的缺陷6， 其位置数据记入表1中。发现一个气泡缺陷6在3毫米的深度，另外两个位于坯料1的表 面2以下18mm或21mm深。看起来气泡6有大于100μm的直径。在图2a中示出测得的气 泡缺陷6. 1，6. 2, 6. 3在对坯料1的俯视图中根据坐标轴线A和B以及在侧视图中在深度T 方向上的位置。对于这样的镜基质坯料1设置有凹的镜面10,其应与坯料1的实际的表面 2间隔约19至22mm。对于计划的最终镜面磨削10的弓形的区域在图2a和2b中通过影阴 线在镜基质坯料1的侧视图中说明。在具体情况下通过磨掉4_去除表面层是足够的，以 此消除在原始3毫米深度中的气泡缺陷6. 1。另外两个气泡6. 2和6. 3 (原始地18或21mm 深）通过在其深度位置中去除朝着新的表面21移动4_，在那里它们无害于计划的的最终 凹的镜面抛光或在引入凹的镜面磨削10时同样消去。在厚度上降低了 4mm的坯料11 (如 其在图2b中所示）适用于交付给远紫外-平版印刷设备的光学系统制造商。
[0038] 示例 2 另外的渗以质量百分比8的Ti02的硅土玻璃坯料1(如在示例1中所述）被平面磨削， 而省去视觉抛光。经平面磨削的表面的平均的粗糙度Ra由此达1.2μπι。紧接着表面2全 平面地以沉浸油浸湿，沉浸油具有约如渗钛硅土玻璃的相同的折射系数。沉浸油平衡粗糙 度使得缺陷6的散射光5能够较好分解。以此方式准备的硅土玻璃坯料1在测量台上装配， 测量台与能移动的由激光源7和光检测元件（其是带有评价单元的摄像机系统的部分）8 组成的机构连接。激光3配备有行聚焦，从而长度100mm的光线以25°的射入角α指向到 坯料1的表面2上。使用名义功率为50mW且波长为532nm的激光。在摄像机系统中的光 检测元件8垂直地取向到坯料1的表面2且用作探测器以用于检测从坯料1的缺陷6出发 的散射光5。光检测元件8由红外线传感器形成。由光检测元件8与激光线间隔X地测得 的散射光5产生传输给评价单元的信号。在那里，根据散射光5与激光射入部位4的位置 数据应用以下公式T=x/(tan(arcsin(sin(90-a)/1. 48))算出对于相应的缺陷6的深度位 置T。值1.48代表渗钛硅土玻璃坯料的折射系数。散射光5此外在其强度方面被检测且由 评价单元换算成缺陷6的直径的值。
[0039] 为了快速且有效检测缺陷6,通过在坯料1的整个表面2上光栅状移动激光3的 射入部位4和光检测元件8扫描15〃的镜面玻璃坯料1。在此100mm长的激光线垂直于其 线扩展（Linienausdehnung)连续地（沿着X方向）在还料1的表面2上运动，其中，在第 一测量运行（Messfahrt)期间光检测元件8与线状的光射入部位4有一毫米的最小间隔x地垂直地布置在坯料1的表面2上方且在其方面平行于激光线（y方向）以约25mm/s的速 度运动。以此方式检测可能的位于表面层的最小深度中的气泡缺陷6。在后续的紧接于此 的测量运行中，沿着X-方向在相同的条带形的表面区域上光检测元件8逐渐地，以0. 5毫 米的间距与光射入部位4间隔，使得通过在表面或者表面的部分区域上重复移动光射入部 位4和光检测元件8逐步地检测在相关的表面层的越来越深的区域中的缺陷。0. 5毫米间 距相应于约0. 635mm的深度分辨率。
[0040] 坯料在该情况下包含五个气泡，其位置记入表1中。利用评价单元还能够获得有 关气泡大小的数据。其位于40μm与280μm之间。气泡的位置数据使得表面层须移除5mm， 以准备提供用于远紫外-平版印刷的镜基质-坯料。因为气泡中的一个外围地位于12_ 的深度中，该气泡无害于最终镜面磨削。因此移除5_的余量足够。
[0041] 表1
【主权项】
1. 用于制造具有至少40毫米厚度的用于远紫外-平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜 基质-坯料（1; 11)的方法，具有以下步骤： a) 平面磨削坯料的表面（2;21) b) 测定关于在所述还料（1; 11)的表面层中的缺陷（6;6. 1;6. 2;6. 3)的数据，其中， bl)光（3)在所述坯料（1;11)的平的表面（2;21)的部位处以预先确定的小于90°的 射入角α射入所述坯料（1; 11)中， b2)所述光（3)在所述还料中的缺陷（6;6. 1;6. 2;6. 3)处散射且b3)散射光（5)相对在所述坯料（1; 11)的表面（2; 21)处的射入部位⑷间隔X地由 在所述坯料上方垂直布置的光检测元件（8)探测； c) 根据在方法步骤b)中获得的数据确定在表面层中的缺陷出;6. 1;6.2;6.3)的位置 d) 在考虑根据方法步骤c)的位置确定的情况下且在构造镜基质-坯料（1; 11)的情 况下部分地或完全地移除表面层。2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光（3)进入所述坯料的平的 表面（2; 21)上的角度α，设立在5°至75°的范围中。3. 根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述光（3)是激光。4. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于，产生带有行聚焦的激光（3)且为了产生该 激光使用具有名义功率为至少lmW的激光器。5. 根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，选择在波长范围500nm至1500nm中 发光的激光器。6. 根据前述权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述光检测元件（8)为 了检测从所述坯料中的缺陷（6;6. 1;6. 2;6. 3)中出发的散射光（5)是带有评价单 元的摄像机系统的部分。7. 根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述摄像机系统检测所述散射光（5)的强 度且在所述评价单元中从中计算上确定所述缺陷（6;6.1;6. 2;6. 3)的大小。8. 根据前述权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，平面磨削的坯料 (1; 11)在根据方法步骤b)确定关于缺陷（6; 6. 1; 6. 2; 6. 3)的数据前以沉浸油全平面地浸 湿。9. 根据前述权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，射入部位（4)和所述光 检测元件（8)光栅状地在所述坯料（1;11)的平面磨削的表面（2;21)上方引导。10. 以根据权利要求1至9中任一项所述的方法用于在具有至少40毫米的厚度的用于 远紫外-平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质-坯料（1; 11)中的缺陷（6; 6. 1; 6. 2; 6. 3) 的位置确定的系统，带有用于探测散射光（5)的光检测元件（8)和光源（7)，其中，所述光 源（7)关于所述坯料布置成使得光（3)以预先确定的小于90°的射入角α射 入所述坯料的平面磨削的表面（2;21)中，所述光在所述坯料（1;11)中的缺陷 (6; 6. 1; 6. 2; 6. 3)处散射，所述光检测元件（8)布置成使得所述光检测元件（8)垂直地在所 述坯料的表面（2;21)上方探测相对射入部位⑷间隔X地发出的散射光（5)且评 价单元根据由所述光检测元件（8)测得的数据确定所述缺陷出;6. 1;6.2;6. 3)的位置。
【专利摘要】<b>提出一种用于制造具有至少40毫米厚度的用于远紫外-平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质-坯料的方法，其带有以下步骤:</b><b>·</b><b>a)</b><b>平面磨削坯料的表面</b><b>·</b><b>b)</b><b>测定关于在坯料的表面层中的缺陷的数据，其中，b1)光在所述坯料的平的表面的部位处以预先确定的小于90</b><b>°</b><b>的</b><b>射入角</b><b>α</b><b>射入所述坯料中，b2)所述光在坯料中的缺陷处散射且b3)散射光相对在所述坯料的表面处的射入部位间隔x地由在其上垂直布置的光检测元件探测；</b><b>·</b><b>c)</b><b>根据在方法步骤b)中获得的数据确定在表面层中的缺陷的位置</b><b>·</b><b>d)</b><b>在考虑根据方法步骤c)的位置确定的情况下且在构造镜基质-坯料的情况下部分地或完全地移除表面层。</b>
【IPC分类】B24B13/00, G01N21/958, G01N21/896
【公开号】CN105378464
【申请号】CN201480039150
【发明人】K.贝克
【申请人】赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2014年7月2日
【公告号】DE102013107215B3, US20160151880, WO2015003966A1