基板； 阳155] 13…盖部件； 阳156] 21…检测部； 阳157] 22…固定部； 阳158] 23…梁部； 阳159] 24…驱动部； 阳16〇] 25…梁部； 阳161] 26…固定部； 阳162] 27…支承梁部； 阳163] 28…连结部； 阳164] 29…梁部； 阳1化]31···配线； 阳166] 32…端子； 阳167] 41…电极指； 阳16引 42…电极指； 阳169] 43…连接部； 阳170] 44…配线； 阳171] 45…端子； 阳17引 51···配线； 阳173] 52…端子； 阳174] 121…凹部； 阳175] 131…凹部； 阳176] 211…框架部； 阳177] 212…检测用可动电极部； 阳17引 241…间隙部； 阳179] 1100…个人计算机； 阳180] 1102…键盘； 阳181] 1104…主体部； 阳182] 1106…显示单元； 阳183] 1108…显示部；
[0184] 1200…便携式电话机；
[0185] 1202…操作按钮； 阳186] 1204…听筒； 阳187] 1206…话筒； 阳18引 1208…显示部； 阳189] 1300…数码照相机； 阳190] 1302…壳体；
[0191] 1304…受光单元； 阳192] 1306…快口按钮； 阳193] 1308…存储器； 阳194] 1310…显示部；
[0195] 1312…影像信号输出端子； 阳196] 1314…输入输出端子； 阳197] 1430…影像监视器； 阳19引 1440…个人计算机； 阳199] 1500…车辆； 阳200] 1501…车身； 阳201] 1502…车身姿态控制装置； 阳202] 1503…车轮； 阳203] a…轴线； 阳204] aL···轴线； 阳20引 a2···轴线； 阳206] gl…间隙； 阳207] g2…间隙； 阳20引 α 1…方向； 阳209] α 2…方向； 阳 210] 0 1···方向；
[0211] 0 2…方向。
【主权项】
1. 一种物理量传感器元件，其特征在于，具备： 第一质量部以及第二质量部，其呈沿着基准面的板状，并在沿着所述基准面的法线的 方向上进行振动； 第一支承部； 第一梁部，其对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接； 第二支承部； 第二梁部，其对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接； 连结部，其一端部被连接在所述第一质量部的内侧的部分上，另一端部被连接在所述 第二质量部的内侧的部分上， 所述第一质量部具有第一易变形部，所述第一易变形部与所述连结部的所述一端部 连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第一质量部的姿态的变化的方式进行变 形， 所述第二质量部具有第二易变形部，所述第二易变形部与所述连结部的所述另一端部 连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第二质量部的姿态的变化的方式进行变 形。2. 如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中， 在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述第一易变形部以及所述第二 易变形部分别沿着相对于所述第一质量部和所述第二质量部所并列的方向而交叉的方向 延伸。3. 如权利要求2所述的物理量传感器元件，其中， 在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述第一易变形部以及所述第二 易变形部的各自的宽度与所述连结部的宽度相比而较狭窄。4. 如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中， 所述第一质量部具有配置有所述第一易变形部的第一间隙部， 所述第二质量部具有配置有所述第二易变形部的第二间隙部。5. 如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中， 具备支承梁部，在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述支承梁部被 配置于所述第一质量部和所述第二质量部之间，且沿着相对于所述第一质量部和所述第二 质量部所并列的方向而交叉的方向延伸， 所述连结部的中途被所述支承梁部所支承。6. 如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中， 具备： 基板，其以沿着所述基准面的方式而配置； 第一固定部以及第二固定部，其被固定在所述基板上； 第三梁部，其对所述第一固定部和所述第一支承部进行连接； 第四梁部，其对所述第二固定部和所述第二支承部进行连接； 第一电极，其在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时被设置于与所述第一 质量部重叠的位置上； 第二电极，其在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时被设置于与所述第二 质量部重叠的位置上。7. 如权利要求6所述的物理量传感器元件，其中， 具备： 第一检测电极，其被固定在所述基板上，并对沿着所述第一支承部的所述基准面的方 向上的振动进行检测； 第二检测电极，其被固定在所述基板上，并对沿着所述第二支承部的所述基准面的方 向上的振动进行检测。8. 如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中， 所述第一易变形部被配置于在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时包含 所述第一质量部的重心的位置处， 所述第二易变形部被配置于在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时包含 所述第二质量部的重心的位置处。9. 一种物理量传感器，其特征在于，具备： 权利要求1所述的物理量传感器元件； 封装件，其对所述物理量传感器元件进行收纳。10. -种电子设备，其特征在于，具备： 权利要求1所述的物理量传感器元件。11. 一种移动体，其特征在于，具备： 权利要求1所述的物理量传感器元件。12. -种物理量传感器元件，其特征在于，具备： 第一质量部以及第二质量部，其呈沿着基准面的板状，并在沿着所述基准面的法线的 方向上进行振动； 第一支承部； 第一梁部，其对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接； 第二支承部； 第二梁部，其对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接； 连结部，其一端部被连接在所述第一质量部的内侧的部分上，另一端部被连接在所述 第二质量部的内侧的部分上 所述第一质量部具有第五梁部，所述第五梁部与所述连结部的所述一端部连接，且在 与所述连结部的延伸方向交叉的方向上延伸； 所述第二质量部具有第六梁部，所述第六梁部与所述连结部的所述另一端部连接，且 在与所述连结部的延伸方向交叉的方向上延伸。13. 如权利要求12所述的物理量传感器元件，其中， 在沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述第五梁部以及所述第六梁部的 各自的宽度与所述连结部的宽度相比而较狭窄。14. 如权利要求12所述的物理量传感器元件，其中， 所述第一质量部具有配置有所述第五梁部的第一间隙部， 所述第二质量部具有配置有所述第六梁部的第二间隙部。15. 如权利要求12所述的物理量传感器元件，其中， 具备支承梁部，在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述支承梁部被 配置于所述第一质量部和所述第二质量部之间，且沿着相对于所述第一质量部和所述第二 质量部所并列的方向而交叉的方向延伸， 所述连结部的中途被所述支承梁部所支承。16. 如权利要求12所述的物理量传感器元件，其中， 具备： 基板，其以沿着所述基准面的方式而配置； 第一固定部以及第二固定部，其被固定在所述基板上； 第三梁部，其对所述第一固定部和所述第一支承部进行连接； 第四梁部，其对所述第二固定部和所述第二支承部进行连接； 第一电极，其在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时被设置于与所述第一 质量部重叠的位置上， 第二电极，其在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时被设置于与所述第二 质量部重叠的位置上。17. 如权利要求16所述的物理量传感器元件，具备： 第一检测电极，其被固定在所述基板上，并对沿着所述第一支承部的所述基准面的方 向上的振动进行检测； 第二检测电极，其被固定在所述基板上，并对沿着所述第二支承部的所述基准面的方 向上的振动进行检测。18. 如权利要求12所述的物理量传感器元件，其中， 所述第五梁部被配置于在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时包含所述 第一质量部的重心的位置处， 所述第六梁部被配置于在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时包含所述 第二质量部的重心的位置处。19. 一种物理量传感器，其特征在于，具备： 权利要求12所述的物理量传感器元件； 封装件，其对所述物理量传感器元件进行收纳。20. -种电子设备，其特征在于，具备： 权利要求12所述的物理量传感器元件。
【专利摘要】本发明提供一种具有优异检测精度的物理量传感器元件以及具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器元件(1)具备：两个驱动部(24)，其呈沿XY平面的板状并在Z轴方向上振动；两个检测部(21)；四个梁部(25)，其对一方的驱动部(24)和一方的检测部(21)进行连接，并对另一方的驱动部(24)和另一方的检测部(21)进行连接；连结部(28)，其一端部被连接在一方的驱动部(24)的内侧的部分上，另一端部被连接在另一方的驱动部(24)的内侧的部分上，各个驱动部(24)具有梁部(29)，所述梁部(29)与连结部(28)的端部连接，且能够以减少各个驱动部(24)相对于XY平面的姿态变化的方式而变形。
【IPC分类】G01C19/5656
【公开号】CN105403207
【申请号】CN201510556719
【发明人】古畑诚
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2015年9月2日
【公告号】US20160069684