除基片上的各种油污物，然后依次放入复合生物酶液，去离子水、丙酮、乙醇中，各超声55min;然后，用高纯氮气吹干ITO-PET，使乙醇蒸发，然后放入预处理腔中，持续通入高纯氧气，用等离子体轰击基片5min ；
[0054]所述复合生物酶的成分为:碱性蛋白酶1.2g/L，纤维素酶1.9g/L，多酚氧化酶0.06g/L，其余为去离子水；
[0055]2.多孔结构YSZ制备
[0056]a)称取适量的Ni(Νθ3)2.6Η2Ο和去离子水放入烧杯中充分溶解，在磁力搅拌的作用下用分液漏斗缓慢滴入氨水，使之充分反应，滴定完毕后80°C水浴Ih得到悬浊液，经离心机分离得到沉淀物，然后放入箱式炉中300°C保温5h即可得到黑色的N1粉末；
[0057]b)称取YSZ和N1粉末，按质量比4:1放入球磨机中，再加入一定量的分散剂和乙醇，使之充分混合，得到YSZ浆料；
[0058]c)将YSZ浆料采用丝网印刷技术涂覆在导电塑料ITO-PET表面，厚度为2μπι，放入烘干箱中烘干；
[0059]3.有机薄膜蒸镀
[0060]a)把待蒸发的有机材料(Alq3、CuPc)放入相应的蒸发舟中，并用掩膜挡住；
[0061]b)把烘干后的导电塑料基片从预处理腔传送到有机腔，将基片置于有机腔内的样品托上，对准有机束源；
[0062]c)对有机腔进行抽真空，当真空达到所需数值时，调节蒸发炉温控仪，增加蒸发温度，对材料进行加热，条件合适后，依次蒸镀有机材料Alq3、CuPc，控制蒸镀速率与时间，使之厚度分别为5μηι、2μηι ；
[0063]4.丝网状金属阴极制备
[0064]当各种有机薄膜蒸镀完毕后，将基片取出，覆盖丝网状电极掩模版，随后将基片送入金属蒸镀室，抽真空使气压保持在1.5 X 10—3，进行金属电极的蒸镀，调节电流，使Cr: Al的蒸镀比例为8:3，得到厚度为3.5μπι的Cr: Al电极；
[0065]器件测试数据:
[0066]器件制作完成后，使用探测器件发光亮度的亮度计探测器件发光亮度，使用半导体测试系统测试器件电流-电压特性。经检测，该器件对NO2等气体具有气敏响应特性，该气体能够增大器件的发光亮度;工作电压为20V时，发光亮度为16 cd/m2，随NO2等含氮气体浓度增加，发光亮度增加。最低检测量0.1ppm NO2浓度下，发光亮度为18 cd/m2,30 ppm NO2浓度下，发光亮度为35cd/V，50ppm NO2浓度下，发光亮度为48 cd/m2,100 ppm NO2浓度下，发光亮度为162cd/m2，150 ppm NO2浓度下，发光亮度为178 cd/m2。
[0067]实施例2:
[0068]—种具有气体检测功能的真空环网柜，其特征在于，在真空环网柜柜体的外部安装气体检测模块，该气体检测模块由如下方法制作而成:
[0069]具体流程为:导电塑料ITO-PET表面清洗及处理一基片置于真空腔一真空蒸镀有机层一蒸镀金属电极一封装或测试。
[0070]1.导电塑料ITO-PET清洗
[0071]首先，切割特定尺寸的ΙΤ0-ΡΕΤ，用专用洗涤剂和无尘布对ITO-PET基片进行搓洗，以去除基片上的各种油污物，然后依次放入去离子水、丙酮、乙醇中，各超声15min;然后，用高纯氮气吹干ΙΤ0-ΡΕΤ，使乙醇蒸发，然后放入预处理腔中，持续通入高纯氧气，用等离子体轰击基片5min;
[0072]2.多孔结构YSZ制备
[0073]a)称取适量的Ni(Νθ3)2.6Η2Ο和去离子水放入烧杯中充分溶解，在磁力搅拌的作用下用分液漏斗缓慢滴入氨水，使之充分反应，滴定完毕后80°C水浴Ih得到悬浊液，经离心机分离得到沉淀物，然后放入箱式炉中390°C保温5h即可得到黑色的N1粉末；
[0074]b)称取YSZ和N1粉末，按质量比5:1放入球磨机中，再加入一定量的分散剂和乙醇，使之充分混合，得到YSZ浆料；
[0075]c)将YSZ浆料采用丝网印刷技术涂覆在导电塑料ITO-PET表面，厚度为2μπι，放入烘干箱中烘干；
[0076]3.有机薄膜蒸镀
[0077]a)把待蒸发的有机材料(Alq3、CuPc)放入相应的蒸发舟中，并用掩膜挡住；
[0078]b)把烘干后的导电塑料基片从预处理腔传送到有机腔，将基片置于有机腔内的样品托上，对准有机束源；
[0079]c)对有机腔进行抽真空，当真空达到所需数值时，调节蒸发炉温控仪，增加蒸发温度，对材料进行加热，条件合适后，依次蒸镀有机材料Alq3、CuPc，控制蒸镀速率与时间，使之厚度分别为3.6μηι、2μηι ；
[0080]4.丝网状金属阴极制备
[0081]当各种有机薄膜蒸镀完毕后，将基片取出，覆盖丝网状电极掩模版，随后将基片送入金属蒸镀室，抽真空使气压保持在1.9 X 10—3，进行金属电极的蒸镀，调节电流，使Cr: Al的蒸镀比例为8:1，得到厚度为3μπι的Cr:Al电极；
[0082]器件测试数据:
[0083]器件制作完成后，使用探测器件发光亮度的亮度计探测器件发光亮度，使用半导体测试系统测试器件电流-电压特性。经检测，该器件对NO2等气体具有气敏响应特性，该气体能够增大器件的发光亮度;工作电压为20V时，发光亮度为16 cd/m2，随NO2等含氮气体浓度增加，发光亮度增加。最低检测量IppmNO2浓度下，发光亮度为18 cd/m2,50 ppm NO2浓度下，发光亮度为31 cd/m2,150 ppm NO2浓度下，发光亮度为59 cd/m2。
[0084]实施例3:
[0085]—种具有气体检测功能的真空环网柜，其特征在于，在真空环网柜柜体的外部安装气体检测模块，该气体检测模块由如下方法制作而成:
[0086]具体流程为:导电塑料ITO-PET表面清洗及处理一基片置于真空腔一真空蒸镀有机层一蒸镀金属电极一封装或测试。
[0087]1.导电塑料ITO-PET清洗
[0088]首先，切割特定尺寸的ΙΤ0-ΡΕΤ，用专用洗涤剂和无尘布对ITO-PET基片进行搓洗，以去除基片上的各种油污物，然后依次放入复合生物酶液，去离子水、丙酮、乙醇中，各超声15min;然后，用高纯氮气吹干ITO-PET，使乙醇蒸发，然后放入预处理腔中，持续通入高纯氧气，用等离子体轰击基片5min ；
[0089]所述复合生物酶的成分为:碱性蛋白酶0.2g/L，纤维素酶1.3g/L，多酚氧化酶0.05g/L，其余为去离子水；
[0090]所述三种酶的酶活均为5000u/g。
[0091]2.多孔结构YSZ制备
[0092]a)称取适量的Ni(Νθ3)2.6Η2Ο和去离子水放入烧杯中充分溶解，在磁力搅拌的作用下用分液漏斗缓慢滴入氨水，使之充分反应，滴定完毕后80°C水浴Ih得到悬浊液，经离心机分离得到沉淀物，然后放入箱式炉中300°C保温5h即可得到黑色的N1粉末；
[0093]b)称取YSZ和N1粉末，按质量比5:4放入球磨机中，再加入一定量的分散剂和乙醇，使之充分混合，得到YSZ浆料；
[0094]c)将YSZ浆料采用丝网印刷技术涂覆在导电塑料ITO-PET表面，厚度为2μπι，放入烘干箱中烘干；
[0095]3.有机薄膜蒸镀
[0096]a)把待蒸发的有机材料(Alq3、CuPc)放入相应的蒸发舟中，并用掩膜挡住；
[0097]b)把烘干后的导电塑料基片从预处理腔传送到有机腔，将基片置于有机腔内的样品托上，对准有机束源；
[0098]c)对有机腔进行抽真空，当真空达到所需数值时，调节蒸发炉温控仪，增加蒸发温度，对材料进行加热，条件合适后，依次蒸镀有机材料Alq3、CuPc，控制蒸镀速率与时间，使之厚度分别为5.4μηι、2μηι ；
[0099]4.丝网状金属阴极制备
[0100]当各种有机薄膜蒸镀完毕后，将基片取出，覆盖丝网状电极掩模版，随后将基片送入金属蒸镀室，抽真空使气压保持在1.5 X 10—3，进行金属电极的蒸镀，调节电流，使Cr: Al的蒸镀比例为8:1，得到厚度为4.6μπι的Cr: Al电极；
[0101]器件测试数据:
[0102]器件制作完成后，使用探测器件发光亮度的亮度计探测器件发光亮度，使用半导体测试系统测试器件电流-电压特性。经检测，该器件对NO2等气体具有气敏响应特性，该气体能够增大器件的发光亮度;工作电压为20V时，发光亮度为16 cd/m2，随NO2等含氮气体浓度增加，发光亮度增加。最低检测量0.1ppm NO2浓度下，发光亮度为18 cd/m2，30 ppm NO2浓度下，发光亮度为35cd/V，50 ppm NO2浓度下，发光亮度为52 cd/m2,100 ppm NO2浓度下，发光亮度为168cd/m2，150 ppm NO2浓度下，发光亮度为218 cd/m2。
[0103]实施例4:
[0104]—种具有气体检测功能的真空环网柜，其特征在于，在真空环网柜柜体的外部安装气体检测模块，该气体检测模块由如下方法制作而成:
[0105]具体流程为:导电塑料ITO-PET表面清洗及处理一基片置于真空腔一真空蒸镀有机层一蒸镀金属电极一封装或测试。
[0106]1.导电塑料ITO-PET清洗
[0107]首先，切割特定尺寸的ΙΤ0-ΡΕΤ，用专用洗涤剂和无尘布对ITO-PET基片进行搓洗，以去除基片上的各种油污物，然后依次放入复合生物酶液，去离子水、丙酮、乙醇中，各超声15min;然后，用高纯氮气吹