式中为元件Pl的中心位置)即缺件位置为中心的矩形形状的区域设定为异物检查区域。此外，矩形形状的区域的XY方向上的大小既可以为固定值，也可以是例如以元件Pl的元件尺寸越大则异物检查区域越大的方式基于缺件尺寸信息进行计算的可变值。另外，异物检查区域的形状并不局限于矩形形状，例如，也可以是圆形。此外，在图6中，基于元件Pl的异物检查区域仅包含被检测出元件Pl的缺件的子基板S2，但是在以元件Pl为中心的矩形形状的区域包含除子基板S2以外的子基板的一部分区域的情况下，除子基板S2以外的该区域也包含在异物检查区域内。另外，在被判定为缺件的元件P存在多个的情况下，CPU42对各元件P分别设定异物检查区域。即，CPU42设定多个异物检查区域。
[0041 ]接着，CPU42判定在步骤S230中设定的异物检查区域内是否存在判定阈值Eth以上的大小的异物(步骤S240)。基于CPU42的有无异物的判定例如如下进行。首先，进行在缺件检查处理流程的步骤S120中取得的拍摄图像数据与存储在管理计算机80的HDD85中的安装前基准图像数据及安装后基准图像数据之间的比较，在异物检查区域内检测拍摄图像与基准图像看起来不同的一个以上像素，将检测出的像素确定为异物候补像素。安装前基准图像数据及安装后基准图像数据由CPU42从管理计算机80取得。在确定异物候补像素时，CPU42对于异物检查区域内的检测有缺件的区域，基于安装前基准图像数据来进行比较，对于除此以外的区域，基于安装后基准图像数据来进行比较。此外，也可以将CPU42设为对于异物检查区域内的检测有缺件的区域不进行比较。在该情况下，无需取得安装前基准图像数据。在确定异物检查区域内的异物候补像素时，CPU42将在X方向及Y方向上连续的异物候补像素看做是一个异物候补，判定在异物检查区域内是否存在具有判定阈值Eth以上的数量的异物候补像素的异物候补。并且，CPU42将具有判定阈值Eth以上的数量的异物候补像素的异物候补作为异物进行检测。此外，CPU42在具有判定阈值Eth以上的数量的异物候补像素的异物候补存在多个的情况下分别检测多个异物。另外，在存在包含异物检查区域的端部(外周)的像素在内的异物候补的情况下，CPU42也可以对于异物检查区域的周边的像素进行比较。这样，即使在异物候补跨越异物检查区域的内外的情况下，也能够适当地计算该异物候补的大小(异物候补像素数)，能够更加适当地判定异物候补是否为异物。另外，CPU42在设定有多个异物检查区域时，对于各异物检查区域分别判定是否存在判定阈值Eth以上的大小的异物。这样，CPU42将基板S中的缺件位置的周边作为异物检查区域，并优先对该异物检查区域进行异物检查。另外，CPU42忽略小于判定阈值Eth的异物(异物候补)而进行异物检查。
[0042]当CPU42在步骤S240中判定为存在一个以上异物时，CPU42将能够确定异物的信息作为异物信息并存储在HDD45(步骤S250)。在本实施方式中，作为确定检测出的异物的基板S上的位置的信息，CPU42将异物的XY方向上的中心坐标作为异物信息进行存储。接着，CPU42判定在步骤S240中检测出的异物的数量是否为在缺件检查处理中检测出的缺件的数量以上(步骤S260)。
[0043]在步骤S240中CPU42判定为不存在异物之后、或者在步骤S260中CPU42判定为异物数为缺件数以下之后，CPU42取得与基板S中的被检测出缺件的元件P的基板S上的搬运路线相关的信息即缺件搬运信息(步骤S270)。在本实施方式中，CPU42基于在缺件检查处理中存储在HDD45中的安装条件信息86及缺件信息，确定被判定为缺件的元件P的搬运路线，并将其作为缺件搬运信息而取得。此外，在被判定为缺件的元件P存在多个的情况下，CHJ42分别取得各元件P的缺件搬运信息。
[0044]接着，CPU42基于取得的缺件搬运信息，设定包含基板S上的缺件搬运路线在内的异物检查区域(步骤S280)。图7是表示设定了包含缺件搬运路线在内的异物检查区域的情形的说明图。在图7中，与图6相同，示出了子基板S2上的元件Pl被判定为缺件的情况下的异物检查区域。如图所示，安装时的元件Pl的基板S上的搬运路线即缺件搬运路线是组合从基板S的前端朝向右后方的直线和朝向后方的至元件Pl的沿Y方向的直线而成的折线状的路线。CPU42将包含该缺件搬运路线在内的区域设定为异物检查区域。此外，在图7中，将缺件搬运路线设为折线状，但是其并不局限于此，也可以是一条直线状或曲线状。此外，既可以将异物检查区域设为例如使缺件搬运路线在XY方向上扩张固定值所得的区域，也可以设为以元件Pl的元件尺寸越大则异物检查区域越大的方式在XY方向上扩张基于缺件尺寸信息进行计算的可变值所得的区域。此外，如图7所示，CPU42在基板S为多连片基板的情况下使除被检测出缺件的子基板S2以外的子基板SI也包含在异物检查区域内。另外，在被判定为缺件的元件P存在多个的情况下，CPU42针对各元件P分别设定异物检查区域。即，CPU42设定多个异物检查区域。另外，对于在步骤S230中被设定为异物检查区域的区域等进行了步骤S240的判定的区域，也可以从在步骤S280中设定的异物检查区域中去除。
[0045]接着，CPU42判定是否在步骤S280中设定的异物检查区域内存在判定阈值Eth以上的大小的异物(步骤S290)，当判定为存在一个以上异物时，将异物信息存储于HDD45(步骤S300) ο对于该步骤S290、S300的处理，CPU42与步骤S240、S250的处理相同地进行。这样，CPU42将基板S中的包含缺件搬运路线在内的区域设为异物检查区域，优先对该异物检查区域进行异物检查。在CPU42进行了步骤S300的处理之后，CPU42判定在步骤S240及步骤S290中检测出的异物数(合计数)是否为在缺件检查处理中检测出的缺件数以上(步骤S310)。
[0046]在步骤S290中CPU42判定为不存在异物之后、或者在步骤S310中CPU42判定为异物数为小于缺件数之后，CPU42将在基板S上未进行异物检查的未异物检查区域整体设定为异物检查区域(步骤S320)。此外，与步骤S280相同，CPU42在基板S为多连片基板的情况下也使除被检测出缺件的子基板以外的子基板包含在异物检查区域内。接着，CPU42判定在步骤S320中设定的异物检查区域内是否存在判定阈值Eth以上的大小的异物(步骤S330)，当判定为存在一个以上异物时，将异物信息存储在HDD45(步骤S340)。对于该步骤S330、S340的处理，CPU42与步骤S240、S250的处理相同地进行。这样，CPU42在优先进行了异物检查的异物检查区域中未检测出缺件数以上的异物时，对基板S上的未异物检查区域整体进行异物检查。
[0047]在CPU42进行了步骤S340的处理之后、或者在步骤S330中CPU42判定为不存在异物之后，CPU42判定在步骤S240、步骤S290及步骤S330中检测出的异物数(合计数)是否为值I以上(步骤S350)。
[0048]在步骤S260或者步骤S310中CPU42判定为异物数为缺件数以上之后、或者在步骤S350中CPU42判定为异物数为值I以上之后，CPU42控制操作面板56，使得包含在缺件检查处理的步骤S140中存储的缺件信息和在步骤S250、步骤S300及步骤S340中的一个以上存储的异物信息在内的预定的检查结果显示画面显示于显示部57(步骤S360)。由此，向操作者报告缺件及异物的存在、与缺件相关的信息、异物的基板S上的位置信息等。
[0049]另一方面，在步骤S350中CPU42判定为异物数为值O之后，CPU42控制操作面板56，使得包含在缺件检查处理的步骤S140中存储的缺件信息在内的检查结果显示画面显示于显示部57(步骤S370)。由此，向操作者报告缺件的存在、与缺件相关的信息等。
[0050]并且，在CPU42进行了步骤S360或者步骤S370的处理之后，CPU42控制基板处理单元50，使得基板S离开生产线。操作者对离开生产线的基板S进行适当的处理。例如，当在检查结果显示画面中显示异物的存在、异物的位置时，操作者在基于显示的异物的位置信息去除基板S上的异物的基础上，使用安装处理装置20等进行被检测出缺件的元件P的再安装等，并使基板S返回生产线。另外，当在检查结果显示画面中显示缺件的存在而未显示异物的存在时，操作者使用安装处理装置20等进行被检测出缺件的元件P的再安装等，并使基板S返回生产线。
[0051]在此，明确本实施方式的结构要素与本发明的结构要素之间的对应关系。本实施方式的检查控制单元41相当于本发明的缺件检查单元、异物检查单元、报告单元及基准图像取得单元。另外，基板相机53相当于拍摄图像取得单元。
[0052]根据以上说明的安装检查装置40，基于缺件检查的结果，对检测出安装的元件P的缺件的基板S进行基板S上的异物检查。这样，在成为缺件的元件P存在于基板S上的情况下，检查控制单元41能够将该元件作为异物进行检测。因此，能够抑制成为缺件的元件P被放置于基板S上，能够进一步抑制检测出缺件的基板S成为不合格基板。此外，作为在成为缺件的元件P存在于基板S上的情况，例如，列举有元件P在朝向安装位置的搬运期间落在基板S上的情况、过度地将基板按压成S状而导致元件P反弹从而向从安装位置偏移的位置移动的情况等。另外，由于安装检查装置40对通过缺件检查未检测出缺件的基板S不进行异物检查，因此能够更加尚效地进彳丁基板S的检查。
[0053]另外，安装检查装置40取得与基板S中的被检测出缺件的位置相关的信息即缺件位置信息，并优先对根据基板S中的缺件位置信息所确定的缺件位置的周边进行异物检查。成为缺件的元件P存在于该元件P的正确的位置的周边的可能性较高。因此，通过优先对元件P的正确