一种利用信息码识别的探针卡及方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及自动识别技术，尤其涉及一种利用信息码识别的探针卡及方法。
【背景技术】
[0002]射频识别，RFID(Rad1 Frequency Identificat1n)技术，又称无线射频识别，是一种通信技术，可通过无线电讯号识别特定目标并读写相关数据，而无需识别系统与特定目标之间建立机械或光学接触。电阻所带有的阻值差异性，也决定了其可以应用于工业识别。
[0003]现有技术通过射频识别技术(RFID)识别WAT测试探针卡，会出现几个问题:RFID粘结不牢固、粘胶的老化、厂商对探针卡进行PM时容易使RFID掉落或者丢失，不仅增加很多额外的工作量，且很可能造成不同探针卡之间RFID粘错，给测试带来麻烦;探针卡在测试时容易掉落，将可能造成机台的宕机，其后果无法估量;RFID安装位置不准确，将导致机台无法识别探针卡;RFID安装不当，将导致探针卡在测试时损坏机台内部敏感元件;RFID的实物性及消耗性导致需要定期购买，这也是一笔不小的费用。而通过电阻来识别探针卡时，会产生识别信息有限、读错风险高等问题。
【发明内容】
[0004]针对上述问题，本发明提出了一种利用信息码识别探针卡的方法，包括:
[0005]S1:利用信息码生成器将探针卡的信息转换为信息码；
[0006]S2:将所述信息码扫描在探针卡上；
[0007]S3:在测试头上安装信息码识别器；
[0008]S4:利用所述信息码识别器读取所述探针卡上的所述信息码；
[0009]S5:利用信息码解码器将所述信息码转换为所述探针卡的信息。
[0010]上述的利用信息码识别探针卡的方法，其中，将所述信息码扫描在探针卡上的位置为探针卡PCB基板表面。
[0011]上述的利用信息码识别探针卡的方法，其中，安装所述信息码识别器于所述测试头上的位置必须与所述探针卡上的所述信息码位置相对应，以保证所述信息码能够被扫描。
[0012]上述的利用信息码识别探针卡的方法，其中，所述信息码为一维码或二维码。
[0013]提出了一种利用信息码识别的探针卡，包括:
[0014]PCB基板，处于所述探针卡的上部，是所述探针卡电路的载体；
[0015]探针结构，与所述PCB板相连接，用于引出探针以连接外部电路；
[0016]信息码，处于所述PCB板上表面，用于识别所述探针卡。
[0017]上述的利用信息码识别的探针卡，其中，所述信息码是一维码或二维码。
[0018]还提出了一种利用信息码识别探针卡的WAT测试设备，其特征在于，所述测试设备包括:
[0019]探针卡，放置于圆晶上，用于测试所述圆晶的参数；
[0020]信息码，扫描于所述探针卡上表面，用于识别所述探针；
[0021 ]测试头，位于所述探针卡上方，用于安装信息码识别器；
[0022]信息码识别器，安装于所述测试头突出物表面，用于读取所述信息码信息；
[0023]载物台，处于所述设备最下部，用于支撑所述晶圆。
[0024]上述的利用信息码识别探针卡的WAT测试设备，其中，所述信息码识别器的位置必须与所述信息码的位置相对应，以保证所述信息码能够被扫描。
[0025]上述的利用信息码识别探针卡的WAT测试设备，其中，所述信息码是一维码或二维码。
[0026]有益效果，本发明提出了一种利用信息码识别的探针卡及方法，不仅确保了探针卡的识别，避免了目前RFID容易掉落、丢失等造成的后果，同时节约了购买RFID需要的费用，降低了WAT测试所需探针卡部分的支出，还降低了探针卡在厂商维修等过程中造成的错误。
【附图说明】
[0027]图1是本发明实施例中利用信息码识别探针卡的方法的流程示意图；
[0028]图2是本发明实施例中利用信息码识别探针卡的WAT测试设备的结构示意图。
【具体实施方式】
[0029]下面结合附图对本发明具体的实施例作进一步的说明。
[0030]如图1所示，本实施例中提出了本发明提出了本发明提出了一种利用信息码识别探针卡的方法，包括:
[0031]S1:利用信息码生成器将探针卡的信息转换为信息码；
[0032]S2:将所述信息码扫描在探针卡上；
[0033]S3:在测试头上安装信息码识别器；
[0034]S4:利用所述信息码识别器读取所述探针卡上的所述信息码；
[0035]S5:利用信息码解码器将所述信息码转换为所述探针卡的信息。
[0036]优选的，将所述信息码扫描在探针卡上的位置为探针卡PCB基板表面。
[0037]优选的，安装所述信息码识别器于所述测试头上的位置必须与所述探针卡上的所述信息码位置相对应，以保证所述信息码能够被扫描。
[0038]优选的，所述信息码为一维码或二维码。
[0039]提出了一种利用信息码识别的探针卡，包括:
[0040]PCB基板，处于所述探针卡的上部，是所述探针卡电路的载体；
[0041]探针结构，与所述PCB板相连接，用于引出探针以连接外部电路；
[0042]信息码，处于所述PCB板上表面，用于识别所述探针卡。
[0043]优选的，所述信息码是一维码或二维码。
[0044]如图2所示，还提出了一种利用信息码识别探针卡的WAT测试设备，其特征在于，所述测试设备包括:
[0045]探针卡2，放置于圆晶上，用于测试晶圆的参数；
[0046]信息码I，扫描于所述探针卡上表面，用于识别探针卡2;
[0047]测试头3，位于所述探针卡上方，用于安装信息码识别器4;
[0048]信息码识别器4，安装于测试头3突出物表面，用于读取信息码I信息；
[0049]载物台5，处于设备最下部，用于支撑晶圆。
[0050]优选的，信息码识别器4的位置必须与所述信息码的位置相对应，以保证信息码I能够被扫描。
[0051]优选的，信息码I是一维码或二维码，也可以是其他有效信息码，在此并不作为限制。
[0052]具体的，利用信息码生成器将探针卡2的信息转换为信息码I后，将信息码I扫描在探针卡2上(位置可以为探针卡2的PCB基板表面，也可以是能够保证信息码I被信息码识别器4读取的其他位置)，然后在测试头3上安装信息码识别器4(安装信息码识别器4于测试头3上的位置必须探针卡2上的信息码I位置相对应，以保证信息码I能够被扫描)，再将探针卡2放置于载物台5上的晶圆上，利用信息码识别器4读取探针卡2上的信息码I，最后利用信息码解码器将信息码I转换为探针卡2的信息，以达到获取探针卡2信息的目的。
[0053]综上所述，本发明提出了一种利用信息码识别的探针卡及方法，不仅确保了探针卡的识别，避免了目前RFID容易掉落、丢失等造成的后果，同时节约了购买RFID需要的费用，降低了WAT测试所需探针卡部分的支出，还降低了探针卡在厂商维修等过程中造成的错误。
[0054]通过说明和附图，给出了【具体实施方式】的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提供了具体的实施例，然而，这些内容并不作为局限。
[0055]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
【主权项】
1.一种利用信息码识别探针卡的方法，其特征在于，所述方法包括: S1:利用信息码生成器将探针卡的信息转换为信息码； 52:将所述信息码扫描在探针卡上； 53:在测试头上安装信息码识别器； S4:利用所述信息码识别器读取所述探针卡上的所述信息码； S5:利用信息码解码器将所述信息码转换为所述探针卡的信息。2.根据权利要求1所述的利用信息码识别探针卡的方法，其特征在于，所述方法中: 将所述信息码扫描在所述探针卡上的步骤中，扫描的位置为所述探针卡的PCB基板表面。3.根据权利要求1所述的利用信息码识别探针卡的方法，其特征在于，所述方法中: 安装所述信息码识别器于所述测试头上的位置必须与所述探针卡上的所述信息码位置相对应，以保证所述信息码能够被扫描。4.根据权利要求1所述的利用信息码识别探针卡的方法，其特征在于，所述方法中: 所述信息码为一维码或二维码。5.一种利用信息码识别的探针卡，其特征在于，所述探针卡包括: PCB基板，处于所述探针卡的上部，是所述探针卡电路的载体； 探针结构，与所述PCB板相连接，用于引出探针以连接外部电路； 信息码，处于所述PCB板上表面，用于识别所述探针卡。6.根据权利要求5所述的利用信息码识别的探针卡，其特征在于，所述探针卡中: 所述信息码是一维码或二维码。7.一种利用信息码识别探针卡的WAT测试设备，其特征在于，所述测试设备包括: 探针卡，放置于圆晶上，用于测试所述晶圆的参数； 信息码，扫描于所述探针卡上表面，用于识别所述探针卡； 测试头，位于所述探针卡上方，用于安装信息码识别器； 信息码识别器，安装于所述测试头突出物表面，用于读取所述信息码信息； 载物台，处于所述设备最下部，用于支撑所述晶圆。8.根据权利要求7所述的利用信息码识别探针卡的WAT测试设备，其特征在于，所述测试设备中: 所述信息码识别器的位置必须与所述信息码的位置相对应，以保证所述信息码能够被扫描。9.根据权利要求7所述的利用信息码识别探针卡的WAT测试设备，其特征在于，所述测试设备中: 所述信息码是一维码或二维码。
【专利摘要】本发明涉及自动识别领域，尤其涉及一种利用信息码识别的探针卡及方法，不仅确保了探针卡的识别，避免了目前RFID容易掉落、丢失等造成的后果，同时节约了购买RFID需要的费用，降低了WAT测试所需探针卡部分的支出，还降低了探针卡在厂商维修等过程中造成的错误。
【IPC分类】G01R1/073, G01R31/00
【公开号】CN105606854
【申请号】CN201510662503
【发明人】谢翠萍, 莫保章
【申请人】上海华力微电子有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年10月14日