成的，所以能够抑制在制造时的由激光引起的对闪烁体层8以及焊垫5的不良影响。另外，通过尽量接近于闪烁体层8来配置树脂框9从而还能够谋求到闪烁体层8的有效面积的大型化。因此，根据放射线检测器I，能够兼备装置(包含放射线检测器I的放射线检测装置)的小型化以及闪烁体层8的有效面积的大型化并且能够谋求到生产性的提高。
[0062]另外，根据本实施方式所涉及的放射线检测器I的制造方法，因为是由激光来切断树脂框9上的保护膜13，所以与凭借切割器的切断相比较没有必要有熟练的技术，并且能够提高生产性。另外，因为能够由激光来高精度地切断保护膜13，所以能够对树脂框9实行小型化。另外，通过从闪烁体层8以及焊垫5分开来形成树脂框9，从而就能够抑制在保护膜13被切断时的由激光引起的对闪烁体层8以及焊垫5的不良影响。另外，通过接近于闪烁体层8来形成树脂框9从而还能够谋求到闪烁体层8的有效面积的大型化。
[0063]以上已基于所述实施方式对本发明作了详细说明。但是，本发明并不限定于上述实施方式。本发明只要是在不脱离其宗旨的范围内各种各样的变形是可能的。例如，在以上所述说明内容中作为保护膜13已就将无机膜11夹入到聚对二甲苯制的有机膜10、12之间的结构作了说明，但是第I有机膜10和第2有机膜12的材料也可以有所不同。另外，在作为无机膜11而使用强抗腐蚀性的材料的那样的情况下，也可以不设置第2有机膜12本身。另外，作为受光部3已就多个光电转换元件3a被排列成二维的情况作了说明，但是受光部3也可以是多个光电转换元件3a被排列成一维。于是，焊垫5还会有不是被形成于矩形状的放射线检测器I的2边而是被形成于3边的情况。还有，在上述实施方式中已就使激光头移动来实行激光加工的方法作了说明，但是也可以使装载放置了放射线检测器I的工作台移动来对树脂框9以及保护膜13实行激光加工。
[0064]符号说明
[0065]1.放射线检测器
[0066]2.基板
[0067]3.受光部
[0068]3a.光电转换元件
[0069]4.信号线
[0070]5.焊垫
[0071]6.钝化膜
[0072]7.光电转换元件阵列
[0073]8.闪烁体层
[0074]8a.闪烁体
[0075]8b.周缘部
[0076]9.树脂框
[0077]9a.沟槽部(对应区域)
[0078]10.第I有机膜
[0079]11.无机膜(金属膜)
[0080]12.第2有机膜
[0081]13.保护膜
[0082]13a.保护膜13的外缘
[0083]14.覆盖树脂层
[0084]Dl.第I距离
[0085]D2.第 2距离
[0086]d，dl，d3.高度
[0087]d2.宽度
[0088]El.树脂框9的内缘
[0089]E2.树脂框9的外缘
[0090]E3.闪烁体层8的外缘
[0091]E4.光电转换元件阵列7的外缘
【主权项】
1.一种放射线检测器，其特征在于: 具备: 光电转换元件阵列，具有包含被排列成一维或者二维的多个光电转换元件的受光部、以及与所述光电转换元件相电连接并且配置于所述受光部的外侧的多个焊垫； 闪烁体层，以覆盖所述受光部的形式层叠于所述光电转换元件阵列上并且将放射线转换成光； 树脂框，在从所述闪烁体层的层叠方向看的情况下以从所述闪烁体层以及所述焊垫分开且通过所述闪烁体层与所述焊垫之间并且包围所述闪烁体层的方式形成于所述光电转换元件阵列上；以及 保护膜，覆盖所述闪烁体层并具有位于所述树脂框上的外缘， 所述树脂框的内缘与所述闪烁体层的外缘之间的第I距离比所述树脂框的外缘与所述光电转换元件阵列的外缘之间的第2距离短， 所述保护膜的所述外缘、以及在所述树脂框上对应于所述保护膜的所述外缘的对应区域成为由激光加工的状态。2.如权利要求1所述的放射线检测器，其特征在于: 所述保护膜的所述外缘以及所述对应区域在从所述层叠方向看的情况下成为细微的波浪形状。3.如权利要求1或者2所述的放射线检测器，其特征在于: 所述对应区域的高度成为所述树脂框的高度的1/3以下。4.如权利要求1?3中任意一项所述的放射线检测器，其特征在于: 所述第2距离相对于所述第I距离的比率成为5以上。5.如权利要求1?4中任意一项所述的放射线检测器，其特征在于: 所述树脂框以中央部高于两缘部的方式被形成，所述树脂框的高度低于所述闪烁体层的高度。6.如权利要求5所述的放射线检测器，其特征在于: 所述树脂框的所述内缘与所述树脂框的所述外缘之间的宽度为900μπι以下， 所述树脂框的高度是450μπι以下。7.如权利要求1?6中任意一项所述的放射线检测器，其特征在于: 由所述激光加工的所述保护膜的所述外缘以及所述对应区域在从所述层叠方向看的情况下形成为具有向外侧凸出的弧状的角部的大致矩形环状。8.如权利要求1?7中任意一项所述的放射线检测器，其特征在于: 进一步具备以覆盖所述保护膜的所述外缘的方式沿着所述树脂框配置的覆盖树脂层。9.如权利要求1?8中任意一项所述的放射线检测器，其特征在于: 所述闪烁体层的周缘部成为随着朝向所述闪烁体层的外侧而高度渐渐变低的锥形状。10.如权利要求1?9中任意一项所述的放射线检测器，其特征在于: 所述保护膜包含使光反射的金属膜。11.一种放射线检测器的制造方法，其特征在于: 具备以下工序: 准备具有包含被排列成一维或者二维的多个光电转换元件的受光部、以及与所述光电转换元件相电连接并且配置于所述受光部的外侧的多个焊垫的光电转换元件阵列，以覆盖所述受光部的方式在所述光电转换元件阵列上层叠将放射线转换成光的闪烁体层的工序；在从所述闪烁体层的层叠方向看的情况下以从所述闪烁体层以及所述焊垫分开且通过所述闪烁体层与所述焊垫之间并且包围所述闪烁体层的形式将树脂框形成于所述光电转换元件阵列上的工序； 以至少覆盖所述光电转换元件阵列的所述闪烁体层被层叠的一侧的全体表面的形式形成保护膜的工序；以及 通过沿着所述树脂框照射激光从而切断所述保护膜并除去所述保护膜的外侧部分的工序， 在形成所述树脂框的工序中，以所述树脂框的内缘与所述闪烁体层的外缘之间的第I距离短于所述树脂框的外缘与所述光电转换器元件阵列的外缘之间的第2距离的方式形成所述树脂框。
【专利摘要】本发明所涉及的放射线检测器(1)的特征在于：具备具有受光部(3)以及多个焊垫(5)的光电转换元件阵列(7)、被层叠于光电转换元件阵列(7)上的闪烁体层(8)、以从闪烁体层(8)以及焊垫(5)分开且通过闪烁体层(8)与焊垫(5)之间并且包围闪烁体层(8)的形式被形成于光电转换元件阵列(7)上的树脂框(9)、覆盖闪烁体层(8)并具有位于树脂框(9)上的外缘(13a)的保护膜(13)，树脂框(9)的内缘(E1)与闪烁体层(8)的外缘(E3)之间的第1距离(D1)成为短于树脂框(9)的外缘(E2)与光电转换元件阵列(7)的外缘(E4)之间的第2距离，外缘(13a)以及沟槽部(9a)由激光来进行加工。
【IPC分类】G01T1/20
【公开号】CN105723244
【申请号】CN201480061928
【发明人】榑林章仁
【申请人】浜松光子学株式会社
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2014年10月10日
【公告号】WO2015072260A1