适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
[0030]在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
[0031]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0032]参考图1，本实用新型提供了一种MEMS三轴陀螺仪，其包括衬底(视图未给出)，以及弹性悬置在衬底上方的主质量块1，还包括驱动主质量块I在衬底上方转动的驱动电极8。本实用新型为了便于描述，以主质量块I的横向方向为X轴方向，以主质量块I的竖向方向为Y轴方向，以垂直于主质量块I所在平面的方向为Z轴方向。对于本领域的技术人员而言，应当理解的是，定义的X、Y、Z轴的方向只是为了便于描述，不应该用来限制本实用新型的保护范围，例如也可以定义主质量块I的竖向方向为X轴方向，定义主质量块I的横向方向为Y轴方向等。
[0033]参考图1、图2，在衬底上固定有锚点la，主质量块I通过一弹性梁连接在所述锚点Ia上，使得主质量块I在受到外界的驱动力时，可以以锚点Ia为转轴进行转动，该锚点Ia优选位于主质量块I的结构中心，使得主质量块I具有对称的结构。主质量块I与锚点Ia之间的这种连接结构属于本领域技术人员的公知常识。其中，所述弹性梁优选为第一十字弹性梁lb，从而可以使主质量块I稳固连接在锚点Ia上。当主质量块I受到外界相应的驱动时，使其可以以锚点Ia为转轴，扭转第一^h字弹性梁Ib变形，并在Z轴方向上顺时针或逆时针转动。
[0034]本实用新型的驱动电极8主要为主质量块I提供驱动力，该驱动电极8例如可以分布在主质量块I相对的两侧，并与主质量块I构成驱动电容。在本实用新型一个具体的实施方式中，参考图1，驱动电极8设置有四个，分别设置在主质量块I两个Y轴方向侧壁的上部、下部。驱动电极8可以通过锚点固定在衬底上，其与主质量块I的侧壁可以构成梳齿电容。近似位于主质量块I对角线方向上的两个驱动电极8为一组，两组驱动电极形成了差分驱动电容。以图1的视图方向为准，例如位于主质量块左上方、右下方的两个驱动电极8为一组，可以驱动主质量块I逆时针转动；位于主质量块I左下方、右上方的两个驱动电极8为一组，可以驱动主质量块I顺时针转动。当然对于本领域技术人员来说，四个驱动电极8也可以设置在主质量块I两个X轴方向侧壁的左方、右方，同样可以实现主质量块I的顺时针或逆时针驱动。
[0035]本实用新型的MEMS三轴陀螺仪，还包括用于检测X轴角速度、Y轴角速度的XY轴检测结构3，参考图2，所述XY轴检测结构3包括通过锚点2a弹性支撑在所述衬底上方的随动质量块2。与主质量块I的连接方式一致，在衬底上固定有锚点2a，随动质量块2通过一弹性梁连接在所述锚点2a上，使得随动质量块2在受到外界的驱动力时，可以以锚点2a为转轴进行转动。该锚点2a优选位于随动质量块2的结构中心，使得随动质量块2具有对称的结构。其中，所述弹性梁优选为第二十字弹性梁2b，从而可以使随动质量块2稳固连接在锚点2a上。当随动质量块2受到外界相应的驱动时，可以使其以锚点2a为转轴，扭转第二十字弹性梁2b变形，并在Z轴方向上逆时针或顺时针转动。
[0036]所述随动质量块2的侧壁通过驱动弹性梁25与主质量块I的侧壁连接在一起。在本实用新型一个优选的实施方式中，所述主质量块I上设置有通孔，所述随动质量块2悬置在衬底的上方并位于相应的通孔内，其中，所述驱动弹性梁25与随动质量块2的侧壁平行设置，其两端固定在主质量块I的侧壁上，所述驱动弹性梁25的中部位置连接在随动质量块2的侧壁上。当驱动电极8驱动主质量块I顺时针转动的时候，由于随动质量块2通过锚点2a固定在衬底上，这就使得主质量块I通过驱动弹性梁25驱动随动质量块2逆时针转动；基于相同的道理，当驱动电极8驱动主质量块I逆时针转动的时候，主质量块I通过驱动弹性梁25驱动随动质量块2顺时针转动。
[0037]本实用新型的驱动弹性梁25可以设置四个，分别分布在随动质量块2的四个侧壁方向，通过四个驱动弹性梁25来驱动随动质量块2的转动，使其可以对随动质量块2的四周具有很好的限制作用，保证随动质量块2只在X轴、Y轴所构成的平面内转动。
[0038]在所述随动质量块2上还分布有X轴检测质量块、Y轴检测质量块，分别用于X轴角速度、Y轴角速度的测量。在本实用新型一个优选的实施方式中，X轴检测质量块设置有两个，分别记为第一 X轴检测质量块20、第二 X轴检测质量块21 ;其中第一 X轴检测质量块20、第二 X轴检测质量块21位于随动质量块2的Y轴方向上，优选位于随动质量块2的Y轴中线上，且相对于随动质量块2的锚点2a对称分布，从而保证了随动质量块2的对称性。其中，第一 X轴检测质量块20、第二 X轴检测质量块21分别通过沿Y轴方向延伸的第一连接梁20a与随动质量块2连接在一起；
[0039]所述Y轴检测质量块优选设置有两个，分别记为第一 Y轴检测质量块22、第二 Y轴检测质量块23 ;该两个Y轴检测质量块22、23位于随动质量块2的X轴方向上，优选位于随动质量块2的X轴中线上，且相对于随动质量块2的销点2a对称分布，从而保证了随动质量块2的对称性。其中，第一 Y轴检测质量块22、第二 Y轴检测质量块23分别通过沿X轴方向延伸的第二连接梁22c与随动质量块2连接在一起。
[0040]第一 Y轴检测质量块22、第二 Y轴检测质量块23、第一 X轴检测质量块20、第二 X轴检测质量块21具有相同的结构，以第一 Y轴检测质量块22为例，参考图3，其包括具有第一可动电极22a、第二可动电极22b的两端，并且，第一可动电极22a、第二可动电极22b相对于第二连接梁22c对称分布。也就是说第一 Y轴检测质量块22沿着Y轴方向延伸，其中心位置连接在第二连接梁22c的中部。当受到Y轴方向的角速度时，在驱动电极8提供的驱动力下，使得第一 Y轴检测质量块22在科式力的作用下以第二连接梁22c为支点作类似跷跷板的运动，也就是说，其中一个可动电极上升、另一个可动电极下降，通过在衬底上相应的位置设置固定电极，使得第一可动电极22a、第二可动电极22b之间可以构成差分电容结构，以实现Y轴角速度的检测。
[0041]其中，由于第一 Y轴检测质量块22、第二 Y轴检测质量块23相对于随动质量块2的锚点2a对称分布，这就使得第一 Y轴检测质量块22与第二 Y轴检测质量块23上的检测电容也可以构成用于Y轴角速度检测的差分电容结构。
[0042]基于相同的道理，所述第一 X轴检测质量块20、第二 X轴检测质量块21的两端也具有第一可动电极、第二可动电极，其中该两个可动电极相对于第一连接梁22a对称分布。也就是说第一 X轴检测质量块20、第二 X轴检测质量块21沿着X轴方向延伸，其中心位置连接在第一连接梁20a的中部。当受到X轴方向的