激光入射角调试及角漂监测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种激光入射角调试及角漂监测装置，属于光学元件检测技术领域。
【背景技术】
[0002]在精密光学工程方面，某些领域需要准确测量激光与光学元件作用时的相对夹角。例如高功率激光器中晶体匹配角测试，精度要求高达1yrad量级；在其他一些对光学元件指标有严格要求的工程装置中，对激光入射角的准确测量还必须要涵盖于光学元件的生产、加工、镀膜中。现阶段，一些高精度激光准直仪能够实现5 μ rad的角度偏差测量，但激光准直仪采用直接测量的方式，容易被高能量激光损坏，同时直接测量晶体类元件时，可能出现色差现象，会大幅降低测量精度。
【实用新型内容】
[0003]为解决以上技术问题，本实用新型提供一种高精度的激光入射角调试及角漂监测装置，能够对激光入射角进行测量和调试，并实时监测角漂。
[0004]其技术方案如下:
[0005]—种激光入射角调试及角漂监测装置，包括元件光机座和向该元件光机座发射激光光束的激光器，所述元件光机座用于调节被测光学元件的偏摆与俯仰，其要点在于:所述元件光机座一侧设有第一激光自准直仪，另一侧设有劈板标准镜，所述第一激光自准直仪与元件光机座之间设有第一反射镜；
[0006]所述劈板标准镜远离元件光机座的一侧设有第二激光自准直仪，该劈板标准镜与元件光机座之间设有分光反射镜，所述分光反射镜位于激光器的入射光路中，该分光反射镜上方设有第二反射镜。
[0007]采用以上结构，可以利用第一激光自准直仪实现对被测光学元件与劈板标准镜间的夹角，即激光入射角的准直和测量，并能够通过元件光机座调节该夹角，利用第二激光自准直仪实时监测激光角漂，测量过程中，激光光束经反射镜后入射到相应的激光自准直仪上，避免直接测量导致设备及元件损坏，同时，采用分光反射镜解决了可能出现的色差问题，大大提高的测量精度。
[0008]优选地，所述劈板标准镜的劈角大于1°，以进一步改善色差现象。
[0009]为进一步提高测量精度，所述分光反射镜前后表面之间的夹角小于2"。
[0010]为便于调整光学元件位姿，以调节激光入射角并适时修正角漂，所述元件光机座优选为六维调整架。
[0011]有益效果:
[0012]采用以上技术方案的激光入射角调试及角漂监测装置，其测量精度高，适用于1500"范围内激光入射角的测量和调试工作，同时能够实时监测激光角漂，当角漂值过大时，可以根据使用需求进行角度修正。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的结构示意图；
[0014]图中，1、元件光机座，2、激光器，3、第一激光自准直仪，4、劈板标准镜，5、第一反射镜，6、第二激光自准直仪，7、分光反射镜，8第二反射镜，9、被测光学元件，10、入射激光，11、
出射激光。
【具体实施方式】
[0015]以下结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明。
[0016]如图1所示的一种激光入射角调试及角漂监测装置，包括用于安装被测光学元件9的元件光机座1，该元件光机座I优选采用六维调整架，在元件光机座I的前后两侧个设有一个激光自准直仪，即第一激光自准直仪3和第二激光自准直仪6。
[0017]在元件光机座I与第二激光自准直仪6之间设有劈板标准镜4，该劈板标准镜4的劈角大于1°，在劈板标准镜4与元件光机座I之间架设有分光反射镜7，该分光反射镜7前后表面之间的夹角小于2"。
[0018]在第一激光自准直仪3和被测光学元件9之间设有第一反射镜5，同时，在分光反射镜7上方相应设有第二反射镜8。
[0019]将被测光学元件9放置到元件光机座I上后，观测第一激光自准直仪3，调节元件光机座I，使光学元件9和劈板标准镜4的迎光面平行。
[0020]移开分光反射镜7，调节第二激光自准直仪6，使被测光学元件9反射回的光束入射于第二激光自准直仪6中心。
[0021]加入分光反射镜7和第二反射镜8，打开激光器2，入射激光10部分经分光反射镜7后入射至第二反射镜8，再反射回分光反射镜7，经劈板标准镜4入射至第二激光自准直仪6，另一部分入射激光10经分光反射镜7和被测光学元件9后，进而通过第一反射镜5形成出射激光11。
[0022]再次调节第二激光自准直仪6，使被测光学元件9、第二反射镜8反射的测量激光入射于该第二激光自准直仪6中心，完成整套系统的光路准直。
[0023]调节元件光机座I角度，观测第一激光自准直仪3，即可调节被测光学元件9和劈板标准镜4之间的夹角，该夹角即为激光与被测元件9间的夹角(入射角)，第二激光自准直仪6对激光漂移状况进行实时监测。
[0024]最后需要说明的是，上述描述仅仅为本实用新型的优选实施例，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不违背本实用新型宗旨及权利要求的前提下，可以做出多种类似的表示，这样的变换均落入本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种激光入射角调试及角漂监测装置，包括元件光机座(I)和向该元件光机座(I)发射激光光束的激光器(2)，所述元件光机座(I)用于调节被测光学元件的偏摆与俯仰，其特征在于:所述元件光机座(I) 一侧设有第一激光自准直仪(3)，另一侧设有劈板标准镜(4)，所述第一激光自准直仪(3)与元件光机座(I)之间设有第一反射镜(5)； 所述劈板标准镜(4)远离元件光机座(I)的一侧设有第二激光自准直仪￠)，该劈板标准镜(4)与元件光机座(I)之间设有分光反射镜(7)，所述分光反射镜(7)位于激光器(2)的入射光路中，该分光反射镜(7)上方设有第二反射镜(8)。2.根据权利要求1所述的激光入射角调试及角漂监测装置，其特征在于:所述劈板标准镜(4)的劈角大于1°。3.根据权利要求2所述的激光入射角调试及角漂监测装置，其特征在于:所述分光反射镜(7)前后表面之间的夹角小于2"。4.根据权利要求1或2或3所述的激光入射角调试及角漂监测装置，其特征在于:所述元件光机座(I)为六维调整架。
【专利摘要】本实用新型公开了一激光入射角调试及角漂监测装置，包括元件光机座和向该元件光机座发射激光光束的激光器，所述元件光机座用于调节被测光学元件的偏摆与俯仰，所述元件光机座一侧设有第一激光自准直仪，另一侧设有劈板标准镜，所述第一激光自准直仪与元件光机座之间设有第一反射镜；所述劈板标准镜远离元件光机座的一侧设有第二激光自准直仪，该劈板标准镜与元件光机座之间设有分光反射镜，所述分光反射镜位于激光器的入射光路中，该分光反射镜上方设有第二反射镜。本实用新型其测量精度高，适用于1500″范围内激光入射角的测量和调试工作，同时能够实时监测激光角漂，当角漂值过大时，可以根据使用需求进行角度修正。
【IPC分类】G01M11/00
【公开号】CN204924614
【申请号】CN201520628622
【发明人】徐旭, 独伟锋, 叶朗, 熊召, 袁晓东, 刘长春, 陈清海
【申请人】中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月20日