维位移平台1、旋转传动装置2、安装座3、CCD成像仪4和显示器5组成；
[0033]所述旋转传动装置2的底座与二维位移平台1的上端面连接，旋转传动装置2的传动轴与安装座3连接，安装座3位于旋转传动装置2的上方；所述传动轴的旋转轴与二维位移平台1的上端面垂直，安装座3能在传动轴的带动下旋转；所述安装座3用于夹持待检测的T0光电探测器，安装座3上对应T0光电探测器物理中心的部位与所述旋转轴重合；所述C⑶成像仪4设置于安装座3上方；所述显示器5与(XD成像仪4电气连接；显示器5用于显示CCD成像仪4拍摄到的图像；所述图像上附加有一标记，所述标记在CCD成像仪4的成像区中的位置相对固定。
[0034]进一步地，所述标记以物理方式形成在(XD成像仪4的镜头光窗上。
[0035]进一步地，所述标记以物理方式形成在显示器5的屏幕上。
[0036]进一步地，所述标记由软件生成，与图像一起显示在显示器5的屏幕上。
[0037]进一步地，所述标记的形状为一^h字线。
[0038]进一步地，所述标记为一圆圈和—h字线重叠而成的标革E，所述圆圈的圆心与十字线的中心重合。
[0039]一种T0光电探测器同轴度检测方法，所涉及的硬件包括待检测的T0光电探测器和T0光电探测器同轴度检测装置；
[0040]所述T0光电探测器同轴度检测装置由二维位移平台1、旋转传动装置2、安装座3、CCD成像仪4和显示器5组成；所述旋转传动装置2的底座与二维位移平台1的上端面连接，旋转传动装置2的传动轴与安装座3连接，安装座3位于旋转传动装置2的上方；所述传动轴的旋转轴与二维位移平台1的上端面垂直，安装座3能在传动轴的带动下旋转；所述安装座3用于夹持待检测的T0光电探测器，安装座3上对应T0光电探测器物理中心的部位与所述旋转轴重合；所述C⑶成像仪4设置于安装座3上方；所述显示器5与(XD成像仪4电气连接；显示器5用于显示(XD成像仪4拍摄到的图像；所述图像上附加有一标记，所述标记在CCD成像仪4的成像区中的位置相对固定；
[0041]所述T0光电探测器包括壳体6和安装在壳体6上的芯片7 ;所述芯片7的光敏面由多个象限组成；所述光敏面的中心记为中心点；
[0042]其创新在于:按如下方法对T0光电探测器的同轴度进行检测:
[0043]1)将待检测的T0光电探测器设置在安装座3上，T0光电探测器的光敏面朝上；
[0044]2)通过二维位移平台1对旋转传动装置2的水平位置进行调节，使图像上显示出的中心点与所述标记重合；
[0045]3)通过旋转传动装置2传动TO光电探测器旋转；T0光电探测器旋转的过程中，观察中心点的轨迹，若由中心点的轨迹所形成的圆的半径越小，说明同轴度越好。
[0046]进一步地，所述标记的设置方式在如下三种方式中择一采用:
[0047]方式一:以物理方式形成在(XD成像仪4的镜头光窗上；方式二:所述标记以物理方式形成在显示器5的屏幕上；方式三:所述标记由软件生成，与图像一起显示在显示器5的屏幕上。
[0048]进一步地，所述标记的形状在如下两种图案中择一采用:
[0049]图案一:所述标记为为一十字线；
[0050]图案二:所述标记为一圆圈和—h字线重叠而成的标革Ε，所述圆圈的圆心与十字线的中心重合。
[0051]参见图2，图中是典型的四象限T0光电探测器，其中心点可根据芯片版图设计及工艺刻蚀形成的全拉通的十字叉标记来进行识别，另外，本实用新型还能用于单象限或其他数量的多象限T0光电探测器；
[0052]参见图3，图中标记B所对应的圆圈即为同轴度误差的允许范围，标记A1所对应的圆圈即为同轴度误差满足要求的T0光电探测器的中心点的转动轨迹，标记A2所对应的圆圈即为同轴度误差不满足要求的T0光电探测器的中心点的转动轨迹。
【主权项】
1.一种το光电探测器同轴度检测装置，其特征在于:所述TO光电探测器同轴度检测装置由二维位移平台(1)、旋转传动装置(2)、安装座(3)、(XD成像仪(4)和显示器(5)组成； 所述旋转传动装置(2 )的底座与二维位移平台(1)的上端面连接，旋转传动装置(2 )的传动轴与安装座(3)连接，安装座(3)位于旋转传动装置(2)的上方；所述传动轴的旋转轴与二维位移平台(1)的上端面垂直，安装座(3)能在传动轴的带动下旋转；所述安装座(3)用于夹持待检测的TO光电探测器，安装座(3)上对应TO光电探测器物理中心的部位与所述旋转轴重合；所述C⑶成像仪(4)设置于安装座(3)上方；所述显示器(5)与(XD成像仪(4)电气连接；显示器(5)用于显示(XD成像仪(4)拍摄到的图像；所述图像上附加有一标记，所述标记在CCD成像仪(4)的成像区中的位置相对固定。2.根据权利要求1所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于:所述标记以物理方式形成在(XD成像仪(4)的镜头光窗上。3.根据权利要求1所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于:所述标记以物理方式形成在显示器(5)的屏幕上。4.根据权利要求1所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于:所述标记由软件生成，与图像一起显示在显示器(5)的屏幕上。5.根据权利要求1、2、3或4所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于:所述标记的形状为一十字线。6.根据权利要求1、2、3或4所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于:所述标记为一圆圈和—h字线重叠而成的标革E，所述圆圈的圆心与十字线的中心重合。
【专利摘要】一种TO光电探测器同轴度检测装置，由二维位移平台、旋转传动装置、安装座、CCD成像仪和显示器组成；旋转传动装置的底座与二维位移平台的上端面连接，旋转传动装置的传动轴与安装座连接，安装座位于旋转传动装置的上方；传动轴的旋转轴与二维位移平台的上端面垂直，安装座能在传动轴的带动下旋转；安装座用于夹持待检测的TO光电探测器；CCD成像仪设置于安装座上方；所述显示器与CCD成像仪电气连接；图像上附加有一标记，所述标记在CCD成像仪的成像区中的位置相对固定。本实用新型的有益技术效果是：提出了一种TO光电探测器同轴度检测装置，该技术硬件结构简单，操作方便快捷，能大幅提高检测的效率，检测结果准确可靠。
【IPC分类】G01B11/27
【公开号】CN205102802
【申请号】CN201520790213
【发明人】苏杰, 彭秀华, 卜晖, 姚治惠, 肖业君, 刘蘋, 文越
【申请人】重庆鹰谷光电有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年10月14日