]31:基材；
[0075]32:第I掩模；
[0076]50:电铸装置；
[0077]82:收纳凹部；
[0078]95d:保持凹部的宽度尺寸最大的位置(第2位置)；
[0079]100:机芯。
【具体实施方式】
[0080](第I实施方式，机械零件)
[0081 ]对本发明的第I实施方式的机械零件10进行说明。
[0082]图1的(a)是示出机械零件10的俯视图，图1的(b)是将机械零件10的一部分放大的俯视图。图2是沿图1的(a)的Ι-Γ线的剖视图。此外，图1示出了压入轴部件30之前的机械零件10。
[0083]如图1和图2所示，机械零件10具有:大致圆板状的零件主体11、和设置于零件主体11的内侧的压入部12。
[0084]Al是零件主体11的中心轴，并且是机械零件10的旋转轴。
[0085]在以下的说明中，“周向”是指在包括零件主体11的第I面Ila的面内，中心与中心轴Al—致的圆的周向。“径向”是指所述圆的径向。“轴向”是指沿着中心轴Al的方向。另外，“内侧”是指接近中心轴Al的方向，“外侧”是指远离中心轴Al的方向。另外，在周向中，将图1的(a)中的顺时针方向称为Cl方向，将逆时针方向称为C2方向。
[0086]如图1所示，在零件主体11的中央形成有沿厚度方向贯穿零件主体11的中央孔部14(贯穿孔)。
[0087]在中央孔部14的内缘14a(内表面)，沿周向隔开间隔形成有多个保持凹部15。
[0088]保持凹部15在俯视图中形成为具有沿着周向的圆弧状的外缘15a、和从外缘15a的两端分别朝向内侧的侧缘15b、15b的大致扇形。在侧缘15b、15b上的远离外缘15a的位置(比外缘15a靠内侧的位置)分别形成有凸部16、16。
[0089]在图1所示的例子中，形成有4个保持凹部15。将这些保持凹部15沿顺时针方向分别称为第I?第4保持凹部15A?15D。
[0090]将相邻的保持凹部15、15之间的部分称为中间部分17。将这些中间部分17沿顺时针方向分别称为第I?第4中间部分17A?17D。
[0091]优选使保持凹部15形成为在周向上隔开一定的间隔。即，优选使中间部分17的周向尺寸彼此相等。另外，优选使保持凹部15的周向尺寸彼此相等。在图1的例子中，4个保持凹部15使位置在周向上错开90度而形成。
[0092]此外，保持凹部的数量不限于图示例。保持凹部的数量既可以是I个，也可以是多个。
[0093]参照XY坐标系来说明机械零件10的各结构的位置关系。
[0094]在与零件主体11的第I面Ila平行的面内，将穿过第I保持凹部15A和第2保持凹部15B之间的部分即中间部分17(第I中间部分17A)的中央(周向的中央)且沿着径向的方向称为X方向。在与零件主体11的第I面Ila平行的面内，将垂直于X方向的方向称为Y方向。
[0095]第I保持凹部15A的Cl方向侧的侧缘15b(侧缘15Ab2)、第2保持凹部15B的C2方向侧的侧缘15b(侧缘15Bbl)、第3保持凹部15C的Cl方向侧的侧缘15b(侧缘15Cb2)、以及第4保持凹部I的C2方向侧的侧缘15b (侧缘15Db I)能够沿着X方向形成。
[0096]第I保持凹部15A的C2方向侧的侧缘15b(侧缘15Abl)、第2保持凹部15B的Cl方向侧的侧缘15b (侧缘15Bb2)、第3保持凹部15C的C2方向侧的侧缘15b (侧缘15Cb I)、以及第4保持凹部I的Cl方向侧的侧缘15b (侧缘15Db2)能够沿着Y方向形成。
[0097]如图1的(b)所示，凸部16例如在俯视图中能够形成为矩形，且能够沿着与侧缘15b垂直的方向突出地形成。
[0098]凸部16的外缘16a沿着与侧缘15b倾斜的方向(在图1的(b)中与侧缘15b垂直地)形成。外缘16a是周向的位置大幅变化的部分，也称为支承阶梯部19。
[0099]在支承阶梯部19处，保持凹部15的周向尺寸不连续地变化。即，保持凹部15的周向尺寸朝向外侧在支承阶梯部19处不连续地变大。
[0100]根据该结构，能够阻止轴支承部18向内侧移位，进一步提高压入部12相对于零件主体11的固定强度，防止机械零件10工作时的旋转松弛。
[0101]凸部16的末端缘16b能够与侧缘15b平行地形成。
[0102]此外，凸部的俯视图形状不限于矩形，也可以是半圆形、三角形等。
[0103]也可以形成多个凸部。这些多个凸部可以以成为多阶的方式形成。
[0104]如图1的(a)所示，中间部分17的内缘17a(中央孔部14的内缘14a)中的第I中间部分17A和第3中间部分17C的内缘17Aa、17Ca能够沿着Y方向形成。
[0105]第2中间部分17B和第4中间部分17D的内缘17Ba、17Da能够沿着X方向形成。
[0106]保持凹部15在最内周位置15c(凸部16的末端缘16b的最内侧的位置)(第I位置)(参照图1的(b))处的宽度尺寸Ll(参照图1的(a))比在最外周位置15d(侧缘15b的最外侧的位置)(第2位置)(参照图1的(b))处的宽度尺寸L2(参照图1的(a))小。
[0107]宽度尺寸LI是保持凹部15的周向的一端部的最内周位置15c与该保持凹部15的周向的另一端部的最内周位置15c之间的距离。宽度尺寸L2是保持凹部15的周向的一端部的最外周位置15d与该保持凹部15的周向的另一端部的最外周位置15d之间的距离。
[0108]保持凹部15保持轴支承部18，由此作为限制轴支承部18向内侧和周向移位的固定器结构发挥功能。
[0109]根据该结构，能够阻止轴支承部18向内侧和周向移位，因而能够进一步提高压入部12相对于零件主体11的固定强度，防止机械零件10工作时的旋转松弛。
[0110]此外，如果保持凹部在第I位置处的宽度尺寸比在第2位置处的宽度尺寸小，该第2位置比所述第I位置靠外周侧，则第I位置也可以不是最内周位置，第2位置也可以不是最外周位置。
[0111]作为零件主体11的材料，优选是陶瓷材料等脆性材料。作为陶瓷材料，可以使用S1、SiC、Si3N4、氧化错、红宝石、碳材料等。
[0112]此外，所谓的脆性材料是指这样的材料:由外部应力所引起的弹性变形的极限应变量较小，当超过弹性变形的极限时，不存在屈服点而造成破坏，优选是弹性变形区域在I %以下的材料，更优选是弹性变形区域在0.5 %以下的材料。脆性材料具有韧性较低的性质。
[0113]优选的是，零件主体11具有较高的绝缘性。在零件主体11的绝缘性不足的情况下，优选在与轴支承部18抵接的表面上形成氧化物膜。
[0114]在保持凹部15(15A?15D)中形成有构成压入部12的轴支承部18。
[0115]轴支承部18充满保持凹部15的内部空间，并且其一部分形成为比中间部分17的内缘17a(中央孔部14的内缘14a)向内侧突出。根据该结构，轴支承部18能够可靠地保持轴部件30。
[0116]轴支承部18在俯视图中形成具有下述部分的大致扇形:与外缘15a抵接的圆弧状的外缘18a;与侧缘15b抵接的侧缘18b;以及沿着周向的内缘18c。
[0117]将轴支承部18中的形成于保持凹部15内的部分称为主部21，将比中间部分17的内缘17a向内侧突出的部分称为突出部22。
[0118]在侧缘18b、18b上的远离外缘18a的位置(比外缘18a靠内侧的位置)处分别形成有凹部24、24。
[0119]凹部24具有:内缘24a，其与凸部16的外缘16a(支承阶梯部19)抵接；以及直线状的侧缘24b，其与凸部16的末端缘16b抵接。
[0120]内缘24a是周向的位置大幅变化的部分，也称为抵接阶梯部25。在抵接阶梯部25处，轴支承部18的周向尺寸不连续地变化。即，轴支承部18的周向尺寸朝向外侧在抵接阶梯部25处不连续地变大。
[0121]内缘24a(抵接阶梯部25)通过与凸部16的外缘16a(支承阶梯部19)抵接，来可靠地阻止轴支承部18朝向内侧移位。
[0122]在图1所示的例子中，侧缘24b形成为与侧缘15b平行的直线状。
[0123]轴支承部18以抵接阶梯部25为基准具有比该抵接阶梯部25靠外周侧的部分(外周部分28)、和比该抵接阶梯部25靠内周侧的部分(内周部分29)。
[0124]外周部分28是越朝向外周侧周向尺寸越大的大致扇形。内周部分29也是越朝向外周侧周向尺寸越大的大致扇形。
[0125]由于轴支承部18的周向尺寸在抵接阶梯部25处不连续地变化，因此内周部分29的最大周向尺寸比外周部分28的最小周向尺寸小。
[0126]如图2所示，轴支承部18的第I面18d能够与零件主体11的第I面Ila形成为共面，轴支承部18的第2面ISe能够与零件主体11的第2面Ilb形成为共面。
[0127]对于轴支承部18来说，如果径向的尺寸较大，则在提高对轴部件30的保持力方面有利。
[0128]轴支承部18与零件主体11成为一体。
[0129]零件主体11的外径能够成为例如几mm?几十_。零件主体11的厚度能够成为例如100 ?100ym 左右。
[0130]图1和图2所示的半径ra是从中心轴Al到轴支承部18的内缘18c的距离。半径η是从中心轴Al到轴支承部18的外缘18a的距离。
[0131]半径rc是从中心轴Al到凹部24的内缘24a(抵接阶梯部25)的距离(参照图1的
(b))。详细地说，半径rc是从中心轴Al到内缘24a的末端24al的距离。
[0132]半径R是从中心轴Al到中间部分17的内缘17a的最小距离，在图1的(a)中，是中间部分17的内缘17a的中央与中心轴Al之间的距离。
[0133]轴支承部18的半径&比中间部分17的半径R小。即，“R>ra”。
[0134]中间部分17的半径R与轴支承部18的半径ra的差(R-ra)是成为轴部件30被压入内侧空间26 (后述)时的压入裕量的尺寸，优选是I Ομπι左右。
[0135]半径rc比半径ra大，且比半径rb小。即，“ra<rc<rb”。
[0136]轴支承部18的径向尺寸t是半径η与半径ra的差(n-ra)，优选是几十μπι以上。
[0137]轴支承部18的宽高比(径向尺寸t/轴向尺寸)优选是10以下。通过将宽高比设定于该范围，能够确保充分的压入量，从而易于防止零件主体11破损。
[0138]压入部12由沿周向排列的4个轴支承部18构成。该轴支承部18的形状可以说是在周向位置彼此不同的4处部位对环状