成型模具41被设置成第I面31a朝上的姿态。
[0198]接着，如图5的(a)和图5的(b)所示，除去第I掩模32的中央部32b。为了除去中央部32b，例如可以采用使用了碳氟化合物类气体的干法蚀刻。
[0199]接着，如图5的(C)和图5的(d)所示，使用有机溶剂或O2等离子体灰化法等除去第3掩模35。
[0200]接着，如图6的(a)和图6的(b)所示，除去未形成有第I掩模32的区域即在俯视图中位于第I掩模32的内侧和外侧的区域的基材31。
[0201 ]通过除去位于第I掩模32的内侧的区域的基材31，由此在基材31中形成图1的(a)所示的中央孔部14。
[0202]通过除去位于第I掩模32的外侧的区域的基材31，由此得到图1的(a)所示形状的零件主体11。
[0203]接着，如图6的(C)和图6的(d)所示，除去第I掩模32。为了除去第I掩模32，例如可以采用使用了碳氟化合物类气体的干法蚀刻。
[0204]由此，获得图1和图2所示的机械零件1。
[0205]根据本实施方式的机械零件的制造方法，由于使用共用的第I掩模32来形成压入部12并规定零件主体11的外部形状，因此能够提高零件主体11相对于轴部件30的同轴度。另外，能够提尚径向的尺寸精度。
[0206]因此，难以引起相对于轴部件30的轴向偏差，能够防止机械零件10在工作时的偏心。因而，能够提高使用了该机械零件10的钟表的计时精度。
[0207](第I实施方式的具体例，机械零件)
[0208]图8是第I实施方式的机械零件10的具体例的机械零件1A的俯视图。
[0209]机械零件1A是齿轮，在机械零件1A的外周缘上形成有向径向外侧突出的多个齿27。齿27形成为宽度沿突出方向逐渐变窄的形状(尖细形状)。通过形成齿27，机械零件1A能够与相邻的齿轮啮合。
[0210]作为机械零件1A的齿轮是号码轮等。
[0211]此外，机械零件10不限于机械零件1A那样的齿轮，也可以是擒纵轮、擒纵叉、摆轮等。
[0212](第2实施方式，机械零件)
[0213]对作为本发明的第2实施方式的机械零件70进行说明。此外，下面，对与已经描述过的实施方式相同的结构标注相同的符号且省略说明。
[0214]图9是示出机械零件70的俯视图。
[0215]如图9所示，机械零件70具有大致圆板状的零件主体71、和设置于零件主体71的内侧的压入部72。
[0216]在零件主体71的中央，形成有中央孔部74(贯穿孔)，在中央孔部74的内缘74a(内表面)上，沿周向隔开间隔地形成有3个保持凹部75。
[0217]保持凹部75在俯视图中形成为具有下述部分的大致扇形:沿着周向的圆弧状的外缘75a;和从外缘75a的两端分别朝向内侧的直线状的侧缘75b、75b。
[0218]保持凹部75以在最内周位置75c(第I位置)处的宽度尺寸L3比在最外周位置75d(第2位置)处的宽度尺寸L4小的方式形成。
[0219]该保持凹部75保持轴支承部78，由此作为限制轴支承部78向内侧和周向移位的固定器结构发挥功能。
[0220]将相邻的保持凹部75、75之间的部分称为中间部分77。
[0221]优选使零件主体71与第I实施方式中的零件主体11相同地由陶瓷材料等脆性材料构成。
[0222]在保持凹部75中形成有构成压入部72的轴支承部78。
[0223]轴支承部78充满保持凹部75的内部空间，并且形成为比中间部分77的内缘向内侧突出。
[0224]轴支承部78在俯视图中形成为具有下述部分的大致扇形:与外缘75a抵接的圆弧状的外缘78a;与侧缘75b抵接的侧缘78b;以及沿着周向的内缘78c。
[0225]轴支承部78与第I实施方式中的轴支承部18相同，使用电铸法由金属材料形成。
[0226]压入部72由沿周向排列的3个轴支承部78构成，该形状可以说是对环状体在3处部位进行分割而成的形状。
[0227]内缘78c的内侧的空间26(内侧空间26)能够供使机械零件70旋转的轴部件30压入。
[0228]在机械零件70中，与第I实施方式的机械零件10不同，在侧缘75b、75b上没有阶梯部，但保持凹部75具有作为限制压入部72移位的固定器结构的充分的功能，因此能够提高压入部72相对于零件主体71的固定强度。因此，不容易引起机械零件70的旋转松弛，能够提高钟表的计时精度。
[0229]另外，与第I实施方式的机械零件10相同，能够在不使外径变大的情况下增大压入部72的径向尺寸(厚度)，因此能够提高缓冲效果从而防止机械零件70破损，并且能够提高机械零件70的尺寸精度，提高钟表的计时精度。
[0230](第3实施方式，机械零件)
[0231 ]对作为本发明的第3实施方式的机械零件80进行说明。
[0232]图10是示出机械零件80的俯视图。
[0233]如图10所示，机械零件80在下述方面与图1等所示的零件主体11不同:在零件主体81上形成有收纳凹部82，该收纳凹部82收纳随着轴部件30的压入而产生的轴支承部18的鼓出变形部分。
[0234]收纳凹部82从保持凹部15的外缘15a的端部附近形成至侧缘15b的外周侧的端部附近。
[0235]在图10所示的例子中，收纳凹部82具有以轴支承部18的外缘18a与侧缘18b的交点即角部18f为中心的圆弧状的俯视图形状。
[0236]收纳凹部82能够收纳轴支承部18的鼓出变形部分，所述鼓出变形部分是由于压入轴部件30而对轴支承部18施力从而产生的。因此，能够缓和与轴部件30的压入相伴随的应力。由此，不容易对零件主体11施加过大的力，从而能够可靠地防止零件主体11的破损。
[0237]此外，收纳凹部的形成位置不限于图10所示的位置，也可以是外缘15a或者侧缘15b的延伸方向上的任意位置。例如，可以形成于外缘15a的周向中央位置。
[0238]收纳凹部的俯视图形状不限于圆弧形，也可以是任意的形状，例如矩形、半圆形、三角形等。
[0239](第4实施方式，机械零件)
[0240]对作为本发明的第4实施方式的机械零件90进行说明。
[0241]图11是示出机械零件90的俯视图。
[0242]如图11所示，机械零件90具有大致圆板状的零件主体91、和设置于零件主体91的内侧的压入部92。
[0243]在零件主体91的中央，在俯视时形成有大致圆形的中央孔部94(贯穿孔)，在中央孔部94的内缘(内表面)，沿周向隔开间隔地形成有3个保持凹部95。
[0244]保持凹部95在俯视时能够形成为圆弧状。图示例的圆弧状的保持凹部95的中心处于中央孔部94所构成的圆的外侧，因此最内周位置95c(第I位置)处的宽度尺寸L5比宽度尺寸最大的位置95d(第2位置)处的宽度尺寸L6小。
[0245]该保持凹部95保持突出部98，由此作为限制压入部92在周向上移位的固定器结构发挥功能。由于宽度尺寸L5比宽度尺寸L6小，因此保持凹部95是也能够限制压入部92向内侧移位的结构。
[0246]压入部92具有:圆环状的主体部93，其形成于中央孔部94的内表面；以及突出部98，其从主体部93的外缘向外侧突出。
[0247 ]突出部98以充满保持凹部95的内部空间的方式形成，具有与保持凹部95相同的俯视图形状(在图11中是圆弧形)。
[0248]压入部92与第I实施方式中的压入部12相同，使用电铸法由金属材料形成。
[0249]此外，突出部98的俯视图形状不限于圆弧形，也可以是矩形、半圆形、三角形等。
[0250]根据机械零件90，由于在零件主体91中形成有保持凹部95，该保持凹部95具有限制压入部92移位的固定器结构，因此能够提高压入部92相对于零件主体91的固定强度。因此，不容易引起机械零件90的旋转松弛，能够提高钟表的计时精度。
[0251](第I实施方式的变形例，机械零件)
[0252]如图12所示，在第I实施方式的机械零件10中也可以是:在凸部16的末端缘16b上形成第I凹凸16c，并且在与该凸部16抵接部分的凹部24的侧缘24b上形成与第I凹凸16c对应形状的第2凹凸24c。
[0253]通过使第I凹凸16c和第2凹凸24c彼此嵌合，能够提高固定效果(在该例子中是不容易引起轴支承部18向内侧移位的效果)。
[0254](第I实施方式的第I变形例，机械零件)
[0255]图13是示意性地示出第I实施方式的机械零件10的第I变形例即机械零件220的剖视图。图13与图2相同，是沿着穿过机械零件220的中心轴、保持凹部以及轴支承部的线(参照图1的(a)的Ι-Γ线)的剖视图。
[0256]保持凹部225的周缘225a的内表面225b是以从第I面221a至第2面221b缩颈的方式倾斜一定的角度的倾斜面。
[0257]轴支承部228具有限制(相对于零件主体221在)厚度方向上的移位的结构。详细地说，轴支承部228的外缘228a的外表面228b是以从第I面228c至第2面228d缩颈的方式倾斜一定的角度的倾斜面，且在整面的范围内与内表面225b抵接。
[0258]由于轴支承部228的第I面228c的外径(最大外径)比保持凹部225的第2面221b的内径(最小内径)大，因此轴支承部228向下方的移动(零件主体221的厚度方向上的移动)被限制。
[0259]机械零件220能够利用该结构防止轴支承部228的脱落，从而能够提高其耐久性。
[0260](第I实施方式的第2变形例，机械零件)
[0261]图14是示意性地示出第I实施方式的机械零件10的第2变形例即机械零件230的剖视图。
[0262]轴支承部238具有限制(相对于零件主体231在)厚度方向上的移位的结构。详细地说，轴支承部238具有由主体部238a和外侧伸出部238b构成的截面为L字状的结构。
[0263]主体部238a设置于保持凹部235的周缘235a的内表面235b上。外侧伸出部238b从主体部238a的第I面231a侧的端部沿着零件主体231的第I面231a向径向外侧伸出。
[0264]轴支承部238的向下方的移动(在零件主体231的厚度方向上的移动)被与外侧伸出部238b抵接的第I面231a限制。
[0265]机械零件230能够利用该结构防止轴支承部238的脱落，从而提高其耐久性。
[0266](第I实施方式的第3变形例，机械零件)
[0267]图15是示意性地示出第I实施方式的机械零件10的第3变形例即机械零件240的剖视图。
[0268]保持凹部245具有