专利名称：一种进行供液的系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及自动化领域，特别涉及一种进行供液的系统。
背景技术：
目前自动化领域中，如果有需要供液进行生产的产品，都是人工手动加注液体。[0003] 比如半导体行业中，6寸及6寸以下的生产线，液罐中的液体加注到涂胶显影设备中，如果液罐中的液体没有了 ，需要人工停止生产线，然后手动向液灌中加注液体。[0004] 这种人工手动加注液体的方式给产品安全带来了很大安全隐患，经常发生由于未及时加液而造成产品不良现象。生产的初期产品不良原因90 %以上均是由于未及时加注液体造成的。 综上所述，目前人工手动加注液体的方式，很容易出现没有及时加注液体的情况，从而增加了不良产品的数量，对生产的产品造成很大影响。
发明内容本实用新型实施例提供一种进行供液的系统，用以降低没有及时加注液体情况的发生，从而减少不良产品的数量。 本实用新型提供一种进行供液的系统，该系统包括至少一个供液罐(1)，至少一个存储液罐(2)和可编程控制器PLC(6)，其中，每个供液罐(1)中有一个液位传感器(4)，每个供液罐(1)与一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)相连，且一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)仅与一个供液罐(1)相连； 所述供液罐(1)中的所述液位传感器(4)，用于监控所述供液罐(1)中液体的液位，在液位小于第一设定高度时，向所述可编程控制器(6)发送注液信号，在液位大于第二设定高度时，向所述可编程控制器(6)发送停止注液信号，所述第一设定高度小于所述第二设定高度； 所述可编程控制器(6)，用于在收到所述注液信号后，向与所述供液罐(1)相连的所述压力控制阀(5)发送停止加压信号，以及向与所述供液罐(1)相连的所述液泵(3)发送工作信号，在收到所述停止注液信号后，向与所述供液罐(1)相连的所述压力控制阀(5)发送开始加压信号，以及向与所述供液罐(1)相连的所述液泵(3)发送停止工作信号；[0010] 与所述供液罐(1)相连的所述压力控制阀(5)，用于在收到所述停止加压信号后，停止对所述供液罐(1)加压，并减小所述存储液罐(2)中的压力，在收到所述开始加压信号后，开始对所述供液罐(2)加压，将所述供液罐(1)中的液体注入外部设备中；[0011] 与所述供液罐(1)相连的所述液泵(3)，用于在收到所述工作信号后，将所述存储液罐(2)中的液体注入到所述供液罐(1)中，在收到所述停止注液信号后，停止注入液体。[0012] 本实用新型实施例的供液系统能够自动为需要供液的设备进行供液，从而降低没有及时加注液体的情况，减少了不良产品的数量；进一步节省了大量人力。
图1为本实用新型实施例第[0014] 图2为本实用新型实施例第[0015] 图3为本实用新型实施例第
说明书
一种进行供液的系统结构示意图；二种进行供液的系统结构示意图；三种进行供液的系统结构示意图。
具体实施方式下面结合说明书附图对本实用新型实施例作进一步详细描述。[0017] 如图1所示，本实用新型实施例第一种进行供液的系统包括 至少一个供液罐(1)，至少一个存储液罐(2)和可编程控制器(PLC) (6)，其中，每
个供液罐(1)中有一个液位传感器(4)，每个供液罐(1)与一个液泵(3)和一个压力控制阀
(5)相连，且一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)仅与一个供液罐(1)相连； 其中，供液罐(1)中的液位传感器(4)，用于监控供液罐(1)中液体的液位，在液位
小于第一设定高度时，向可编程控制器(6)发送注液信号，在液位大于第二设定高度时，向
可编程控制器(6)发送停止注液信号，第一设定高度小于第二设定高度； 可编程控制器(6)，用于在收到注液信号后，向与供液罐(1)相连的压力控制阀
(5)发送停止加压信号，以及向与供液罐(1)相连的液泵(3)发送工作信号，在收到停止注
液信号后，向与供液罐(1)相连的压力控制阀(5)发送开始加压信号，以及向与供液罐(1)
相连的液泵(3)发送停止工作信号； 与供液罐(1)相连的压力控制阀(5)，用于在收到停止加压信号后，停止对供液罐(1)加压，并减小存储液罐(2)中的压力，在收到开始加压信号后，开始对供液罐(2)加压，将供液罐(1)中的液体注入外部设备中； 与供液罐(1)相连的液泵(3)，用于在收到工作信号后，将存储液罐(2)中的液体注入到供液罐(1)中，在收到停止注液信号后，停止注入液体。 在具体实施过程中，第一设定高度和第二设定高度可以根据需要进行设定。[0024] 压力控制阀(5)可以通过往供液罐(1)中注入气体(比如氮气)，实现对供液罐(1)加压；抽出气体实现对供液罐(1)减压。 每个存储液罐(2)可以只为一个供液罐(1)供液，也可以为部分或全部供液罐(1)供液。 由于本实用新型实施例在供液罐(1)中没有液体时，可以将存储液罐(2)中的液体自动注入供液罐(1)中，从而不需要人工注入液体。 如果系统中有多个供液罐(l)，为了合理分配每个供液罐(1)中的供液，本实用新型实施例的系统还包括与每个供液罐(1)和可编程控制器(6)连接的液体控制阀(7);[0028] 可编程控制器(6)，用于在收到注液信号后，液体控制阀(7)关闭发送注液信号的液位传感器(4)所在的供液罐(1)与外部设备之间的通路，以及液体控制阀(7)开启另一个供液罐(1)与外部设备之间的通路； 液体控制阀(7)，用于根据可编程控制器(6)的控制，开启或关闭供液罐(1)与外部设备之间的通路。 比如有两个供液罐A和B，工作前都是满的，液体控制阀(7)开启供液罐A与外部设备之间的通路，关闭供液罐B与外部设备之间的通路，等到供液罐A没有液体时，关闭供液罐A与外部设备之间的通路，然后供液罐B与外部设备之间的通路，在供液罐B没有液体时，供液罐A中的液体已经满了 ，然后在开启供液罐A与外部设备之间的通路，关闭供液罐B与外部设备之间的通路，依此循环。 如果存储液罐(2)中没有液体需要人工注入液体，较佳的，本实用新型实施例的系统还包括与可编程控制器(6)相连报警器(8); 存储液罐(2)中有一个液位传感器(9)，用于监控存储液罐(2)中液体的液位，在
液位小于第三设定高度时，向可编程控制器(6)发送液位报警信号； 可编程控制器(6)，用于在收到液位报警信号后，控制报警器(8)报警。 第三设定高度可以根据需要进行设定。 为了提高安全性，还可以对供液罐(1)和存储液罐(2)进行漏液检测，如图2所示，本实用新型实施例的系统还包括漏液探测器(IO)，每个供液罐(1)与漏液探测器(10)相连，每个存储液罐(2)与漏液探测器(10)相连； 漏液探测器(10)，用于对供液罐(1)和存储液罐(2)进行检测，在供液罐(1)或存
储液罐(2)漏液时，向可编程控制器(6)发送漏液报警信号； 可编程控制器(6)，用于在收到漏液报警信号后，控制报警器(8)报警。 在具体实施过程中，可以有多个漏液探测器(10)，一个漏液探测器(10)可以只连
接一个每个供液罐(1)或一个存储液罐(2)。 漏液探测器(10)可以采用感光探测器，即在每个供液罐(1)和存储液罐(2)粘贴
反光纸，感光探测器向反光纸发射光线，接收经反光纸返回的光线。如果漏液情况，反光纸
会湿，感光探测器就接收不到反光纸返回的光线，从可以确定有漏液情况发生。 对于温度还可以进行检测，如图2所示，本实用新型实施例的系统还包括与可编
程控制器(6)连接的温度传感器(11)和灭火器(12); 温度传感器(11)，用于检测系统所在环境中的温度，在温度大于第一设定温度时，向可编程控制器(6)发送高温报警信号，在温度从大于第一设定温度降低到小于第二设定温度时，向可编程控制器(6)发送报警解除信号； 可编程控制器(6)，用于在收到高温报警信号后，控制报警器(8)报警，且启动灭
火器(12)，在收到报警解除信号后，控制报警器(8)停止报警，且关闭灭火器(12)。 如果出现紧急情况，为了减少损失，还可以进行紧急停止，如图2所示，本实用新
型实施例的系统还包括与可编程控制器(6)相连的紧急停止开关(13); 紧急停止开关(13)，用于在开启时，向可编程控制器(6)发送紧急停止信号； 可编程控制器(6)，用于在收到紧急停止信号后，关闭所有液泵(3)、所有压力控
制阀(5)和液体控制阀(7)。 比如有紧急情况发生，工作人员可以开启紧急停止开关(13)，从而停止整个系统工作。 本实用新型实施例中的外部设备是需要液体补充的设备。不同的应用场景，本实用新型实施例中的外部设备也不相同，比如半导体行业6寸及6寸以下生产线中的外部设备是涂胶显影机。 如图3所示，本实用新型实施例第三种进行供液的系统中，包括两个供液罐(1)，两个存储液罐(2)，两个液泵(3)，四个液位传感器(4)，两个压力控制阀(5)，一个可编程控制器(6)，一个液体控制阀(7)。 其中两个存储液罐(2)，每个200升位于化学品库房内，两个供液罐(1)每个20升位于车间内，用来给所有涂胶显影机供液，当一个供液罐(1)空时系统切换到另一个供液罐(1)继续给涂胶显影机供液，空的供液罐(1)通过液泵(3)从存储液罐(2)中加液，加满后待命。每个存储液罐(2)可供所有设备使用2天左右，存储液罐(2)空时系统会自动切换到另一个存储液罐(2)并报警通知更换空的存储液罐(2)。 从上述实施例中可以看出本实用新型实施例一种进行供液的系统，包括至少一个供液罐(l)，至少一个存储液罐(2)和可编程控制器PLC(6)，其中，每个供液罐(1)中有一个液位传感器(4)，每个供液罐(1)与一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)相连，且一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)仅与一个供液罐(1)相连； 供液罐(1)中的液位传感器(4)，用于监控供液罐(1)中液体的液位，在液位小于第一设定高度时，向可编程控制器(6)发送注液信号，在液位大于第二设定高度时，向可编程控制器(6)发送停止注液信号，第一设定高度小于第二设定高度； 可编程控制器(6)，用于在收到注液信号后，向与供液罐(1)相连的压力控制阀(5)发送停止加压信号，以及向与供液罐(1)相连的液泵(3)发送工作信号，在收到停止注液信号后，向与供液罐(1)相连的压力控制阀(5)发送开始加压信号，以及向与供液罐(1)相连的液泵(3)发送停止工作信号； 与供液罐(1)相连的压力控制阀(5)，用于在收到停止加压信号后，停止对供液罐(1)加压，并减小存储液罐(2)中的压力，在收到开始加压信号后，开始对供液罐(2)加压，将供液罐(1)中的液体注入外部设备中； 与供液罐(1)相连的液泵(3)，用于在收到工作信号后，将存储液罐(2)中的液体注入到供液罐(1)中，在收到停止注液信号后，停止注入液体。 本实用新型实施例的供液系统能够自动为需要供液的设备进行供液，从而降低没
有及时加注液体的情况，减少了不良产品的数量；进一步节省了大量人力。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用
新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及
其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种进行供液的系统，其特征在于，该系统包括至少一个供液罐(1)，至少一个存储液罐(2)和可编程控制器PLC(6)，其中，每个供液罐(1)中有一个液位传感器(4)，每个供液罐(1)与一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)相连，且一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)仅与一个供液罐(1)相连；所述供液罐(1)中的所述液位传感器(4)，用于监控所述供液罐(1)中液体的液位，在液位小于第一设定高度时，向所述可编程控制器(6)发送注液信号，在液位大于第二设定高度时，向所述可编程控制器(6)发送停止注液信号，所述第一设定高度小于所述第二设定高度；所述可编程控制器(6)，用于在收到所述注液信号后，向与所述供液罐(1)相连的所述压力控制阀(5)发送停止加压信号，以及向与所述供液罐(1)相连的所述液泵(3)发送工作信号，在收到所述停止注液信号后，向与所述供液罐(1)相连的所述压力控制阀(5)发送开始加压信号，以及向与所述供液罐(1)相连的所述液泵(3)发送停止工作信号；与所述供液罐(1)相连的所述压力控制阀(5)，用于在收到所述停止加压信号后，停止对所述供液罐(1)加压，并减小所述存储液罐(2)中的压力，在收到所述开始加压信号后，开始对所述供液罐(2)加压，将所述供液罐(1)中的液体注入外部设备中；与所述供液罐(1)相连的所述液泵(3)，用于在收到所述工作信号后，将所述存储液罐(2)中的液体注入到所述供液罐(1)中，在收到所述停止注液信号后，停止注入液体。
2. 如权利要求l所述的系统，其特征在于，如果有多个供液罐(l)，所述系统还包括与每个所述供液罐(1)和所述可编程控制器(6)连接的液体控制阀(7);所述可编程控制器(6)，用于在收到所述注液信号后，控制所述液体控制阀(7)关闭发送所述注液信号的所述液位传感器(4)所在的所述供液罐(1)与所述外部设备之间的通路，以及控制所述液体控制阀(7)开启另一个供液罐(1)与所述外部设备之间的通路；所述液体控制阀(7)，用于根据所述可编程控制器(6)的控制，开启或关闭供液罐(1)与所述外部设备之间的通路。
3. 如权利要求l所述的系统，其特征在于，所述系统还包括与所述可编程控制器(6)相连报警器(8);所述存储液罐(2)中有一个液位传感器(9)，用于监控所述存储液罐(2)中液体的液位，在液位小于第三设定高度时，向所述可编程控制器(6)发送液位报警信号；所述可编程控制器(6)，用于在收到所述液位报警信号后，控制所述报警器(8)报警。
4. 如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括漏液探测器(IO)，每个供液罐(1)与所述漏液探测器(10)相连，每个存储液罐(2)与所述漏液探测器(10)相连；所述漏液探测器(10)，用于对所述供液罐(1)和所述存储液罐(2)进行检测，在所述供液罐(1)或所述存储液罐(2)漏液时，向所述可编程控制器(6)发送漏液报警信号；所述可编程控制器(6)，用于在收到所述漏液报警信号后，控制所述报警器(8)报警。
5. 如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括与所述可编程控制器(6)连接的温度传感器(11)和灭火器(12);所述温度传感器(ll)，用于检测所述系统所在环境中的温度，在温度大于第一设定温度时，向所述可编程控制器(6)发送高温报警信号，在温度从大于第一设定温度降低到小于第二设定温度时，向所述可编程控制器(6)发送报警解除信号；所述可编程控制器(6)，用于在收到所述高温报警信号后，控制所述报警器(8)报警，且启动灭火器(12)，在收到所述报警解除信号后，控制所述报警器(8)停止报警，且关闭灭火器(12)。
6.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括与所述可编程控制器(6)相连的紧急停止开关(13);所述紧急停止开关(13)，用于在开启时，向所述可编程控制器(6)发送紧急停止信号；所述可编程控制器(6)，用于在收到所述紧急停止信号后，关闭所有所述液泵(3)、所有压力控制阀(5)和液体控制阀(7)。
专利摘要本实用新型涉及自动化领域，特别涉及一种进行供液的系统，用以降低没有及时加注液体情况的发生，从而减少不良产品的数量。本实用新型的系统包括供液罐在液位小于第一设定高度时，发送注液信号，在液位大于第二设定高度时，发送停止注液信号；可编程控制器在收到注液信号后，发送停止加压信号，以及工作信号，在收到停止注液信号后，发送开始加压信号，以及停止工作信号；压力控制阀在收到停止加压信号后，停止对供液罐加压，并减小存储液罐中的压力，在收到开始加压信号后，开始对供液罐加压，将供液罐中的液体注入外部设备中；液泵在收到工作信号后，将存储液罐中的液体注入到供液罐中，在收到停止注液信号后，停止注入液体。
文档编号G05D9/12GK201527588SQ200920246600
公开日2010年7月14日 申请日期2009年11月5日 优先权日2009年11月5日
发明者徐国刚, 赵迎春 申请人:北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司