技术总结
本发明所涉及的制造设备诊断辅助装置具备：收集并记录制造设备所具备的多个监视对象装置各自的数据的数据收集装置；解析所记录的数据的数据解析装置；以及显示解析过程及解析结果的显示装置。数据解析装置具备：数据解析范围设定单元，其利用数据项目和时间来设定数据的解析范围；数据分组化单元，其通过进行基于监视对象装置的规格及使用条件的分类和基于数据所表示的物理量的分类，来对数据进行分组；特征量提取单元，其提取数据的各项目中的特征量；异常现象特定单元，其对表示出与其他不同的现象的异常现象候补项目进行特定；以及检定单元，其对异常现象候补项目与其他数据项目之间是否存在有意差进行检定。
技术研发人员：今成宏幸;小原一浩
受保护的技术使用者：东芝三菱电机产业系统株式会社
文档号码：201480079083
技术研发日：2014.05.20
技术公布日：2017.02.22