质量流量控制装置和压差式流量计的诊断方法与流程

技术特征：

1.一种质量流量控制装置，该质量流量控制装置具有：

流量计，其构成为基于装设于流体的流路上的压差发生部件的上游侧的所述流体的压力即第1压力的值和所述压差发生部件的下游侧的所述流体的压力即第2压力的值，来测量所述流体的流量；

流量控制阀，其构成为能够控制所述流体的流量；以及

控制部件，其构成为能够向所述流量控制阀输出控制信号，以使利用所述流量计测量到的所述流体的流量即测量流量与所述流体的流量的目标值即设定流量一致，

该质量流量控制装置的特征在于，还具有：

记录部件，其构成为记录开阀时压力值和闭阀时压力值这两者或其中任一者，该开阀时压力值为自所述流量控制阀从关闭的状态变化为打开的状态从而开始对流量的控制时起直到所述测量流量稳定为止的期间内的所述第2压力的值，该闭阀时压力值为自所述流量控制阀从打开的状态变化为关闭的状态从而停止对流量的控制时起直到所述测量流量成为零为止的期间内的所述第2压力的值；以及

诊断部件，其构成为，在基于所述开阀时压力值和所述闭阀时压力值这两者或其中任一者获取的管理值即测量管理值与所述流量计未发生异常时的所述管理值即初期管理值之差的绝对值超过预定阈值的情况下，诊断为所述流量计发生了异常。

2.根据权利要求1所述的质量流量控制装置，其中，

所述管理值是将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值的最大值、和将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值的最大值这两者或其中任一者。

3.根据权利要求1所述的质量流量控制装置，其中，

所述管理值是从由所述流量控制阀开始对流量的控制时起直到将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大为止的时间、和从由所述流量控制阀停止对流量的控制时起直到将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大为止的时间这两者或其中任一者。

4.根据权利要求1所述的质量流量控制装置，其中，

所述管理值是从将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大时起到该绝对值成为零为止的时间、和从将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大时起到该绝对值成为零为止的时间这两者或其中任一者。

5.根据权利要求1所述的质量流量控制装置，其中，

所述管理值是将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的半值宽度、和将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的半值宽度这两者或其中任一者。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的质量流量控制装置，其中，

所述流量计具有用于测量所述第1压力的值的压力传感器即第1传感器和用于测量所述第2压力的值的压力传感器即第2传感器。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的质量流量控制装置，其中，

所述流量计具有用于测量所述第1压力的值的压力传感器即第1传感器和用于测量所述第2压力的值的压力传感器即第2传感器中的任一者、以及用于测量所述第1压力的值和所述第2压力的值之差的压差传感器即第3传感器。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的质量流量控制装置，其中，

该质量流量控制装置还具有在所述流量计的上游侧与所述流量计相邻地配置的机械式调压阀。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的质量流量控制装置，其中，

所述流量控制阀配置于所述流量计的下游侧。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的质量流量控制装置，其中，

所述诊断部件构成为在诊断出所述流量计发生了异常时输出异常信号。

11.一种压差式流量计的诊断方法，在具有流量计、流量控制阀以及控制部件的质量流量控制装置中，利用该诊断方法来判断所述流量计是否发生了异常，

所述流量计构成为基于装设于流体的流路上的压差发生部件的上游侧的所述流体的压力即第1压力的值和所述压差发生部件的下游侧的所述流体的压力即第2压力的值，来测量所述流体的流量，

所述流量控制阀构成为能够控制所述流体的流量，

所述控制部件构成为能够向所述流量控制阀输出控制信号，以使利用所述流量计测量到的所述流体的流量即测量流量与所述流体的流量的目标值即设定流量一致，其中，

所述质量流量控制装置还具有：

记录部件，其构成为记录所述第2压力的值；以及

诊断部件，其构成为基于利用所述记录部件记录的所述第2压力的值来诊断所述流量计是否发生了异常，

该压差式流量计的诊断方法包括以下过程：

所述记录部件记录开阀时压力值和闭阀时压力值这两者或其中任一者，该开阀时压力值为自所述流量控制阀从关闭的状态变化为打开的状态从而开始对流量的控制时起直到所述测量流量稳定为止的期间内的所述第2压力的值，该闭阀时压力值为自所述流量控制阀从打开的状态变化为关闭的状态从而停止对流量的控制时起直到所述测量流量成为零为止的期间内的所述第2压力的值；以及

在基于所述开阀时压力值和所述闭阀时压力值这两者或其中任一者得到的管理值即测量管理值与所述流量计未发生异常时的所述管理值即初期管理值之差的绝对值超过预定阈值的情况下，所述诊断部件诊断为所述流量计发生了异常。

12.根据权利要求11所述的压差式流量计的诊断方法，其中，

所述管理值是将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值的最大值、和将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值的最大值这两者或其中任一者。

13.根据权利要求11所述的压差式流量计的诊断方法，其中，

所述管理值是从由所述流量控制阀开始对流量的控制时起直到将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大为止的时间、和从由所述流量控制阀停止对流量的控制时起直到将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大为止的时间这两者或其中任一者。

14.根据权利要求11所述的压差式流量计的诊断方法，其中，

所述管理值是从将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大时起到该绝对值成为零为止的时间、和从将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大时起到该绝对值成为零为止的时间这两者或其中任一者。

15.根据权利要求1所述的压差式流量计的诊断方法，其中，

所述管理值是将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的半值宽度、和将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的半值宽度这两者或其中任一者。

16.根据权利要求11～15中任一项所述的压差式流量计的诊断方法，其中，

所述流量计具有用于测量所述第1压力的值的压力传感器即第1传感器和用于测量所述第2压力的值的压力传感器即第2传感器。

17.根据权利要求11～15中任一项所述的压差式流量计的诊断方法，其中，

所述流量计具有用于测量所述第1压力的值的压力传感器即第1传感器和用于测量所述第2压力的值的压力传感器即第2传感器中的任一者、以及用于测量所述第1压力的值和所述第2压力的值之差的压差传感器即第3传感器。

18.根据权利要求11～17中任一项所述的压差式流量计的诊断方法，其中，

所述质量流量控制装置还具有在所述流量计的上游侧与所述流量计相邻地配置的机械式调压阀。

19.根据权利要求11～18中任一项所述的压差式流量计的诊断方法，其中，

所述流量控制阀配置于所述流量计的下游侧。

20.根据权利要求11～19中任一项所述的压差式流量计的诊断方法，其中，

该压差式流量计的诊断方法还包括以下过程：在诊断出所述流量计发生了异常时，所述诊断部件输出异常信号。