技术总结
本发明能够提供质量流量控制装置和压差式流量计的诊断方法，其中，利用记录部件记录从流量控制阀打开从而开始对流量的控制时或从流量控制阀关闭从而停止对流量的控制时起直到测量流量稳定为止的期间内的、压差发生部件的下游侧的流体的压力的值，利用诊断部件使基于记录部件所记录的下游侧的流体的压力的值而获取的管理值与流量计未发生异常时的管理值相对比，在两者之差的绝对值超过阈值时诊断为所述流量计发生了异常。优选地在流量计的上游侧与流量计相邻地进一步配置机械式调压阀。由此，能够在没有专门设置用于实施诊断的时间的情况下简便地诊断压差式的流量计的异常的发生。
技术研发人员：后藤崇夫
受保护的技术使用者：日立金属株式会社
技术研发日：2016.09.21
技术公布日：2018.06.08