尾气管道加热系统的制作方法

本发明实施例涉及半导体行业，尤其涉及一种尾气管道加热系统。

背景技术：

半导体行业中尾气管道处理部分的高功率加热控制系统是一种可以替代水、导热油、蒸汽加热的高功率加热控制系统。目前管道加热现状，除水、蒸汽、导热油夹套加热外，高功率加热控制系统还是个空白，很多厂家生产流体产品的过程，在长距离管道输送中需要加热、保温等工艺，而水、蒸汽、导热油这些加热介质，必须配有锅炉、换热器，环保、效率、维护的问题时常困扰生产。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明实施例提供了一种尾气管道加热系统，解决了尾气的均匀控温问题，避开了水蒸汽、导热油等加热介质，该系统结构简单、成本低廉、寿命长、可靠性高，减少了需要维护的元件及时间，在工作环境恶劣的地方也能正常使用。

本发明实施例提供了一种尾气管道加热系统，包括：

加热带，沿待加热尾气管道设置；

加热电源线，所述加热电源线与控制开关的输入端电连接，所述控制开关的输出端与所述加热带电连接，所述控制开关的控制端与加热控制电路电连接；

所述加热控制电路，用于控制所述控制开关开启或关闭，以控制所述加热电源线与所述加热带导通或断开，所述加热带与所述加热电源线导通时，对所述待加热尾气管道进行加热。

可选的，该尾气管道加热系统还包括：设置在所述待加热尾气管道内的温度传感器，与所述加热控制电路电连接，用于向所述加热控制电路反馈所述待加热尾气管道的温度。

可选的，所述加热控制电路设置在终端盒内，所述终端盒的表面设置有温度设定按钮和显示屏；

所述设定温度按钮与所述加热控制电路相连，用于输入设定的预设加热温度；

所述显示屏与所述加热控制电路相连，用于显示所述待加热尾气管道的温度。

可选的，该尾气管道加热系统还包括：保温层，所述保温层包裹所述待加热尾气管道，所述加热带设置于所述保温层内。

可选的，该尾气管道加热系统还包括：

电源接线盒，设置于所述保温层内，所述控制开关设置在所述电源接线盒内。

可选的，所述控制开关包括：固态继电器，和热继电器；

所述固态继电器第一输出端与所述加热带电连接，所述固态继电器的控制端与所述加热控制电路电连接，所述固态继电器的第二输出端通过所述热继电器与所述加热电源线电连接。

可选的，该尾气管道加热系统还包括：过滤盒，所述过滤盒设置在所述保温层内，且所述过滤盒的第一端与所述电源接线盒连接，所述过滤盒的第二端与所述终端盒连接，且所述过滤盒于所述加热带内，用于所述尾气进行过滤处理。

可选的，所述加热控制电路为温控器，所述温控器的输出端与所述固态继电器的控制端电连接，用于控制所述固态继电器的打开或者关闭，所述温控器的输入端与所述温度传感器电连接，用于感应所述尾气的温度。

可选的，所述温控器还包括：

启动加热自锁单元、停止加热自锁单元、加热自锁单元、报警自锁单元以及提示自锁单元；

所述启动加热自锁单元的输入端与所述温度传感器电连接，用于当所述待加热尾气管道的温度小于所述预定加热温度时，控制所述加热自锁单元接通，同时控制所述提示自锁单元接通并提示加热，所述加热自锁单元的输入端与所述启动加热自锁单元的输出端电连接，所述提示自锁单元与所述启动加热自锁单元的输出端电连接；

所述加热自锁单元的输出端与所述控制开关电连接，当所述加热自锁单元接通时，控制所述控制开关开启；

所述停止加热自锁单元的输入端与所述温度传感器电连接，用于当所述待加热尾气管道的温度大于所述定加热温度时，控制所述加热自锁单元断开，并控制所述报警自锁单元接通，同时控制所述提示自锁单元接通并提示停止加热，所述加热自锁单元的输入端与所述停止加热自锁单元的输出端电连接，所述报警自锁单元与所述停止加热自锁单元的输出端电连接，所述提示自锁单元与所述停止加热自锁单元的输出端电连接；

所述加热自锁单元的输出端与所述控制开关电连接，当所述加热自锁单元断开时，控制所述控制开关关闭。

本发明实施例提供的尾气管道加热系统，通过加热控制电路控制控制开关的打开或者关闭，以实现控制加热带与加热电源线的之间是导通还是断开，当加热带与加热电源线之间导通时，通过加热带将加热尾气管道内的尾气加热，当加热带与加热电源线之间断开时，加热带停止对加热尾气管道内的尾气加热。相比现有技术中采用水蒸汽、导热油等加热介质，该系统结构简单、成本低廉、寿命长、可靠性高，减少了需要维护的元件及时间，在工作环境恶劣的地方也能正常使用。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种尾气管道加热系统的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的又一种尾气管道加热系统的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种尾气管道加热系统的电气原理图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

图1为本发明实施例提供一种尾气管道加热系统的结构示意图。参见图1，该尾气管道加热系统包括：加热带1，沿待加热尾气管道2设置；加热电源线3，通过控制开关4与加热带1电连接，控制开关4的控制端与加热控制电路5电连接，控制开关4的输入端与加热电源线3电连接，控制开关4的输出端与加热带1电连接；加热控制电路5，用于控制控制开关4开启或关闭，以控制加热电源线3与加热带1导通或断开，加热带1与加热电源线3导通时，对待加热尾气管道2进行加热。

示例性地，加热带材质由外向里分为六层，第一层：四氟乙烯(pfa)护套，第二层：铜编织层，第三层：高温复合绝缘层，第四层：加热丝，第五层耐高温防火玻璃纤维，高温复合绝缘层，第六层：母线。特性：耐温性能好，导热性能好，电性能可靠，结构合理。

本发明实施例提供的尾气管道加热系统，通过加热控制电路控制控制开关的打开或者关闭，以实现控制加热带与加热电源线的之间是导通还是断开，当加热带与加热电源线之间导通时，通过加热带将加热尾气管道内的尾气加热，当加热带与加热电源线之间断开时，加热带停止对加热尾气管道内的尾气加热。解决了尾气的均匀控温问题，避开了水蒸汽、导热油等加热介质，该系统结构简单、成本低廉、寿命长、可靠性高，减少了需要维护的元件及时间，在工作环境恶劣的地方也能正常使用。

可选的，参见图2，设置在待加热尾气管道2内的温度传感器6，与加热控制电路5电连接，用于向加热控制电路反馈待加热尾气管道的温度。

可选的，加热控制电路5设置在终端盒7内，终端盒的表面设置有温度设定按钮和显示屏；设定温度按钮与加热控制电路相连，用于输入设定的预设加热温度；显示屏与加热控制电路5相连，用于显示待加热尾气管道2的温度。需要说明的是，当温度传感器6检测到待加热尾气管道2的温度小于预设加热温度时，该尾气管道加热系统通过加热控制电路5控制加热带1将电能转化为热能。当温度传感器6检测到待加热尾气管道2的温度大于预设加热温度时，该尾气管道加热系统通过加热控制电路5控制加热带1停止加热。

可选的，参见图2，还包括保温层8，保温层8包裹待加热尾气管道2，加热带1设置于保温层8内。

可选的，参见图2，该尾气管道加热系统还包括：电源接线盒9，设置于保温层8内，控制开关4设置在电源接线盒9内。电源接线盒9用于保护控制开关4。

参见图3，控制开关4包括：固态继电器401，和热继电器km1；固态继电器401的第一输出端4013和4014与加热带1电连接，固态继电器401的控制端4011和4012与加热控制电路5电连接，固态继电器401的第二输出端4015和4016通过热继电器km1与加热电源线3电连接。具体的，固态继电器401的输出端4015和4016通过热继电器km1的两个常开触点，与加热电源线3电连接。

可选的，加热电源线3包括火线l和零线n，固态继电器401的输出端4015还可以通过熔断器402与加热电源线3中的火线l电连接。

参见图2，还包括：过滤盒10，过滤盒10设置在保温层8内，且过滤盒10的第一端与电源接线盒9连接，过滤盒10的第二端与终端盒7连接，用于尾气进行过滤处理。

需要说明的是，过滤盒的作用包括：1、将加热带及保温层一体复合，显著节能节电；2、多重安全保护措施，适应不同环境。3、设置过滤盒之后，表面可安全触摸。

可选的，参见图3，加热控制电路5为温控器501，温控器501的输出端5011和5012与固态继电器401的控制端4011和4012电连接，用于控制固态继电器401的打开或者关闭，温控器501的输入端5013和5014与温度传感器6电连接，用于感应尾气的温度。

可选的，温控器501还包括：启动加热自锁单元502、停止加热自锁单元503、加热自锁单元504、报警自锁单元505以及提示自锁单元506；

启动加热自锁单元的输入端与温度传感器电连接，用于当待加热尾气管道的温度小于预定加热温度时，控制加热自锁单元接通，同时控制提示自锁单元接通并提示加热，加热自锁单元的输入端与启动加热自锁单元的输出端电连接，提示自锁单元与启动加热自锁单元的输出端电连接；

加热自锁单元的输出端与控制开关电连接，当加热自锁单元接通时，控制控制开关开启；

停止加热自锁单元的输入端与温度传感器电连接，用于当待加热尾气管道的温度大于定加热温度时，控制加热自锁单元断开，并控制报警自锁单元接通，同时控制提示自锁单元接通并提示停止加热，加热自锁单元的输入端与停止加热自锁单元的输出端电连接，报警自锁单元与停止加热自锁单元的输出端电连接，提示自锁单元与停止加热自锁单元的输出端电连接；

加热自锁单元的输出端与控制开关电连接，当加热自锁单元断开时，控制控制开关关闭。

参见图3，启动加热自锁单元502包括第一中间继电器ka1和加热开关5021，第一中间继电器ka1包括线圈和至少一个触点，加热开关5021与第一中间继电器ka1的线圈串联连接，加热开关5021通过温控器501与温度传感器6电连接。

停止加热自锁单元503包括第二中间继电器ka2和停止加热开关5031，第二中间继电器ka2包括线圈和至少一个触点，停止加热开关5031与第二中间继电器ka2的线圈串联连接，停止加热开关5031通过温控器501与温度传感器6电连接。

加热自锁单元504包括第一开关按钮5041、第二中间继电器ka2的常闭触点、第一发光装置5042和热继电器km1的线圈，第一开关按钮5041与第二中间继电器ka2的常闭触点以及第一发光装置5042串联连接，热继电器km1的线圈与第一发光装置5042并联连接；

报警自锁单元505包括第二中间继电器ka2的常开触点和第二发光装置5051，第二中间继电器ka2的常开触点与第二发光装置5051串联连接；

提示自锁单元506包括第一中间继电器ka1的常开触点、第二中间继电器ka2的常开触点、第二开关按钮5061和蜂鸣器5062，第一中间继电器ka1的常开触点与第二开关按钮5061以及蜂鸣器5062串联连接，第二中间继电器ka2的常开触点与第一中间继电器ka1的常开触点并联连接。

具体的，参见图3，该尾气管道加热系统的控制过程如下：

打开第一开关按钮5041，通过温度设定按钮设定预设加热温度t1，与温控器连接的温度传感器检测到待加热尾气管道的温度小于温度t1时，加热开关5021闭合，加热自锁单元504通电，第一发光装置5042点亮，同时热继电器km1的线圈通电，热继电器的所有常开触点闭合，控制开关4开启，加热电源线3与加热带1导通，加热带1为待加热尾气管道2加热。与此同时，提示自锁单元506通电，蜂鸣器5062鸣笛，提示开始加热。

当温控器连接的温度传感器检测到待加热尾气管道的温度大于温度t1时，加热开关5021断开，第一中间继电器ka1的线圈断电，第一中间继电器ka1的所有常开触点断开，同时停止加热开关5031闭合，第二中间继电器ka2的线圈通电，第二中间继电器ka2的所有常开触点闭合，加热自锁单元504上的第二中间继电器ka2的常闭触点打开，那km1的线圈断电，则km1的常开触点断开。

加热自锁单元504断电，第一发光装置5042不被点亮，控制开关4关闭，加热电源线3与加热带1不导通，加热带1不能为待加热尾气管道2加热。与此同时，提示自锁单元506通电，蜂鸣器5062鸣笛，提示停止加热。且报警自锁单元505导通，第二发光装置5051点亮。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。