实现超真空状态的冷凝头控制系统的制作方法

文档序号:17420109发布日期:2019-04-16 23:55阅读:166来源:国知局
实现超真空状态的冷凝头控制系统的制作方法

本实用新型涉及电子电路领域,尤其涉及一种实现超真空状态的冷凝头控制系统。



背景技术:

现有技术中,实现超真空状态主要采用冷凝的方式,将冷凝罐中的空气进行冷却凝结,使冷却后的气体形成固态,吸附在冷凝头上,但是吸附之后的固体状态的空气物质,无法进行清除,这就造成了冷凝头无法再次使用,或者吸附气体的能力降低,无法达到预先设置的真空环境,这就亟需本领域技术人员解决相应的技术问题。



技术实现要素:

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题,特别创新地提出了一种实现超真空状态的冷凝头控制系统。

为了实现本实用新型的上述目的,本实用新型提供了一种实现超真空状态的冷凝头控制系统,包括:冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端,冷头控制器加热工作端连接加热器工作端,冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端,冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端,冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端,冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端,冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端,冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端;

温度测量电路信号输出端连接MCU温度信号输入端,真空测量电路信号输出端连接MCU真空信号输入端,远程隔离输入电路信号端连接MCU输入信号端,远程隔离输出电路信号端连接MCU输出信号端,冷头电机信号端连接电机变频驱动电路信号输出端,电机变频驱动电路信号输入端连接MCU电机工作信号端。

所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,所述温度测量电路包括:第一温度传感器第一端分别连接第31二极管负极和第32电阻一端,第31二极管正极分别连接第34电阻一端和第一稳压器电源负极端,第32电阻另一端连接第31可调电阻一端,第31可调电阻调节端连接第33电阻一端,第33电阻另一端连接第34电阻另一端,第31可调电阻另一端连接第一稳压器电阻端,第一稳压器电源正极端分别连接第31电容一端和第30电阻一端,第31电容另一端接地,第30电阻另一端分别连接第31电阻一端和第30电容一端,第30电容另一端接地,第30电容一端还连接第10电感一端,第10电感另一端连接5V电源端,第31电阻另一端分别连接第二稳压器电源正极端和第32电容一端,第32电容另一端接地,第一温度传感器第二端连接第34电容一端,第34电容另一端分别连接第35电阻一端和第一运算放大器第一正极输入端,第35电阻另一端分别连接第31二极管负极和第33电容一端,第33电容另一端分别连接第34电容一端和接地,第二温度传感器第一端分别连接第32二极管负极和第36电阻一端,第36电阻另一端分别连接第32可调电阻一端和第32可调电阻调节端,第32可调电阻另一端连接第二稳压器电阻端,第32可调电阻调节端连接第37电阻一端,第37电阻另一端连接第38电阻一端,第38电阻另一端分别连接地点32二极管正极和第二稳压器电源负极端,第36电容一端分别连接第一运算放大器第二正极输入端和第39电阻一端,第39电阻另一端分别连接第32二极管负极和第35电容一端,第35电容另一端分别连接第36电容另一端和第二温度传感器第二端,第一运算放大器第一输出端连接第310电阻一端,第310电阻另一端连接第一称重芯片信号输入端,第一运算放大器第二输出端连接第312电阻一端,第312电阻另一端分别连接第313电阻一端和第39电容一端,第39电容另一端分别连接第313电阻另一端和第38电容一端,第38电容另一端分别连接第311电阻一端和第310电阻另一端,第311电阻另一端分别连接第38电容一端和第37电阻另一端,第一称重芯片信号输出端连接MCU温度测量信号端。

所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,远程隔离输出电路包括:第三稳压器输入端连接24V电源端,第三稳压器输出端连接第47电阻一端,第47电阻另一端分别连接第三稳压器校正端和第24二极管负极,第24二极管正极接地,第47电阻另一端还连接真空规控制继电器常开触点一端,真空规控制继电器常开触点另一端连接清洗阀控制继电器常开触点一端,清洗阀控制继电器常开触点另一端连接粗抽阀控制继电器常开触点一端,真空规控制继电器线圈一端连接IC控制器第一输出端,清洗阀控制继电器线圈一端连接IC控制器第二输出端,粗抽阀控制继电器线圈一端连接IC控制器第三输出端,真空规控制继电器线圈另一端分别连接清洗阀控制继电器线圈另一端、粗抽阀控制继电器线圈另一端、开关控制继电器线圈一端和24V电源,开关控制继电器线圈另一端连接IC控制器第四输出端,IC控制器第五输出端连接第23电阻一端,第23电阻另一端连接第一加热器单相固态继电器第四端,第一加热器单相固态继电器第三端分别连接第一加热器控制继电器线圈一端和第二加热器控制继电器线圈一端,第一加热器单相固态继电器第二端分别连接开关控制继电器常开触点一端和第二加热器单相固态继电器第二端,第一加热器单相固态继电器第一端连接第22保险丝一端,第22保险丝另一端连接第一加热器,IC控制器第六输出端连接第24电阻一端,第24电阻另一端连接第二加热器单相固态继电器第四端,IC控制器第七输出端连接第一加热器控制继电器线圈另一端,IC控制器第八输出端连接第二加热器控制继电器线圈另一端,第二加热器单相固态继电器第一端连接第21保险丝一端,第21保险丝另一端连接第二加热器。

所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,所述真空测量电路包括:通过真空控制信号端连接第42电阻一端,第42电阻另一端分别连接第43电阻一端和第43电容一端,第43电阻一端还连接第二称重芯片正极输入端,第二称重芯片工作信号端连接MCU真空测量信号端。

所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,远程隔离接口电源端连接第四稳压器输出端,第四稳压器输入端连接直流隔离电路输出端,远程隔离接口输出端还连接第一光耦输入端,第一光耦输出端连接MCU远程隔离信号输入端。

所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,所述电源管理电路包括:跳线一端分别连接第01二极管正极和第01单向可控硅正极,第01二极管负极分别连接第01电阻一端和第03电容一端,第01电阻另一端分别连接第02二极管正极和第二光耦输入端,第02二极管负极连接第01单向可控硅输出端,第01单向可控硅负极分别连接第二光耦使能端和第01稳压二极管正极,第01稳压二极管负极分别连接第02二极管正极和第04电容一端,第04电容另一端分别连接第01稳压二极管正极和第03电阻一端,第03电阻另一端分别连接第二光耦正极输出端和第02稳压二极管负极,第02稳压二极管正极分别连接整流桥负极电源端和第03电容另一端,整流桥正极电源端连接跳线一端,第03稳压二极管正极分别连接第02稳压二极管正极和第06电阻一端,第06电阻另一端分别连接第03稳压二极管输出端和第05电阻一端,第05电阻另一端分别连接第04电阻一端,第04电阻另一端分别连接第03电阻一端和跳线另一端,跳线另一端还分别连接第07电阻一端和第09电阻一端,第07电阻另一端分别连接第04稳压二极管负极、第08电阻一端和过压保护器电源端,过压保护器输出端分别连接第012电阻一端和第01三极管栅极,第012电阻另一端分别连接第011电阻一端和第05稳压二极管正极,第05稳压二极管负极分别连接第04稳压二极管正极和第03二极管负极,第01三极管漏极分别连接总线负极端和第012电阻另一端,第01三极管源极漏极第013电阻一端,第013电阻另一端分别连接第014电阻一端和第09电阻一端,第09电阻另一端漏极第010电阻一端,第010电阻另一端分别连接第03二极管正极和过压保护器正极输入端,第014电阻另一端分别连接总线正极端和第06电容一端,第06电容另一端连接总线负极端,电源控制继电器线圈一端分别连接第04二极管正极和第02三极管源极,第04二极管负极分别连接24V电源端和电源控制继电器线圈另一端,第02三极管漏极分别连接第021电阻一端和第020电容一端,第021电阻另一端分别连接第020电容另一端和第02三极管栅极,第021电阻另一端还分别连接第020电阻一端和第010二极管正极,第010二极管负极分别连接第020电阻另一端和第一稳压控制晶体管输出端,第一稳压控制晶体管电源端连接第二稳压控制晶体管电源端,第二稳压控制晶体管输出端分别连接第09电容一端和第022电阻一端,第022电阻另一端分别连接第03晶体管集电极和第04晶体管基极,第04晶体管集电极分别连接第011稳压二极管正极和风扇,第03晶体管发射极接地,第03晶体管基极连接第23电阻一端,第23电阻另一端连接MCU风扇控制信号端,整流桥交流信号端连接供电电源端。

所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,所述电机变频驱动电路包括:MCU的PWM脉冲信号控制端分别连接第一数字隔离器脉冲信号输入端和第二数字隔离器脉冲信号输入端,第一数字隔离器第一输出端分别连接第一电机驱动器输入端和第11电阻一端,第11电阻另一端分别连接第15电阻一端和第12三极管漏极,第15电阻另一端分别连接第12三极管栅极和第一电机驱动器低电平输出端,第一电机驱动器高电平输出端分别连接第14电阻一端和第11三极管栅极,第11三极管源极连接第13三极管源极,第14电阻另一端分别连接第一电机驱动器使能端和第一电机工作端,第一电机驱动器电源端连接第11稳压二极管正极,第11稳压二极管负极连接第13电容一端,第13电容另一端分别连接第14电阻另一端和第12三极管源极;

第一数字隔离器第二输出端分别连接第二电机驱动器输入端和第12电阻一端,第12电阻另一端分别连接第17电阻一端和第14三极管漏极,第17电阻另一端分别连接第14三极管栅极和第二电机驱动器低电平输出端,第二电机驱动器高电平输出端分别连接第16电阻一端和第13三极管栅极,第13三极管源极连接第15三极管源极,第16电阻另一端分别连接第二电机驱动器使能端和第二电机工作端,第二电机驱动器电源端连接第12稳压二极管正极,第12稳压二极管负极连接第14电容一端,第14电容另一端分别连接第16电阻另一端和第14三极管源极;

第一数字隔离器第三输出端分别连接第三电机驱动器输入端和第13电阻一端,第13电阻另一端分别连接第19电阻一端和第16三极管漏极,第19电阻另一端分别连接第16三极管栅极和第三电机驱动器低电平输出端,第三电机驱动器高电平输出端分别连接第18电阻一端和第15三极管栅极,第15三极管源极还连接总线信号正极端,第18电阻另一端分别连接第三电机驱动器使能端和第三电机工作端,第三电机驱动器电源端连接第13稳压二极管正极,第13稳压二极管负极连接第15电容一端,第15电容另一端分别连接第18电阻另一端和第16三极管源极;

第19电阻还分别连接第120电阻一端、第121电阻一端和第122电阻一端,第120电阻另一端、第121电阻另一端和第122电阻另一端连接第127电阻一端,第127电阻另一端分别连接第18电容一端和第126电阻一端,第一电机驱动器、第二电机驱动器和第三电机驱动器电源端还连接隔离电路电源输出端,隔离电路使能端连接三端稳压器电源输入端,三端稳压器电源输出端连接第128电阻一端,第128电阻另一端分别连接第126电阻另一端和第19电容一端,第19电容另一端接地,第126电阻一端还连接电流测量器电源负极输入端,电流测量器电源正极输入端分别连接第124电阻一端和第17电容一端,第124电阻另一端分别连接第17电容另一端和第19电容另一端,第二数字隔离器输出端连接电流测量器输入端。

综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:

通过该冷凝头控制系统实现了冷凝头的冷凝操作,并且能够快速加温冷凝头进行除尘处理,通过相应的继电器进行启停控制,该电路运行稳定可靠,提高了工作效率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:

图1是本实用新型装置连接示意图;

图2是本实用新型电路连接示意图;

图3是本实用新型温度测量电路图;

图4是本实用新型远程输出电路图;

图5是本实用新型WiFi示意图;

图6是本实用新型触摸屏电路示意图;

图7是本实用新型真空测量电路图;

图8是本实用新型远程隔离输入电路图;

图9是本实用新型电源管理模块电路图;

图10是本实用新型电机变频驱动电路图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1至10所示,冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端,冷头控制器加热工作端连接加热器工作端,冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端,冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端,冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端,冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端,冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端,冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端。

温度测量电路信号输出端连接MCU温度信号输入端,真空测量电路信号输出端连接MCU真空信号输入端,远程隔离输入电路信号端连接MCU输入信号端,远程隔离输出电路信号端连接MCU输出信号端,冷头电机信号端连接电机变频驱动电路信号输出端,电机变频驱动电路信号输入端连接MCU电机工作信号端,

如图3所示,所述温度测量电路包括:第一温度传感器第一端分别连接第31二极管负极和第32电阻一端,第31二极管正极分别连接第34电阻一端和第一稳压器电源负极端,第32电阻另一端连接第31可调电阻一端,第31可调电阻调节端连接第33电阻一端,第33电阻另一端连接第34电阻另一端,第31可调电阻另一端连接第一稳压器电阻端,第一稳压器电源正极端分别连接第31电容一端和第30电阻一端,第31电容另一端接地,第30电阻另一端分别连接第31电阻一端和第30电容一端,第30电容另一端接地,第30电容一端还连接第10电感一端,第10电感另一端连接5V电源端,第31电阻另一端分别连接第二稳压器电源正极端和第32电容一端,第32电容另一端接地,第一温度传感器第二端连接第34电容一端,第34电容另一端分别连接第35电阻一端和第一运算放大器第一正极输入端,第35电阻另一端分别连接第31二极管负极和第33电容一端,第33电容另一端分别连接第34电容一端和接地,第二温度传感器第一端分别连接第32二极管负极和第36电阻一端,第36电阻另一端分别连接第32可调电阻一端和第32可调电阻调节端,第32可调电阻另一端连接第二稳压器电阻端,第32可调电阻调节端连接第37电阻一端,第37电阻另一端连接第38电阻一端,第38电阻另一端分别连接地点32二极管正极和第二稳压器电源负极端,第36电容一端分别连接第一运算放大器第二正极输入端和第39电阻一端,第39电阻另一端分别连接第32二极管负极和第35电容一端,第35电容另一端分别连接第36电容另一端和第二温度传感器第二端,第一运算放大器第一输出端连接第310电阻一端,第310电阻另一端连接第一称重芯片信号输入端,第一运算放大器第二输出端连接第312电阻一端,第312电阻另一端分别连接第313电阻一端和第39电容一端,第39电容另一端分别连接第313电阻另一端和第38电容一端,第38电容另一端分别连接第311电阻一端和第310电阻另一端,第311电阻另一端分别连接第38电容一端和第37电阻另一端,第一称重芯片信号输出端连接MCU温度测量信号端。

如图4所示,远程隔离输出电路包括:第三稳压器输入端连接24V电源端,第三稳压器输出端连接第47电阻一端,第47电阻另一端分别连接第三稳压器校正端和第24二极管负极,第24二极管正极接地,第47电阻另一端还连接真空规控制继电器常开触点一端,真空规控制继电器常开触点另一端连接清洗阀控制继电器常开触点一端,清洗阀控制继电器常开触点另一端连接粗抽阀控制继电器常开触点一端,真空规控制继电器线圈一端连接IC控制器第一输出端,清洗阀控制继电器线圈一端连接IC控制器第二输出端,粗抽阀控制继电器线圈一端连接IC控制器第三输出端,真空规控制继电器线圈另一端分别连接清洗阀控制继电器线圈另一端、粗抽阀控制继电器线圈另一端、开关控制继电器线圈一端和24V电源,开关控制继电器线圈另一端连接IC控制器第四输出端,IC控制器第五输出端连接第23电阻一端,第23电阻另一端连接第一加热器单相固态继电器第四端,第一加热器单相固态继电器第三端分别连接第一加热器控制继电器线圈一端和第二加热器控制继电器线圈一端,第一加热器单相固态继电器第二端分别连接开关控制继电器常开触点一端和第二加热器单相固态继电器第二端,第一加热器单相固态继电器第一端连接第22保险丝一端,第22保险丝另一端连接第一加热器,IC控制器第六输出端连接第24电阻一端,第24电阻另一端连接第二加热器单相固态继电器第四端,IC控制器第七输出端连接第一加热器控制继电器线圈另一端,IC控制器第八输出端连接第二加热器控制继电器线圈另一端,第二加热器单相固态继电器第一端连接第21保险丝一端,第21保险丝另一端连接第二加热器。

通过存储器将显示信息进行存储,然后由显示屏进行显示操作。

如图7所示,所述真空测量电路包括:通过真空控制信号端连接第42电阻一端,第42电阻另一端分别连接第43电阻一端和第43电容一端,第43电阻一端还连接第二称重芯片正极输入端,第二称重芯片工作信号端连接MCU真空测量信号端。

如图5-6所示,远程隔离接口电源端连接第四稳压器输出端,第四稳压器输入端连接直流隔离电路输出端,远程隔离接口输出端还连接第一光耦输入端,第一光耦输出端连接MCU远程隔离信号输入端。

如图9-10所示,所述电源管理电路包括:跳线一端分别连接第01二极管正极和第01单向可控硅正极,第01二极管负极分别连接第01电阻一端和第03电容一端,第01电阻另一端分别连接第02二极管正极和第二光耦输入端,第02二极管负极连接第01单向可控硅输出端,第01单向可控硅负极分别连接第二光耦使能端和第01稳压二极管正极,第01稳压二极管负极分别连接第02二极管正极和第04电容一端,第04电容另一端分别连接第01稳压二极管正极和第03电阻一端,第03电阻另一端分别连接第二光耦正极输出端和第02稳压二极管负极,第02稳压二极管正极分别连接整流桥负极电源端和第03电容另一端,整流桥正极电源端连接跳线一端,第03稳压二极管正极分别连接第02稳压二极管正极和第06电阻一端,第06电阻另一端分别连接第03稳压二极管输出端和第05电阻一端,第05电阻另一端分别连接第04电阻一端,第04电阻另一端分别连接第03电阻一端和跳线另一端,跳线另一端还分别连接第07电阻一端和第09电阻一端,第07电阻另一端分别连接第04稳压二极管负极、第08电阻一端和过压保护器电源端,过压保护器输出端分别连接第012电阻一端和第01三极管栅极,第012电阻另一端分别连接第011电阻一端和第05稳压二极管正极,第05稳压二极管负极分别连接第04稳压二极管正极和第03二极管负极,第01三极管漏极分别连接总线负极端和第012电阻另一端,第01三极管源极漏极第013电阻一端,第013电阻另一端分别连接第014电阻一端和第09电阻一端,第09电阻另一端漏极第010电阻一端,第010电阻另一端分别连接第03二极管正极和过压保护器正极输入端,第014电阻另一端分别连接总线正极端和第06电容一端,第06电容另一端连接总线负极端,电源控制继电器线圈一端分别连接第04二极管正极和第02三极管源极,第04二极管负极分别连接24V电源端和电源控制继电器线圈另一端,第02三极管漏极分别连接第021电阻一端和第020电容一端,第021电阻另一端分别连接第020电容另一端和第02三极管栅极,第021电阻另一端还分别连接第020电阻一端和第010二极管正极,第010二极管负极分别连接第020电阻另一端和第一稳压控制晶体管输出端,第一稳压控制晶体管电源端连接第二稳压控制晶体管电源端,第二稳压控制晶体管输出端分别连接第09电容一端和第022电阻一端,第022电阻另一端分别连接第03晶体管集电极和第04晶体管基极,第04晶体管集电极分别连接第011稳压二极管正极和风扇,第03晶体管发射极接地,第03晶体管基极连接第23电阻一端,第23电阻另一端连接MCU风扇控制信号端,整流桥交流信号端连接供电电源端。

如图10所示,所述电机变频驱动电路包括:MCU的PWM脉冲信号控制端分别连接第一数字隔离器脉冲信号输入端和第二数字隔离器脉冲信号输入端,第一数字隔离器第一输出端分别连接第一电机驱动器输入端和第11电阻一端,第11电阻另一端分别连接第15电阻一端和第12三极管漏极,第15电阻另一端分别连接第12三极管栅极和第一电机驱动器低电平输出端,第一电机驱动器高电平输出端分别连接第14电阻一端和第11三极管栅极,第11三极管源极连接第13三极管源极,第14电阻另一端分别连接第一电机驱动器使能端和第一电机工作端,第一电机驱动器电源端连接第11稳压二极管正极,第11稳压二极管负极连接第13电容一端,第13电容另一端分别连接第14电阻另一端和第12三极管源极;

第一数字隔离器第二输出端分别连接第二电机驱动器输入端和第12电阻一端,第12电阻另一端分别连接第17电阻一端和第14三极管漏极,第17电阻另一端分别连接第14三极管栅极和第二电机驱动器低电平输出端,第二电机驱动器高电平输出端分别连接第16电阻一端和第13三极管栅极,第13三极管源极连接第15三极管源极,第16电阻另一端分别连接第二电机驱动器使能端和第二电机工作端,第二电机驱动器电源端连接第12稳压二极管正极,第12稳压二极管负极连接第14电容一端,第14电容另一端分别连接第16电阻另一端和第14三极管源极;

第一数字隔离器第三输出端分别连接第三电机驱动器输入端和第13电阻一端,第13电阻另一端分别连接第19电阻一端和第16三极管漏极,第19电阻另一端分别连接第16三极管栅极和第三电机驱动器低电平输出端,第三电机驱动器高电平输出端分别连接第18电阻一端和第15三极管栅极,第15三极管源极还连接总线信号正极端,第18电阻另一端分别连接第三电机驱动器使能端和第三电机工作端,第三电机驱动器电源端连接第13稳压二极管正极,第13稳压二极管负极连接第15电容一端,第15电容另一端分别连接第18电阻另一端和第16三极管源极;

第19电阻还分别连接第120电阻一端、第121电阻一端和第122电阻一端,第120电阻另一端、第121电阻另一端和第122电阻另一端连接第127电阻一端,第127电阻另一端分别连接第18电容一端和第126电阻一端,第一电机驱动器、第二电机驱动器和第三电机驱动器电源端还连接隔离电路电源输出端,隔离电路使能端连接三端稳压器电源输入端,三端稳压器电源输出端连接第128电阻一端,第128电阻另一端分别连接第126电阻另一端和第19电容一端,第19电容另一端接地,第126电阻一端还连接电流测量器电源负极输入端,电流测量器电源正极输入端分别连接第124电阻一端和第17电容一端,第124电阻另一端分别连接第17电容另一端和第19电容另一端,第二数字隔离器输出端连接电流测量器输入端。

第一稳压器和第二稳压器为LM334M,第三稳压器为REF196,第一运算放大器为AD8629,称重芯片为HX711。

MCU为STM32F103C8T6;

MCR8SN为单向可控硅;

IC控制器为TD62081AF;

单相固态继电器为SAE4005D;

WiFi芯片为ESP8266;

存储器FM24C04;

直流隔离电路为24S24Y1-N1;

光耦为TLP521-4;

过压保护器为TLC3707;

第一三通道数字隔离器为ADuM1300,第二数字隔离器为ADuM1201;

电流测量器为TM7711;

电机驱动器为IR2183;

三端稳压器为78L05;

隔离电路为05D09Y4-N2;

本实用新型的用途为超真空设备等使用的超低温冷凝头,进行低温控制。

装置特点:

a.宽电压输入AC120V-450V,47-65Hz;

b.变频输出控制冷头电机,(可控电机类型:异步或永磁同步;功率100-400W;两相或三相;可控频率5-60Hz)。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

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