实现超真空状态的冷凝头控制系统的制作方法

文档序号:17420109发布日期:2019-04-16 23:55阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提出了一种实现超真空状态的冷凝头控制系统,包括:冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端,冷头控制器加热工作端连接加热器工作端,冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端,冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端,冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端,冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端,冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端,冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端。

技术研发人员:蔡国进;杨世刚
受保护的技术使用者:重庆金鹰自动化工程有限公司
技术研发日:2018.06.13
技术公布日:2019.04.16

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