一种石英坩埚熔制机新型总控制系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种石英坩埚系统领域，特别是涉及一种石英坩埚熔制机新型总控制系统。
【背景技术】
[0002]真空电弧法生产石英坩埚设备是目前世界上生产坩埚最先进的技术设备。它以电弧为热源，离心成型的工艺制造坩埚。其特点是设备可操作性强，工艺成熟，产品利润空间大，市场前景广阔。石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品，是半导体产业的龙头产业。广泛应用于电子、化工等诸多行业。用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。主要是采用电弧为热源，离心成型为基础，融化预先成型的高纯石英粉料，通过抽真空制造高纯度内层透明，外层乳白的石英坩埚装置。
【发明内容】
[0003]针对现有技术存在的问题，本发明的目的是提供一种石英坩埚熔制机新型总控制系统，包括主控制器以及与主控制器连接的熔融控制装置、成型控制装置和其他控制装置；所述熔融控制装置包括继电器1、继电器I1、电机I和电机II组成；所述继电器I与所述电机I相连，所述继电器II与所述电机II相连；所述成型控制装置由依次连接的继电器II1、变频控制器、驱动电路和电机III组成；所述其他控制装置由循环风机和温度传感器组成。
[0004]所述主控制器采用PLC可编程逻辑控制器。
[0005]本发明设计合理、结构简单且电路部分连线简单。
【附图说明】
[0006]图1为本发明的示意图。
【具体实施方式】
[0007]参照图1中，本发明采用的技术方案为一种石英坩埚熔制机新型总控制系统，包括主控制器以及与主控制器连接的熔融控制装置、成型控制装置和其他控制装置；所述熔融控制装置包括继电器1、继电器I1、电机I和电机II组成；所述继电器I与所述电机I相连，所述继电器II与所述电机II相连；
[0008]所述成型控制装置由依次连接的继电器II1、变频控制器、驱动电路和电机III组成；所述其他控制装置由循环风机和温度传感器组成。
[0009]进一步地，所述主控制器采用PLC可编程逻辑控制器。
[0010]以上所述，仅是本发明的实施例，并非对本发明作任何限制，凡是根据本发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。
【主权项】
1.一种石英坩埚熔制机新型总控制系统，其特征在于:包括主控制器以及与主控制器连接的熔融控制装置、成型控制装置和其他控制装置；所述熔融控制装置包括继电器1、继电器I1、电机I和电机II组成；所述继电器I与所述电机I相连，所述继电器II与所述电机II相连；所述成型控制装置由依次连接的继电器II1、变频控制器、驱动电路和电机III组成；所述其他控制装置由循环风机和温度传感器组成。
2.如权利要求1所述一种石英坩埚熔制机新型总控制系统，其特征在于:所述主控制器采用PLC可编程逻辑控制器。
【专利摘要】本发明涉及一种石英坩埚熔制机新型总控制系统，包括主控制器以及与主控制器连接的熔融控制装置、成型控制装置和其他控制装置；所述熔融控制装置包括继电器I、继电器II、电机I和电机II组成；所述继电器I与所述电机I相连，所述继电器II与所述电机II相连；所述成型控制装置由依次连接的继电器III、变频控制器、驱动电路和电机III组成；所述其他控制装置由循环风机和温度传感器组成；本发明设计合理、结构简单且电路部分连线简单。
【IPC分类】G05B19-05, G05D23-19
【公开号】CN104656536
【申请号】CN201310578524
【发明人】祝军武, 高喜梅, 张新丽
【申请人】西安艾力特电子实业有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年11月16日