种具有相同设备型号、软件版本以及生产用途的被认为具有相同的设备信息。
[0047]所述配方编号是根据工艺流程中，每个生产步骤具体完成的步骤名来分配的，包含了产品大致类型和步骤名的简写信息。相同的产品类型和相同的生产步骤上的配方则被会赋予相同的配方编号。
[0048]例如，产品1和产品2属于相同的产品类型，产品类型名为P，生产流程大致相同，细部流程存在差异，但都存在生成阻挡层的生产步骤，步骤名为A，并且生产的阻挡层也是完全一致的，那么这个生产步骤A上的生产配方编号可以为PA.
[0049]因此，具有相同设备信息和配方编号的一组配方则被划分定义为关联配方，一方面，为了保证产品产出质量的相同，生产要求关联配方要保持主体信息一致，即相关性?’另一方面，组内生产设备之间的生产特性会有不同，为了适应不同工艺设别的特性，生产要求组内配方根据设备自身的特性具有细微的差异性。
[0050]然后执行步骤二，如图3所示，识别其中一个工艺设备的配方为基准配方，如，识别出工艺设备2上的配方A为基准配方，其他设备1、3、4上的配方A则为待对比校验的配方。
[0051]所述基准配方(Base Line Recipe)是关联配方组内的一个配方，是关联配方组内其他配方的参考对象。所述基准配方的定义主要包含两个要素:配方编号和设备名。具体地，可以采用系统的识别模块来识别基准配方，系统的识别模块可以按照组内配方的建立顺序有系统自动完成。例如，可以自动默认一组关联配方中第一个授权投产的配方为基准配方。所述第一个授权投产的配方是指，该配方在某个特定的工艺设备上经过试运行，产出产品通过质量检验，并且产量达到某个特定要求的前提下，在此工艺设备上的此配方即被认为是第一个达到生产标准的可以授权投产的配方。如果系统无法识别出基准配方，也支持用户手动选择一个配方做参考，例如，可以选择产品产出质量最优的配方为组内的基准配方。
[0052]最后执行步骤三，将该组中其他工艺设备的配方与所述基准配方一一参照对比，并生成差异报表，判断差异报表中每一个工艺设备的配方与基准配方的差异信息，若差异信息符合工艺要求，则投产；不符合则放弃投产。
[0053]在投产申请时，系统的对比模块自动将即将投产的配方与组内识别的基准配方进行参照对比，生成差异报表交由工程师审核，作为工程师作为投产决策的依据。如果差异可接受，则可以投产；若差异不可接受，则放弃投产。对于放弃投产的配方，可以返工，继续对该配方进行调整，再重复步骤二和步骤三进行校验，直至配方满足投产的要求。
[0054]所述差异报表还可以以附件的形式由生产管理系统导出，为其他外部系统的接入提供基础。例如接入的外部系统为质量追踪和异常查询系统，用于分析质量异常原因。外部系统的接入使生产管理系统的功能更加完善。
[0055]综上所述，关联配方是一组存在于不同生产设备上的、详细信息大致相同的、并且配方编号一致的配方，需要预先将划分规则定义在系统中。在制程工程师提交申请要授权一个机台上的一个配方投产的时刻，系统自动根据关联配方组的定义，找到该配方相应的关联配方组，对比配方间的差异。这个差异信息以显著的形式显示在申请界面上用于提示工程师，同时差异信息以报表的形式参与到申请流程中，使签核流程中的所有人都可以获悉关联配方组内的差异。如果工程师或者签核人认为组间差异过大，则可以放弃投产，选择返工；如果认为组内差异可以接受，那么继续签核直至核准成功投产。
[0056]经过系统上线运行之后，每个月配方投产申请约350次，每次提交的投产需求都经过了基准配方的差异性校验，保障了关联配方组的有效管理。
[0057]实施例二
[0058]本发明还提供一种半导体生产工艺配方的管控系统，如图4所示，用于实现实施例一中半导体生产工艺配方的管控方法，所述管控系统至少包括:识别模块、对比模块和显示模块，根据用户需求还可以包含签核系统签核模块。
[0059]请参阅图4，所述识别模块、对比模块、显示模块、以及签核系统签核模块构成投产申请的界面程序。
[0060]所述识别模块用于识别关联配方组内的基准配方，若识别模块出现错误，找不到基准配方，则提示用户手动选择一个配方作为基准配方，例如可以选择产品产出质量最优的配方为组内的基准配方。
[0061]所述对比模块用于对比关联配方中指定的配方与所述基准配方之间的差异并产生差异报表。用户在申请界面上指定要对比的两个配方，所述显示模块上则会显示指定设备上指定配方的详细参数信息以及指定配方之间的差异信息，一目了然，便于工程师做投产决策。
[0062]如果用户需要，可以通过签核系统接口模块触发签核系统，将对比模块产生的差异报表以附件的形式传递到签核系统中去。
[0063]通过该管控系统，保证了关联配方在不同设备上的一致性，并且有效地控制了因设备特性而导致的差异。由于差异信息导出，其他外部系统可以方便的接入管控系统，若配方有误则非常容易识别，降低出现生产质量不合格的风险。
[0064]综上所述，本发明提供一种半导体生产工艺配方的管控方法及系统，包括步骤:首先，提供具有关联配方的一组工艺设备；然后，识别其中一个工艺设备的配方为基准配方；再将该组中其他工艺设备的配方与所述基准配方一一参照对比，并生成差异报表，判断差异报表中每一个工艺设备的配方与基准配方的差异信息，若差异信息符合工艺要求，则投产；不符合则放弃投产。本发明通过系统定义关联配方，识别基准配方自动实施参照管理的方法，提高了配方部署过程的可靠性。
[0065]所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0066]上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种半导体生产工艺配方的管控方法，其特征在于，所述半导体工艺配方的管控方法至少包括步骤: 1)提供存储有关联配方的一组工艺设备； 2)识别其中一个工艺设备上存储的配方为基准配方； 3)将该组中其他工艺设备上存储的配方与所述基准配方一一参照对比，并生成差异报表，判断差异报表中每一个工艺设备的配方与基准配方的差异信息，若差异信息符合工艺要求，则投产；不符合则放弃投产。2.根据权利要求1所述的半导体生产工艺配方的管控方法，其特征在于:具有相同的设备信息和配方编号的一组配方定义为关联配方，所述关联配方既体现组内配方的一致性，又体现组内配方的差异性，具有关联配方的一组工艺设备用于执行相同的工艺步骤。3.根据权利要求2所述的半导体生产工艺配方的管控方法，其特征在于:所述设备信息包括设备型号、软件版本和生产用途。4.根据权利要求1所述的半导体生产工艺配方的管控方法，其特征在于:所述步骤2)中采用系统识别模块来识别基准配方，所述基准配方为组内第一个授权投产的配方。5.根据权利要求4所述的半导体生产工艺配方的管控方法，其特征在于:若系统识别模块无法识别基准配方，则手动选择产品产出质量最优的配方为基准配方。6.一种半导体生产工艺配方的管控系统，其特征在于，所述半导体生产工艺配方的管控系统至少包括: 用于识别基准配方的识别模块； 用于对比关联配方中指定的配方与所述基准配方之间的差异并产生差异报表的对比模块； 用于显示所述差异信息的显示模块。7.根据权利要求6所述的半导体生产工艺配方的管控系统，其特征在于:所述管控系统还包括与签核系统相连的签核系统接口模块，通过签核系统接口模块将产生的所述差异报表以附件的形式传递到所述签核系统中。8.根据权利要求6所述的半导体生产工艺配方的管控系统，其特征在于:所述显示模块还用于显示指定工艺设备上配方的详细信息。9.根据权利要求6所述的半导体生产工艺配方的管控系统，其特征在于:所述基准配方为组内第一个授权投产的配方。10.根据权利要求6所述的半导体生产工艺配方的管控系统，其特征在于:所述基准配方为产品产出质量最优的配方。
【专利摘要】本发明提供一种半导体生产工艺配方的管控方法及系统，包括步骤：首先，提供存储有关联配方的一组工艺设备；然后，识别其中一个工艺设备上存储的配方为基准配方；再将该组中其他工艺设备上存储的配方与所述基准配方一一参照对比，并生成差异报表，判断差异报表中每一个工艺设备的配方与基准配方的差异信息，若差异信息符合工艺要求，则投产；不符合则放弃投产。本发明通过系统定义关联配方，识别基准配方后自动实施参照管理，提高了配方部署过程的可靠性。
【IPC分类】G05B19/418
【公开号】CN105446277
【申请号】CN201410410124
【发明人】范光瑛
【申请人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2014年8月20日