技术总结
工艺异因分析方法与工艺异因分析系统。该工艺异因分析方法包括获得多个产品的工艺数据。上述方法还包括使用非概率类型分类器及概率类型分类器的至少其中之一对工艺数据作运算，以获得每一工艺参数的贡献度。上述方法还包括判断分类器正确率是否大于阈值。上述方法还包括，若分类器正确率大于阈值时，对工艺参数进行一删除操作以删除具有最低的贡献度的工艺参数，并再次使用非概率类型分类器及概率类型分类器的至少其中之一对工艺数据运算；以及若分类器正确率不大于阈值时，将工艺参数设定为关键工艺参数。
技术研发人员：郑光宏;夏启峻;江宜霖
受保护的技术使用者：财团法人工业技术研究院
文档号码：201510929636
技术研发日：2015.12.14
技术公布日：2017.05.10