压力传感装置及其制造方法与流程

本发明关于一种传感装置及其制造方法，特别关于一种压力传感装置及其制造方法。

背景技术：

随着科技不断的进步，各种信息设备不断地推陈出新，例如手机、平板电脑、超轻薄笔记本电脑、及卫星导航等。除了一般以键盘或鼠标输入或操控之外，利用触控式技术来操控信息设备是一种相当直观且受欢迎的操控方式。其中，触控装置具有人性化及直觉化的输入操作介面，使得任何年龄层的使用者都可直接以手指或触控笔选取或操控信息设备。

现今触控技术多为二维(2d)平面的多点触控(multi-touch)，其是利用例如手指碰触显示面而改变例如电容值来精确判断手指的触碰位置，进而产生对应的控制功能。另外，除了二维平面的触控技术中，为了感测垂直于显示面(z轴)方向的按压力道，已知技术一般是利用于显示面上外贴一压力传感结构来感测z轴方向的碰触力道，从而实现3d触控的目的。

技术实现要素：

本发明提供一种压力传感装置，包括一第一基板、一薄膜晶体管元件、一第一传感元件、一第二传感元件以及一可压缩层。薄膜晶体管元件形成于第一基板的一第一表面。第一传感元件形成于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面。第二传感元件与第一传感元件相对而设。可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间。

本发明提供一种压力传感装置的制造方法，包括以下步骤：提供一第一基板；形成一薄膜晶体管元件于第一基板的一第一表面；提供一第二基板，并与第一基板相对 而设，且薄膜晶体管元件位于第一基板与第二基板之间；形成一第一传感元件于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面；提供一第二传感元件，并使第一传感元件与第二传感元件位于第一基板的同一侧；以及提供一可压缩层，并使可压缩层夹置于第一传感元件与第二传感元件之间。

在一实施例中，第一传感元件与第二传感元件的其中之一为图案化导电层。

在一实施例中，第一传感元件与第二传感元件分别为图案化导电层。

在一实施例中，可压缩层的材料包含光学胶、光学透明树脂、光学弹性树脂、硅胶，或包含一密封元件及一气体层，且气体层位于密封元件所围设的空间内。

在一实施例中，压力传感装置更包括一第二基板，其与第一基板相对而设，且薄膜晶体管元件位于第一基板与第二基板之间。

在一实施例中，压力传感装置更包括一第一偏光板与一第二偏光板，第一传感元件设置于第一偏光板与第一基板之间，第二偏光板设置于第二基板远离第一基板的一侧。

在一实施例中，压力传感装置更包括一触控电极层，其设置于第二基板与第二偏光板之间。

在一实施例中，压力传感装置更包括一触控电极层，其设置于第一基板与第二基板之间，且触控电极层位于薄膜晶体管元件上。

在一实施例中，压力传感装置更包括一保护基板及一触控电极层。保护基板与第二基板相对而设。触控电极层设置于保护基板面向第二基板的表面。

在一实施例中，压力传感装置更包括一背光模块，其与第一基板相对而设，且可压缩层设置于第一传感元件与背光模块之间，背光模块包含一导光板、一反射板、至少一光学膜片及一背板，光学膜片与反射板分别设置于导光板的两侧，背板承载反射板、导光板及光学膜片。

在一实施例中，第二传感元件为透明导电膜，并设置于导光板上。

在一实施例中，第二传感元件为反射板或背板。

在一实施例中，在提供第二基板而与第一基板相对而设的步骤之后，形成第一传感元件于第一基板的第二表面。

在一实施例中，在提供第二基板而与第一基板相对而设的步骤之前，形成第一传感元件于第一基板的第二表面。

在一实施例中，制造方法更包括一步骤：使一触控电极层夹置于第一基板与第二基板之间，且触控电极层位于薄膜晶体管元件上。

在一实施例中，制造方法更包括以下步骤：提供一触控电极层及一保护基板、将触控电极层设置于保护基板面向第二基板的表面、及使具有触控电极层的保护基板与第二基板相对而设。

在一实施例中，于使可压缩层夹置于第一传感元件与第二传感元件之间的步骤之前，制造方法更包括以下步骤：提供一第一偏光板及一第二偏光板、使第一传感元件夹置于第一偏光板与第一基板之间、及使第二偏光板设置于第二基板远离第一基板的一侧。

在一实施例中，制造方法更包括一步骤：使一触控电极层夹置于第二基板与第二偏光板之间。

在一实施例中，制造方法更包括以下步骤：提供一背光模块，其中背光模块包含一导光板、一反射板、至少一光学膜片及一背板，光学膜片与反射板分别设置于导光板的两侧，背板承载反射板、导光板及光学膜片、及使背光模块与第一基板相对而设，并使可压缩层夹置于第一传感元件与背光模块之间。

承上所述，于本发明的压力传感装置及其制造方法中，通过将薄膜晶体管元件形成于第一基板的第一表面，并将第一传感元件形成于第一基板的第二表面，且将第二传感元件与第一传感元件相对而设，而使第二传感元件与第一传感元件分别位于第一基板的同一侧，并使可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间，使得，当按压本发明的压力传感装置时，可压缩层将因按压而产生形变，故第一传感元件与第二传感元件之间的电容值将产生变化。藉此，使得压力传感装置可依据电容变化量判断被按压的位置及按压力道，同时可依据按压力道的大小来产生不同的控制功能。此外，本发明的压力传感装置亦可搭配已知的2d触控来实现3d触控功能，从而增加产品于触控功能上的运用性。

附图说明

图1a为本发明较佳实施例的一种压力传感装置的示意图。

图1b为压力传感装置被按压时的示意图。

图2a为本发明另一较佳实施例的压力传感装置的示意图。

图2b为图2a的压力传感装置被按压时的示意图。

图3a至图3d分别为本发明不同实施态样的压力传感装置的示意图。

图4为本发明较佳实施例的一种压力传感装置的制造方法的流程步骤图。

具体实施方式

以下将参照相关图式，说明依本发明较佳实施例的压力传感装置，其中相同的元件将以相同的参照符号加以说明。

请分别参照图1a及图1b所示，其中，图1a为本发明较佳实施例的一种压力传感装置1的示意图，而图1b为压力传感装置1被按压时的示意图。

压力传感装置1包括一显示面板11、一第一传感元件12、一可压缩层13以及一第二传感元件14。

显示面板11可为液晶显示面板(lcd)、有机发光二极管显示面板(oled)或发光二极管显示面板(led)，并不限定。

显示面板11具有一显示面aa，并包含一第一基板111及一第二基板112，且第一基板111与第二基板112相对而设。其中，第一基板111具有邻近显示面aa的一第一表面s1及与第一表面s1相对的一第二表面s2(第二表面s2远离显示面aa)。于此，第一表面s1为第一基板111的上表面，而第二表面s2为第一基板111的下表面，且第二基板112面向第一表面s1而与第一基板111相对而设。

第一传感元件12设置于第一基板111的第二表面s2。于此，可在第一基板111的下表面形成第一传感元件12后再与第二基板112进行对组，或者先将第一基板111与第二基板112对组后，再于第一基板111的下表面形成第一传感元件12，并不限制。于此，在第一基板111的下表面形成第一传感元件12，并不限制第一传感元件12是直接或间接形成于该下表面，第一传感元件12与该下表面之间可具有其他膜层。在本实施例中，以光刻工艺将第一传感元件12形成于第一基板111的下表面。

第二传感元件14设置于可压缩层13上而与第一传感元件12相对而设，且第二传感元件14与第一传感元件12分别位于第一基板111的同一侧，并使得可压缩层13夹置于第一传感元件12与第二传感元件14之间。在未按压时，由于第一传感元件12与第二传感元件14之间夹置有可压缩层13，故第一传感元件12、可压缩层13与第二传感元件14可形成一电容而具有一电容值。于此，压力传感装置1的一控制 电路(图未显示)需先提供一电压至第一传感元件12或第二传感元件14，使第一传感元件12或第二传感元件14具有一电位(可为接地电位或为非接地电位)，进而使第一传感元件12与第二传感元件14之间产生一初始电容值。

其中，第一传感元件12与第二传感元件14之间具有的电容值可为自电容(selfcapacitance)值或互电容(mutualcapacitance)值。在一实施态样中，第一传感元件12与第二传感元件14的其中之一可为图案化导电层，而第一传感元件12与第二传感元件14的其中另一可为整面的导电层(非图案化导电层)，使得第一传感元件12与第二传感元件14之间的电容值为自电容值。在另一实施态样中，第一传感元件12与第二传感元件14可分别为图案化导电层，且两者于俯视(垂直显示面aa的z轴)方向上为交错设置，使得第一传感元件12与第二传感元件14的电容值为互电容值。本实施例的第一传感元件12为图案化导电层，而第二传感元件14为整面的导电层(非图案化导电层)，使得第一传感元件12与第二传感元件14之间的电容值为自电容值。

在本实施例中，当显示面板11为液晶显示面板时，一显示介质层(图未显示)可夹置于第一基板111与第二基板112之间。于此，压力传感装置1更包括一薄膜晶体管(tft)阵列115，薄膜晶体管阵列115包含多个薄膜晶体管元件(图未显示)，该些薄膜晶体管元件分别为开关元件，并形成于第一基板111的第一表面s1上，并位于第一基板111与第二基板112之间，使得第一基板111与薄膜晶体管阵列115组成薄膜晶体管(tft)基板，而第二基板112加上彩色滤光阵列(图未显示)可组成一彩色滤光基板，且显示介质层为液晶层。另外，一背光模块(图未显示)可与显示面板11相对而设，使得第一传感元件12、可压缩层13与第二传感元件14可夹置于第一基板111与背光模块之间(以下以另一实施例来详细说明)。于此实施例中，第一传感元件12与第二传感元件14分别为透明导电材料，例如为铟锡氧化物(indium-tinoxide,ito)、铟锌氧化物(indium-zincoxide,izo)、铝锌氧化物(aluminum-zincoxide,azo)、镉锡氧化物(cto)、氧化锡(sno2)、镓锌氧化物(gzo)、铟锌锡氧化物(izto)或锌氧化物(zincoxide,zno)，并不限定。于此，薄膜晶体管元件形成于第一基板111的第一表面s1上，并不限制薄膜晶体管元件是直接或间接形成于第一基板111的第一表面s1上，薄膜晶体管元件与第一表面s1之间可具有其他膜层。在本实施例中，以光刻工艺将薄膜晶体管元件形成于第一表面s1。

在另一实施例中，若显示面板11为有机发光二极管显示面板时，则显示介质层为有机发光二极管层，第一基板111与薄膜晶体管阵列115组成薄膜晶体管基板。其中，若有机发光二极管层发出白光时，则第二基板112加上彩色滤光阵列可为一彩色滤光基板；或者，若有机发光二极管层发出例如红色、绿色、蓝色及白色光时，则第二基板112可为一保护基板(coverplate)，以保护有机发光二极管层不受外界水气或异物的污染。于此实施例中，第一传感元件12与第二传感元件14可为透明导电材料或不透光的金属层。

另外，可压缩层13为绝缘材料，并可包含光学胶(例如oca或loca)、光学透明树脂(例如ocr)、光学弹性树脂(例如svr)、硅胶，或包含一密封元件及一气体层(例如为空气)，且气体层位于密封元件所围设的空间内(图未显示)。其中，可压缩层13的厚度可介于50微米(μm)与1000微米(μm)之间，较佳是介于100微米(μm)与500微米(μm)之间，更佳是介于150微米(μm)与250微米(μm)之间。本实施例的可压缩层13是以光学胶为例，而其厚度例如为250微米(μm)。

因此，如图1b所示，当例如以手指按压压力传感装置1的显示面aa时，可压缩层13可因按压而产生形变，故第一传感元件12与第二传感元件14之间的电容值将由初始电容值改变成一按压电容值。压力传感装置1的控制电路可依据按压电容值与初始电容值的变化量(按压力量越大，电容值的变化量越大)判断显示面板11被按压的位置及按压力道大小，而且控制电路更可依据按压力道的大小产生对应的控制功能。例如当按压力量超过第一阀值且小于第二阀值时，其可为“选取”物件的功能；当按压力量超过第二阀值时，其可为“执行”物件的功能；…，以此类推；设计者可依据实际需求而设计不同的按压力道对应于不同的功能。此外，判断按压电容值与初始电容值的变化量(可称为压力传感信号)的控制电路可以独立成一集成电路(ic)，或整合于显示面板11的驱动ic内，本发明并不限制。

另外，请分别参照图2a及图2b所示，其中，图2a为本发明另一较佳实施例的压力传感装置2的示意图，而图2b为图2a的压力传感装置2被按压时的示意图。

压力传感装置2包括一显示面板21、一第一传感元件22、一可压缩层23以及一第二传感元件24。于此，显示面板21是以液晶显示面板为例，故压力传感装置2更包括一背光模块25。

显示面板21具有一显示面aa，并包含一第一基板211、一第二基板212及一显 示介质层lc。第一基板211与第二基板212相对而设，显示介质层lc(于此为液晶层)夹设于第一基板211与第二基板212之间。其中，第一基板211及第二基板212为透光材质制成，并例如为一玻璃基板、一石英基板或一塑胶基板，并不限定。

第一基板211具有邻近显示面aa的第一表面s1及与第一表面s1相对的第二表面s2。于此，第一表面s1为第一基板211的上表面，而第二表面s2为第一基板211的下表面，且第二基板212面向第一表面s1而与第一基板211相对而设。另外，压力传感装置2更包括一薄膜晶体管(tft)阵列215，薄膜晶体管阵列215包含多个薄膜晶体管元件(图未显示)，该些薄膜晶体管元件分别为开关元件，并设置于第一基板211的第一表面s1上，使得第一基板211与薄膜晶体管阵列215组成一薄膜晶体管基板，而第二基板212加上彩色滤光阵列(图未显示)可为一彩色滤光基板。不过，在其他的实施态样中，彩色滤光基板上的黑色矩阵(blackmatrix)及滤光层也可分别设置于薄第一基板211上，使得第一基板211成为一boa(bmonarray)基板，或成为一coa(colorfilteronarray)基板，并不限制。

本实施例的显示面板21更包含一第一偏光板213与一第二偏光板214)，第一偏光板213为下偏光板，而第二偏光板214为上偏光板。其中，第一偏光板213(下偏光板)设置于第一基板211远离第二基板212的一侧，且第二偏光板214(上偏光板)设置于第二基板212远离第一基板211的一侧。于此，第一偏光板213设置于第一传感元件22上，使得第一传感元件22夹置于第一偏光板213与第一基板211之间，而第二偏光板214则贴合于第二基板212的上侧表面。

第一传感元件22设置于第一基板211的第二表面s2上。于此，可在第一基板211的下表面形成第一传感元件22后再与显示介质层lc及第二基板212进行对组，或者先将第一基板211、显示介质层lc与第二基板212对组后，再于第一基板211的下表面形成第一传感元件22，并不限定。

第二传感元件24设置于可压缩层23而与第一传感元件22相对而设，且第二传感元件24与第一传感元件22分别位于第一基板211的同一侧(下侧)，并使得可压缩层23夹置于第一传感元件22与第二传感元件24之间。本实施例的可压缩层23是以光学胶为例。在未按压时，由于第一传感元件22与第二传感元件24之间夹置有可压缩层23，故第一传感元件22、可压缩层23与第二传感元件24可形成一电容而具有一电容值。于此，压力传感装置2的一控制电路(图未显示)需先提供一电压至 第一传感元件22或第二传感元件24，使第一传感元件22或第二传感元件24具有一电位(可为接地电位或具有非零电压的电位)，进而使第一传感元件22与第二传感元件24之间产生一初始电容值。

第一传感元件22与第二传感元件24之间具有的电容值可为自电容值或互电容值。在本实施例中，第一传感元件22为图案化导电层，而第二传感元件24为整面的导电层(非图案化导电层)，使得第一传感元件22与第二传感元件24之间的电容值为自电容值。在另一实施态样中，第一传感元件22与第二传感元件24可分别为图案化导电层，且两者可于俯视(垂直显示面aa的z轴)方向上为交错设置，使得第一传感元件22与第二传感元件24的电容值为互电容值。此外，本实施例的第一传感元件22与第二传感元件24分别为一透明导电膜为例。

背光模块25面向可压缩层23而与显示面板21的第一基板211相对设置，且可压缩层23设置于第一传感元件22与背光模块25之间。其中，背光模块25可发出光线入射至显示面板21，使显示面板21可显示影像。本实施例的背光模块25包含一导光板251、一反射板252、多个光学膜片(以253表示)及一背板254。背板254用以承载导光板251、反射板252及该些光学膜片253，并提供碰撞、电磁波或电击等保护。背板254的材质可以选用塑胶、金属或合金等，并不加以限制。反射板252与该些光学膜片253分别设置于导光板251的相对两侧。另外，本实施例是以三片光学膜片253为例，例如但不限于为集光片或扩散片。由于背光模块25为已知技术，熟知液晶显示装置的技术人员，当可了解其与显示面板21的相对设置关系及各元件的功能，本发明不再赘述。

此外，第二传感元件24可贴合于背光膜组25的光学膜片253上，或设置于背光模块25的该些光学膜片253之间。本实施例的第二传感元件24是以贴合于最接近可压缩膜23的光学膜片253上为例。在不同的实施例中，亦可将第二传感元件24形成于一透光基板上，再将透光基板贴合于光学膜片253上，本发明亦不限制。

因此，如图2b所示，当例如以手指按压压力传感装置2的显示面aa时，可压缩层23可因按压而产生形变，故第一传感元件22与第二传感元件24之间的电容值将由初始电容值改变成一按压电容值。压力传感装置2的控制电路可依据按压电容值与初始电容值的变化量(按压力量越大，电容值的变化量越大)判断显示面板21被按压的位置及按压力道大小，而且控制电路更可依据按压力道的大小产生对应的控制 功能。例如当按压力量超过第一阀值且小于第二阀值时，其可为“选取”物件的功能；当按压力量超过第二阀值时，其可为“执行”物件的功能；…，以此类推；设计者可依据实际需求而设计不同的按压力道对应于不同的功能。此外，判断按压电容值与初始电容值的变化量(可称为压力传感信号)的控制电路可以独立成一集成电路(ic)，或整合于显示面板21的驱动ic内，本发明并不限制。

特别一提的是，在不同的实施态样中，若反射板252包含可导电的金属膜，或背板254为可导电的金属或合金时，则可将会导电的反射板252或背板254当成第二传感元件24来使用，不需另外设置第二传感元件24。

请分别参照图3a至图3d所示，其分别为本发明不同实施态样的压力传感装置2a～2d的示意图。

如图3a所示，与图2a的压力传感装置2主要的不同在于，压力传感装置2a的可压缩层23包含一气体层231(例如为空气)及一密封元件232，密封元件232环设于偏光板213与背光模块25的外围，且气体层231位于密封元件232、显示面板21与第二传感元件24所围设的空间内。于此，密封元件232例如但不限于与密封液晶层的材料相同，并例如为框胶(sealant)、玻璃胶(frit)或其他有机或无机高分子材料。

另外，如图3b所示，与图2a的压力传感装置2主要的不同在于，压力传感装置2b更包括一触控电极层26。其中，触控电极层26的材料可为透明导电材料，例如为铟锡氧化物(ito)、铟锌氧化物(izo)、铝锌氧化物(azo)、镉锡氧化物(cto)、氧化锡(sno2)、镓锌氧化物(gzo)、铟锌锡氧化物(izto)或锌氧化物(zno)，并设置于第二基板212与偏光板214之间，使得压力传感装置2b为一内嵌式触控装置(于此为oncell)。不过，在不同的实施态样中，触控电极层26可设置于偏光板214与第二基板212之间，并不限制。

另外，如图3c所示，与图2a的压力传感装置2主要的不同在于，压力传感装置2c更包括一触控电极层26。其中，触控电极层26的材料可为透明导电材料，例如为铟锡氧化物(ito)、铟锌氧化物(izo)、铝锌氧化物(azo)、镉锡氧化物(cto)、氧化锡(sno2)、镓锌氧化物(gzo)、铟锌锡氧化物(izto)或锌氧化物(zno)，并设置于第一基板211与第二基板212之间。于此，触控电极层26是以设置于第一基板211的第二表面s2之上，并位于薄膜晶体管阵列215上为例，使得压力传感装 置2c为一内嵌式触控装置(于此为incell)。于此，触控电极层26可电性连接薄膜晶体管阵列215，亦可不电性连接薄膜晶体管阵列215，其会根据不同的触控结构而有所变化。

另外，如图3d所示，与图3b的压力传感装置2b主要的不同在于，压力传感装置2d更包括一保护基板27，保护基板27与第二基板212相对而设，且触控电极层26设置于保护基板27面向显示面板21的第二基板212的表面上，使得压力传感装置2b为一外挂单片式玻璃(oneglasssolution,ogs)触控装置。在不同的实施例中，亦可于压力传感装置2、2a、2b、2c之上设置保护基板27，以保护压力传感装置2、2a、2b、2c免于水气或异物的入侵。

此外，压力传感装置2a～2d的其他技术特征可参照压力传感装置2的相同元件，于此不再赘述。

因此，在压力传感装置2a～2d中，除了原本利用可压缩层13产生形变来检测z轴方向的压力传感信号之外，更可搭配触控电极层26的设置来实现3d的触控功能，从而增加产品于触控功能的运用性。

请参照图4并配合图2a、图3b至图3d所示，以说明本发明较佳实施例的一种压力传感装置的制造方法。其中，图4为本发明较佳实施例的一种压力传感装置的制造方法的流程步骤图。另外，压力传感装置2、2b～2d的技术特征及其变化态样已于上述中详述，不再赘述。

如图4所示，压力传感装置的制造方法可包括步骤s01至步骤s06。

首先，如图2a所示，步骤s01为：提供一第一基板211。接着，步骤s02为：形成一薄膜晶体管元件于第一基板211的一第一表面s1上。于此，形成薄膜晶体管阵列215于第一基板211的第一表面s1上，其中，薄膜晶体管阵列215包含多个薄膜晶体管元件。接着，进行步骤s03：提供一第二基板212，并与第一基板211相对而设，且薄膜晶体管元件位于第一基板211与第二基板212之间。另外，更使显示介质层lc夹置于第一基板211与第二基板212之间。接着，进行步骤s04：形成一第一传感元件22于第一基板211的第二表面s2，且第二表面s2与第一表面s1为彼此相对的表面。

在一实施例中，在提供第二基板212而与第一基板211相对而设的步骤s04之前，形成该第一传感元件22于第一基板211的第二表面s2。在另一实施例中，在形成第 一传感元件22于第二表面s2上的步骤s04之后，形成该第一传感元件22于第一基板211的第二表面s2。换言之，可于第一基板211与第二基板212进行对组之前或进行对组之后形成第一传感元件22于第一基板211的第二表面s2上，本发明并不限定。

之后，进行：提供第二传感元件24，并使第一传感元件22与第二传感元件24位于第一基板211的同一侧(步骤s05)、及提供可压缩层23，并使可压缩层23夹置于第一传感元件22与第二传感元件24之间(步骤s06)。不过，于使可压缩层23夹置于第一传感元件22与第二传感元件24之间的步骤s06之前，如图2a所示，制造方法更可包括：提供第一偏光板213及第二偏光板214、使第一传感元件22夹置于第一偏光板213与第一基板211之间、及使第二偏光板214设置于第二基板212远离第一基板211的一侧。

接着，制造方法更可包括以下步骤：提供一背光模块25，其中背光模块25包含一导光板251、一反射板252、至少一光学膜片253及一背板254，光学膜片253与反射板252分别设置于导光板251的两侧，背板254承载反射板252、导光板251及光学膜片、及使背光模块25与显示面板21的第一基板211相对而设，并使可压缩层23夹置于第一传感元件22与背光模块25之间。本实施例的第二传感元件24为透明导电膜，并设置于导光板251上，且第二传感元件24与导光板251之间具有至少一个光学膜片253。在不同的实施例中，第二传感元件24为透明导电膜，并可直接设置于导光板251上，而第二传感元件24上可具有至少一个光学膜片253。在不同的实施例中，可不设置第二传感元件24，而将会导电的反射板252或背板254当成第二传感元件24。

另外，在一实施例中，如图3b所示，制造方法更可包括一步骤：使触控电极层26夹置于第二基板212与第二偏光板214之间。另外，在另一实施例中，如图3c所示，制造方法更可包括一步骤：使触控电极层26夹置于第一基板211与第二基板212之间，且触控电极层26位于薄膜晶体管元件上。此外，在又一实施例中，如图3d所示，制造方法更可包括以下步骤：提供触控电极层26及保护基板27(保护玻璃)、将触控电极层26设置于保护基板27面向第二基板212的表面、及使具有触控电极层26的保护基板27与第二基板212相对而设。

此外，压力传感装置的制造方法的其他技术特征可参照上述压力传感装置2、2a～ 2d的说明，本发明不再赘述。

综上所述，于本发明的压力传感装置及其制造方法中，通过将薄膜晶体管元件设置于第一基板的第一表面，并将第一传感元件设置于第一基板的第二表面，且将第二传感元件与第一传感元件相对而设，而使第二传感元件与第一传感元件分别位于第一基板的同一侧，并使可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间，使得，当按压本发明的压力传感装置时，可压缩层将因按压而产生形变，故第一传感元件与第二传感元件之间的电容值将产生变化。藉此，使得压力传感装置可依据电容变化量判断被按压的位置及按压力道，同时可依据按压力道的大小来产生不同的控制功能。此外，本发明的压力传感装置亦可搭配已知的2d触控来实现3d触控功能，从而增加产品于触控功能上的运用性。

以上所述仅为举例性，而非为限制性者。任何未脱离本发明的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于权利要求范围中。