螺旋传感器及传感器组件的制作方法

技术特征：

1.一种螺旋传感器，其特征在于，包括矩阵排列在基板上的多个螺旋电极（10），多个所述螺旋电极（10）之间相绝缘；所述螺旋电极（10）由条形导电层（11）在所述基板表面上环绕形成，条形导电层（11）的一端端部位于螺旋电极（10）中心，另一端端部位于螺旋电极（10）外侧并向外延伸至所述螺旋传感器的侧面形成连接端（110）。

2.根据权利要求1所述的螺旋传感器，其特征在于，在所述螺旋电极（10）中，条形导电层（11）环绕形成自内向外依次连接的多个螺旋圈；自所述螺旋电极（10）的中心到外侧之间，相邻的螺旋圈之间留有第一间隙（21）。

3.根据权利要求2所述的螺旋传感器，其特征在于，每相邻的两个所述螺旋电极（10）之间留有第二间隙（22），使得相邻的两个所述螺旋电极（10）之间间隔相绝缘。

4.根据权利要求3所述的螺旋传感器，其特征在于，所述第二间隙（22）的宽度与所述第一间隙（21）的宽度相等。

5.根据权利要求1所述的螺旋传感器，其特征在于，所述螺旋电极（10）为多边形螺旋电极。

6.根据权利要求5所述的螺旋传感器，其特征在于，所述螺旋电极（10）为矩形螺旋电极。

7.根据权利要求1所述的螺旋传感器，其特征在于，多个所述螺旋电极（10）的连接端（110）位于所述螺旋传感器的不同侧面。

8.根据权利要求1-7任一项所述的螺旋传感器，其特征在于，所述螺旋传感器包括至少四个所述螺旋电极（10）。

9.一种传感器组件，其特征在于，包括电路板以及权利要求1-8任一项所述的螺旋传感器，所述螺旋传感器设置在所述电路板的基板上，并且与所述电路板的IC芯片电连接。

10.根据权利要求9所述的传感器组件，其特征在于，所述螺旋传感器中，各个螺旋电极（10）的连接端（110）通过导电胶与IC芯片连接。