一种IGBT元胞结构版图的制作方法

文档序号:18436443发布日期:2019-08-16 21:36阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种IGBT元胞结构版图,包括结构底板,所述结构底板正表面的外圈环向布设有终端区,所述结构底板的正表面且位于终端区的内圈布设有元胞区,所述元胞区上布设有源极压焊点和栅极压焊点,所述栅极压焊点上镶嵌有多晶硅,所述源极压焊点和栅极压焊点均在元胞区上呈环形阵列分布。本实用新型通过设置栅极压焊点和源极压焊点的配合使用,使栅极压焊点和源极压焊点与元胞区之间的位置相对固定,这样结构版图的使用更加准确,解决了结构版图在使用时,因栅极压焊点和源极压焊点与元胞区之间的位置存在差别,造成元器件的开关时间不一,从而导致结构版图出现使用不准确的问题,大大提高了结构版图的准确性。

技术研发人员:阳平
受保护的技术使用者:上海擎茂微电子科技有限公司
技术研发日:2019.03.13
技术公布日:2019.08.16

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