触摸面板及其制造方法_2

文档序号:8430374阅读:来源:国知局
2b和漏区122c。半导体层122可由多晶硅形成,源区122b和漏区122c可被掺杂有杂质。另选地,半导体层122可由氧化物半导体形成,在这种情况下,源区122b和漏区122c不包括杂质。
[0044]在半导体层122上形成栅绝缘层130。栅绝缘层130可由诸如二氧化硅(S12)或氮化硅(SiNx)的无机绝缘材料形成。如图2中所示,栅绝缘层130可形成在第一基板110的基本整个表面上。另选地,栅绝缘层130可被图案化,以具有对应于有源区122a的形状。
[0045]在栅绝缘层130上对应于有源区122a形成栅极132。
[0046]在第一基板110上方的栅极132上形成层间绝缘层140。层间绝缘层140包括与栅绝缘层130 —起分别暴露源区122b和漏区122c的第一半导体接触孔140a和第二半导体接触孔140b。另一方面,当栅绝缘层130被图案化以具有对应于有源区122a的形状时,第一半导体接触孔140a和第二半导体接触孔140b只形成在层间绝缘层140中。层间绝缘层140可由诸如二氧化硅(S12)或氮化硅(SiNx)的无机绝缘材料或诸如苯并环丁烯或感光亚克力的有机绝缘材料形成。
[0047]在层间绝缘层140上形成源极142和漏极144。源极142和漏极144分别通过第一半导体接触孔140a和第二半导体接触孔140b接触源区122b和漏区122c。
[0048]此外,在非显示区A2中,能在层间绝缘层140上形成显示焊盘148。显示焊盘148由与源极142和漏极144相同的材料形成。
[0049]在源极142和漏极144上顺序地形成第一钝化层150和第二钝化层160。第一钝化层150和第二钝化层160可只设置在显示区Al中。第二钝化层160可具有平坦表面。第一钝化层150和第二钝化层160具有暴露漏极144的漏接触孔160a。第一钝化层150可由诸如二氧化硅(S12)或氮化硅(SiNx)的无机绝缘层形成,第二钝化层160可由诸如苯并环丁烯(BCB)或感光亚克力的有机绝缘材料形成。
[0050]在第二钝化层160上形成第一电极172。第一电极172通过漏接触孔160a接触漏极144。第一电极172可由具有相对高的功函数的导电材料形成,例如,第一电极172可由诸如氧化铟锡或氧化铟锌的透明导电材料形成。
[0051]在第一电极172上形成堤状物层(bank layer) 174。堤状物层174由绝缘材料形成。堤状物层174覆盖第一电极172的边缘并且暴露第一电极172的中心部分。
[0052]在被堤状物层174暴露的第一电极172上形成有机发光层176。有机发光层176可具有多层结构,其中空穴传输层、发光材料层和电子传输层顺序地形成在第一电极172上。有机发光层176还可包括空穴传输层下的空穴注入层和电子传输层上的电子注入层。
[0053]在显示区Al上方的有机发光层176上形成第二电极178。这里,第二电极178可由具有相对低的功函数的导电材料形成,例如,可由金属材料形成。
[0054]而且,为了提高光效率,可在第二电极178上形成具有相对高的折射率的有机/无机材料的覆盖层。
[0055]第一电极172、有机发光层176和第二电极178形成有机发光二极管De。第一电极172可充当阳极,第二电极178可用作阴极。这里,触摸显示装置的显示面板100可以是顶部发射型有机发光二极管显示装置,其中,从有机发光层发射的光通过第二电极178输出到外部。也就是说,反射层可形成在第一电极172下方,第二电极178可具有相对薄的厚度,使得光经过第二电极178并且输出到外部。
[0056]在第二电极178上形成密封层180。密封层180可形成在显示区Al中并且通过防止湿气或氧气从外部渗透来保护显示区Al中的元件。密封层180可包括无机层/有机层/无机层的结构。
[0057]粘合剂层200设置在密封层180上。粘合剂层200可由液相粘合剂或压敏粘合剂形成。例如,粘合剂层200可包括热固性粘合剂。
[0058]触摸面板300设置在粘合剂层200上。触摸面板300包括第二基板310。第二基板310可由玻璃、诸如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)的塑料、或聚酰亚胺形成。
[0059]在显示区Al中,在第二基板310的面对粘合剂层200的第一表面上形成多条第一线320和多条第二线340。多条第一线320沿着第一方向延伸并且多条第二线340沿着与第一方向交叉的第二方向延伸。第一线320和第二线340形成互电容器。
[0060]第一线320可被称为驱动线或被驱动线,第二线340可被称为感测线或接收线。[0061 ] 在第二基板310的第一表面上方在第一线320和第二线340上形成保护层350,保护层350覆盖第一线320和第二线340。保护层350接触粘合剂层200。在显示区Al中设置保护层350。保护层350可由诸如二氧化硅(S12)或氮化硅(SiNx)的无机绝缘材料或诸如苯并环丁烯(BCB)或感光亚克力的有机绝缘材料形成。
[0062]此外,在非显示区A2中,在第二基板310的第一表面上形成触摸焊盘316,触摸焊盘316对应于显示焊盘148。触摸焊盘316电连接到第一线320或第二线340。另外,触摸焊盘316通过连接装置500电连接到显示焊盘148。连接装置500可以是各向异性导电膜。
[0063]偏振器400设置在触摸面板300的第二基板310的第二表面上。偏振器400可以是透射圆形偏振光的圆形偏振器并且可包括线性偏振器和四分之一波片。
[0064]而且,可用光学透明的粘合剂将覆盖基板附接到偏振器400。覆盖基板可由塑料形成。
[0065]在本发明的触摸显示装置中,触摸面板的第一线320和第二线340能具有双层结构并且形成彼此并联连接的互电容器。因此,用于感测触摸的互电容器的互电容可增大,由于第二电极178导致的寄生电容的影响可降至最低。因此,可使触摸性能相对于信号噪声而目是强的。
[0066]下文中,将参照附图详细描述根据本发明的实施方式的触摸面板。
[0067]图3是示意性示出根据本发明的实施方式的触摸面板的平面图。图4A是示意性示出根据本发明的实施方式的触摸面板的第一电极层的平面图,图4B是示意性示出根据本发明的实施方式的触摸面板的第二电极层的平面图。
[0068]在图3中,触摸面板包括基板310,在基板310上限定显示区Al和非显示区A2。在显示区Al中显示图像,显示区Al被非显示区A2包围。
[0069]在显示区Al中分别沿着第一方向和第二方向形成多条驱动线320和多条感测线340。
[0070]各驱动线320包括多个第一驱动电极322、多个第二驱动电极324和多个第一连接图案328。多个第一驱动电极322和多个第二驱动电极324彼此重叠使绝缘层插入其间并且分别通过第一接触孔330a彼此接触。多个第一连接图案328与多个第一驱动电极322形成在同一层上并且沿着第一方向连接相邻的第一驱动电极322。第一驱动电极322和第一连接图案328可形成为一个统一体。
[0071 ] 各感测线340包括多个第一感测电极342、多个第二感测电极344和多个第二连接图案348。多个第一感测电极342和多个第二感测电极344彼此重叠使绝缘层插入其间并且分别通过第二接触孔330b彼此接触。多个第二连接图案348与多个第二感测电极344形成在同一层上,沿着第二方向连接相邻的第二感测电极344,并且与多个第一连接图案328交叉。第二感测电极344和第二连接图案348可形成为一个统一体。
[0072]这里,第一驱动电极322、第一连接图案328和第一感测电极342可形成在同一层上,第二驱动电极324、第二感测电极344和第二连接图案348可形成在同一层上。
[0073]因此,如图4A中所示,在触摸面板的第一电极层中,第一驱动电极322和第一连接图案328彼此连接,沿着第一方向形成为一个统一体并且沿着第二方向彼此分隔开。第一感测电极342沿着第二方向设置在相邻的第一连接图案328之间。
[0074]另外,如图4B中所示,在触摸面板的第二电极层中,第二感测电极344和第二连接图案348彼此连接,沿着第二方向形成为一个统一体并且沿着第一方向彼此分隔开。第二驱动电极324沿着第一方向设置在相邻的第二连接图案348之间。
[0075]在本发明的实施方式中,图4B的第二电极层形成在图4A的第一电极层上方。另选地,图4A的第一电极层可形成在图4B的第二电极层上方。
[0076]第一驱动电极322和第二驱动电极324可具有相同的形状和大小并且完全彼此重叠,第一感测
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