触摸面板及其制造方法_3

文档序号:8430374阅读:来源:国知局
电极342和第二感测电极344可具有相同的形状和大小并且完全彼此重叠。为了方便图示,第一驱动电极322和第二驱动电极324及第一感测电极342和第二感测电极344被示出为彼此错位。
[0077]另选地,第一驱动电极322和第二驱动电极324可具有不同的大小,第一感测电极342和第二感测电极344可具有不同的大小。例如,第一驱动电极322和第二感测电极344的大小可大于第二驱动电极324和第一感测电极342。
[0078]这里,第一驱动电极322和第二驱动电极324及第一感测电极342和第二感测电极344可具有大体菱形或斜方形的形状。另选地,第一驱动电极322和第二驱动电极324及第一感测电极342和第二感测电极344可具有其它形状。另外,最靠外的第一驱动电极322和第二驱动电极324及最靠外的第一感测电极342和第二感测电极344可具有三角形形状,可省略最靠外的第一驱动电极322和第二驱动电极324及最靠外的第一感测电极342和第二感测电极344。
[0079]参照图3,在非显示区A2中形成多条第一走线(routing lines) 312、多条第二走线314和多个触摸焊盘316。多条第一走线312沿着第一方向连接到驱动线320,多条第二走线314沿着第二方向连接到感测线340。多个触摸焊盘316连接到第一走线312和第二走线314。
[0080]在本发明的触摸面板中,驱动线320和感测线340形成互电容器。驱动线320从触摸驱动单元接收触摸驱动电压,感测线340将触摸感测电压提供到触摸驱动单元。当用户执行触摸时,互电容器的互电容改变,触摸感测电压变化。触摸驱动单元分析触摸感测电压并且检测触摸点。
[0081]在本发明中,由于驱动线320和感测线340具有双层结构并且形成并联连接的互电容器,因此用于感测触摸的互电容增大。因此,寄生电容的影响可相对降至最低,相对于信号噪声而言,触摸性能可以是强的。
[0082]此外,第一驱动电极322和第二驱动电极324及第一感测电极342和第二感测电极344直接彼此连接,在显示区Al中没有诸如金属材料的不透明导电材料。因此,可视性提闻。
[0083]将参照附图详细描述本发明的触摸面板的横断面结构。
[0084]图5是放大图3的B区域的平面图。图6A是沿着图5的VIA-VIA线截取的横断面图,图6B是沿着图5的VIB-VIB线截取的横断面图。
[0085]在图5、图6A和图6B中,在基板310上形成第一走线312和第二走线314。第一走线312和第二走线314可由诸如金属材料的导电材料形成。在基板310上也可形成连接到第一走线312和第二走线314的触摸焊盘。
[0086]可进一步在基板310与第一走线312和第二走线314之间形成绝缘层。绝缘层可由诸如氮化娃(SiNx)的无机绝缘材料形成。
[0087]在包括第一走线312和第二走线314的基板310上,形成第一驱动电极322、第一连接图案328和第一感测电极342。第一驱动电极322、第一连接图案328和第一感测电极342可由透明导电材料形成。第一驱动电极322和第一连接图案328可形成为一个统一体,第一连接图案328中的每个设置在相邻的第一感测电极342之间。
[0088]这里,最靠外的第一驱动电极322接触第一走线312,最靠外的第一感测电极342接触第二走线314。
[0089]此外,可进一步在第一走线312和第一驱动电极322之间以及第二走线314和第一感测电极342之间形成诸如二氧化硅(S12)或氮化硅(SiNx)的无机绝缘材料的绝缘层。而且,绝缘层包括分别暴露第一走线312和第二走线314的接触孔,第一驱动电极322和第一感测电极342分别通过接触孔连接到第一走线312和第二走线314。
[0090]在第一驱动电极322、第一连接图案328和第一感测电极342上形成绝缘材料的第一绝缘层330。第一绝缘层330包括暴露第一驱动电极322的第一接触孔330a和暴露第一感测电极342的第二接触孔330b。
[0091]在第一绝缘层330上可形成透明导电材料的第二驱动电极324、第二感测电极344和第二连接图案348。第二感测电极344和第二连接图案348形成为一个统一体,第二连接图案348中的每个设置在相邻的第二驱动电极324之间。
[0092]第二驱动电极324通过第一接触孔330a接触第一驱动电极322,第二感测电极344通过第二接触孔330b接触第一感测电极342。
[0093]因此,第一驱动电极322、第一连接图案328和第二驱动电极324形成驱动线320,第一感测电极342、第二感测电极344和第二连接图案348形成感测线340。
[0094]在第二驱动电极324、第二感测电极344和第二连接图案348上形成第二绝缘层350,第二绝缘层350保护其下方的层。
[0095]将参照附图描述根据本发明的实施方式的制造触摸面板的方法。
[0096]图7A至图7D是示意性示出根据本发明的实施方式的制造触摸面板的方法的各个步骤中的触摸面板的平面图。图8A至图8D和图9A至图9D是示意性示出根据本发明的实施方式的制造触摸面板的方法的各个步骤中的触摸面板的横断面图。图8A至图8D对应于图5的VIA-VIA线,图9A至图9D对应于图5的VIB-VIB线。
[0097]在图7A、图8A和图9A中,在基板310的基本整个表面上沉积导电材料,其中,限定并且图案化显示区Al和非显示区A2,从而在非显示区A2中形成第一走线312、第二走线314和触摸焊盘316。
[0098]这里,基板310可由玻璃、诸如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)的塑料、或聚酰亚胺形成。第一走线312、第二走线314和触摸焊盘316可由诸如铝(Al)、.(Mo)、钛(Ti)或其合金的一种或多种金属材料形成并且可具有单层或多层结构。
[0099]第一走线312和第二走线314的第一端延伸到显示区Al中,第一走线312和第二走线314的第二端连接到触摸焊盘316。
[0100]接下来,在图7B、图8B和图9B中,在包括第一走线312、第二走线314和触摸焊盘316的基板310的基本整个表面上沉积透明导电材料,然后进行图案化,从而在显示区Al中形成第一驱动电极322、第一连接图案328和第一感测电极342。
[0101]第一连接图案328中的每个沿着第一方向连接相邻的第一驱动电极322,第一感测电极342中的每个沿着第二方向形成在相邻的第一连接图案328之间。
[0102]第一驱动电极322和第一感测电极342具有大体菱形或斜方形的形状。另选地,第一驱动电极322和第一感测电极342可具有诸如正方形、矩形或多边形形状的其它形状。
[0103]这里,最靠外的第一驱动电极322部分重叠并且接触第一走线312,最靠外的第一感测电极342部分重叠并且接触第二走线314。
[0104]第一驱动电极322、第一连接图案328和第一感测电极342可由诸如氧化铟锡或氧化铟锌的透明导电材料形成。
[0105]接下来,在图7C、图8C和图9C中,通过在第一驱动电极322、第一连接图案328和第一感测电极342上沉积绝缘材料,在基板310上方形成第一绝缘层330。然后,将第一绝缘层330图案化,从而形成第一接触孔330a和第二接触孔330b。第一接触孔330a暴露第一驱动电极322,第二接触孔330b暴露第一感测电极342。
[0106]这里,第一绝缘层330可由诸如二氧化硅(S12)或氮化硅(SiNx)的无机绝缘材料形成。
[0107]在图7D、图8D和图9D中,在基板310上方的第一绝缘层330上形成透明导电材料,然后进行图案化,从而在显示区Al中形成第二驱动电极324、第二感测电极344和第二连接图案348。
[0108]第二驱动电极324分别重叠第一驱动电极322,第二感测电极344分别重叠第一感测电极342。第二连接图案分别与第一连接图案交叉。
[0109]第二连接图案348中的每个沿着第二方向连接相邻的第二感测电极344并且与相邻的第二感测电极344形成一个统一体。第二驱动电极324中的每个沿着第一方向设置在相邻的第二连接图案348之间。
[0110]第二驱动电极324和第二感测电极344具有大体菱形或斜方形的形状。另选地,第二驱动电极324和第二感测电极344可具有诸如正方形、矩形或多边形形状的其它形状。
[0111]第二驱动电极324、第二感测电极344和第二连接图案348可由诸如氧化铟锡或氧化铟锌的透明导电材料形成。
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