一种声表面波射频识别标签的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型主要涉及一种电子标签，更具体地说涉及一种声表面波射频识别标签。
【背景技术】
[0002]RFID俗称电子标签，是一种非接触式的自动是识别技术，它通过射频信号自动识别目标对象，并获取相关数据。射频识别卡可分为无源卡和有源卡两种，无源卡的特点是工作距离相对较短，但寿命长，对环境要求不高，有源卡的特点是体积较大、作用距离远，但成本较高，寿命有限，且对环境较为敏感。SAW(声表面波)标签是基于声表面波技术的射频识别标签，与传统的IC标签相比，具有多方面的独特优势。声表面波器件的工作频率f是由材料的声表面波传播速度V和波长决定的。由于所采用的材料及光刻工艺的限制，目前的声表面波器件，其工作频率很难达到GHz。金刚石具有非常高的声表面波传播速度，以此作为衬底在现有的工艺条件下能制备出GHz的SAW器件。
【发明内容】
[0003]本实用新型主要解决的技术问题是提供一种声表面波射频识别标签，可用于识别射频信号，且工作频率可达GHz级别。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型涉及一种电子标签，更具体地说涉及一种声表面波射频识别标签，包括天线、差指换能器、反射栅和压电衬底，可用于识别射频信号，且工作频率可达GHz级别。
[0005]天线I由接收端和发射端组成。
[0006]压电衬底由薄膜1、薄膜II和衬底组成。薄膜II位于薄膜I和衬底之间，薄膜I位于薄膜II的上方，衬底位于薄膜II的下方。
[0007]天线连接在差指换能器上，接收端和发射端分别连接在差指换能器的两侧。差指换能器和反射栅都固定在薄膜I上，反射栅位于差指换能器的后方。
[0008]作为本方案的进一步优化，本实用新型一种声表面波射频识别标签所述的天线为金属偶极子天线，其材质为铜或铁。
[0009]作为本方案的进一步优化，本实用新型一种声表面波射频识别标签所述的薄膜I为金刚石薄膜。
[0010]作为本方案的进一步优化，本实用新型一种声表面波射频识别标签所述的薄膜II为氧化锌压电薄膜。
[0011]作为本方案的进一步优化，本实用新型一种声表面波射频识别标签所述的衬底的材质为娃。
[0012]本实用新型的优点是:可用于识别射频信号，且工作频率可达GHz级别。
【附图说明】
[0013]下面结合附图和具体实施方法对本实用新型一种声表面波射频识别标签作进一步详细的说明。
[0014]图1为本实用新型一种声表面波射频识别标签的结构示意图。
[0015]图2为本实用新型一种声表面波射频识别标签的衬底4的结构示意图。
[0016]图中:天线I;接收端1-1 ;发射端1-2 ;差指换能器2 ;反射栅3 ;压电衬底4 ;薄膜I 4-1 r薄膜 II 4-2 ;衬底 4-3。
【具体实施方式】
[0017]【具体实施方式】一:
[0018]下面结合图1、2说明本实施方式，本实用新型涉及一种电子标签，更具体地说涉及一种声表面波射频识别标签，包括天线1、差指换能器2、反射栅3和压电衬底4，可用于识别射频信号，且工作频率可达GHz级别。
[0019]天线I由接收端1-1和发射端1-2组成。接收端1-1用于接收射频信号。发射端1-2用于发射射频信号。
[0020]压电衬底4由薄膜I 4-1、薄膜II 4-2和衬底4-3组成。薄膜II 4-2位于薄膜I 4-1和衬底4-3之间，薄膜I 4-1位于薄膜II 4-2的上方，衬底4-3位于薄膜II 4-2的下方。薄膜I 4-1用来传播声表面波。薄膜II 4-2用作压电材料。衬底4-3上用于支撑薄膜II 4-2。
[0021]天线I连接在差指换能器2上，接收端1-1和发射端1-2分别连接在差指换能器2的两侧。差指换能器2和反射栅3都固定在薄膜I 4-1上，反射栅3位于差指换能器2的后方。天线I用于接收和发送射频信号。接收信号时，差指换能器2用于将射频信号转化为声表面波，发射射频信号时，差值换能器2用于将声表面波转化为射频信号。反射栅3用于将声表面波反射回差指换能器2。接收信号时，衬底4用于将压力信号转化为电信号，发送信号时，衬底4用于将电信号转化为压力信号，并用于传播声表面波。
[0022]射频信号通过接收端1-1引导到叉指换能器2，叉指换能器2通过薄膜II 4-2的压电效应产生声表面波激励脉冲，声表面波激励脉冲通过薄膜I 4-1进行传送。声表面波传递到反射栅3并通过反射栅3反射，产生已经调制了 ID编号的脉冲信号，已经调制的脉冲传送回叉指换能器2，叉指换能2通过薄膜II 4-2的逆压电效应产生无线脉冲信号，无线脉冲信号经由发射端1-2发出。
[0023]【具体实施方式】二:
[0024]下面结合图1、2说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的天线I为金属偶极子天线，其材质为铜或铁，天线I可以被弯折和延伸，这样可以调节射频信号的接收与发射范围。
[0025]【具体实施方式】二:
[0026]下面结合图1、2说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的薄膜I 4-1为金刚石薄膜。金刚石薄膜的声表面波传输速率高，使得信号的传输速度快，信号的中心频率高。
[0027]【具体实施方式】三:
[0028]下面结合图1、2说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的薄膜II 4-2为氧化锌压电薄膜。氧化锌压电薄膜与金刚石薄膜相配合，声表面波速度可达11600m/s，高速传播的声表面波保证了 GHz级别的高频信号的顺利传输。
[0029]【具体实施方式】四:
[0030]下面结合图1、2说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的衬底4-3的材质为硅。氧化锌压电薄膜在硅上生长，使得氧化锌压电薄膜的粗糙度小，均匀性高，从而降低氧化锌压电薄膜上的信号衍射峰强度，保证GHz级别的高频信号传输的传输精度。
[0031]上述说明并非对本实用新型的限制，本实用新型也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种声表面波射频识别标签，包括天线(I)、差指换能器(2)、反射栅(3)和压电衬底(4)，其特征在于:天线(I)由接收端(1-1)和发射端(1-2)组成; 压电衬底(4)由薄膜I (4-1)、薄膜II (4-2)和衬底(4-3)组成r薄膜II (4-2)位于薄膜I (4-1)和衬底(4-3)之间，薄膜I (4-1)位于薄膜II (4-2)的上方，衬底(4-3)位于薄膜II (4-2)的下方； 天线(I)连接在差指换能器(2)上，接收端(1-1)和发射端(1-2)分别连接在差指换能器(2)的两侧；差指换能器(2)和反射栅(3)都固定在薄膜I (4-1)上，反射栅(3)位于差指换能器(2)的后方。2.根据权利要求1所述的一种声表面波射频识别标签，其特征在于:所述天线(I)为金属偶极子天线，其材质为铜或铁。3.根据权利要求1所述的一种声表面波射频识别标签，其特征在于:所述薄膜I(4-1)为金刚石薄膜。4.根据权利要求1所述的一种声表面波射频识别标签，其特征在于:所述薄膜II(4-2)为氧化锌压电薄膜。5.根据权利要求1所述的一种声表面波射频识别标签，其特征在于:所述衬底(4-3)的材质为娃。
【专利摘要】本实用新型涉及一种电子标签，更具体地说涉及一种声表面波射频识别标签，包括天线、差指换能器、反射栅和压电衬底，可用于识别射频信号，且工作频率可达GHz级别。天线1由接收端和发射端组成。压电衬底由薄膜Ⅰ、薄膜Ⅱ和衬底组成。薄膜Ⅱ位于薄膜Ⅰ和衬底之间，薄膜Ⅰ位于薄膜Ⅱ的上方，衬底位于薄膜Ⅱ的下方。天线连接在差指换能器上，接收端和发射端分别连接在差指换能器的两侧。差指换能器和反射栅都固定在薄膜Ⅰ上，反射栅位于差指换能器的后方。
【IPC分类】B32B9/04, B32B15/04, G06K19/077
【公开号】CN204667444
【申请号】CN201520395470
【发明人】叶然芬
【申请人】衢州立诺电子科技有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年6月9日