专利名称：减压槽的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种减压槽，它是在减压状态下、将机械零件、电子零件等被清洗物进行减压蒸汽清洗、或者进行减压干燥、或者将清洗液减压蒸馏再生、或者对那些被表面处理的构件施加各种减压表面处理等场合使用的。
背景技术：
以前，在用清洗液将机械零件、电子零件等被清洗物进行浸渍清洗、或者用清洗液进行蒸汽清洗、或者进行干燥、或者将清洗液蒸馏再生、或者对那些被表面处理构件施加表面处理等场合，也有在减压槽内、在减压状态下进行的。这种在减压状态下进行的作业、一般都在减压度比300mmHg高的情况下进行的。而且、为了得到能耐这样减压度的减压槽，已有如日本专利公报特开昭48-100713号、日本专利公报特开昭59-80000号记载的发明和日本专利公报特开昭62-68538号记载的发明。这些减压槽都是用焊接等工艺、将不锈钢板等板材形成的气密槽和耐压力性的支持骨架制成不能分离的一体，都是能由这个耐压力性的支持骨架得到优良的耐压力性的减压槽。
但是，由于这些以前的减压槽都是用焊接等工艺将板材和支持骨架不能分离地形成一体，因而重量较重，移动和搬运都较困难。又因为固定地安装着支持骨架，所以减压槽的内部有较多凹凸部分、容易附着污垢。因此，必需进行频繁的清扫和维护保养，但又因支持骨架妨碍作业的进行，所以作业不易进行，而且，加工质量也较差。而且，由于以前的减压槽都是将支持骨架和板材制造成一体的，因而作业较复杂、需要较多的工时、这样使减压槽的成本增高，减压槽的价格就较昂贵。
本发明是为了解决上述现有技术存在的问题而研制的，其目的是要提供一种不必使用高价的设备和技术就能廉价地形成耐压力性优良的减压槽。而且，通过把提高减压槽的耐压力性的支持骨架形成能分离的，能使清扫和维护保养作业容易进行。将其安装到现有的耐压力性较低的气密槽上，就能形成对高减压度有耐久性的减压槽，能制成廉价的制品。当然，气密槽和支持骨架也可同时做成新的。
发明的公开为了解决上述课题，本发明的减压槽是由保持气密性的气密槽和耐压力性的支持骨架构成，上述支持骨架安装在上述气密槽的内部，减压时能与气密槽的内表面相接触并支持气密槽，而且能与气密槽分离。
而且，减压槽是可用于被清洗物的减压蒸气清洗的。
上述减压槽是可用于被清洗物的减压干燥的。
上述减压槽是可用于清洗液的减压蒸馏再生的。
上述减压槽是可用于将溶解在液体中的气体成分从液体中除去、由此制造脱气的超声波清洗液的。
上述减压槽是可用于被表面处理构件的减压表面处理的。
而且，上述支持骨架是做成不能分割的。
上述支持骨架是做成能分割成多个、能根据气密槽的容积而变更大小的。
本发明因为具有如上所述的结构，所以将支持骨架安装到气密槽内部而形成减压槽。这种安装是装成使支持骨架与气密槽的内表面相接触的。虽然气密槽在单独的状态下对高减压度的耐久性较差，但通过将金属材料等框架材料纵横连接地形成支持骨架就能形成耐压力性优良的结构。
而且，本发明是将真空泵与减压槽相连接、对减压槽内进行减压，能形成约比300mmHg还高的减压度。由这减压作用使耐压力性低的气密槽向内变形，但由于将对高的减压度具有充分强度的支持骨架与气密槽的内表面相接触地安装着，因而这个支持骨架从气密槽的内侧坚固地加以支持，使气密槽不会因减压而变形，能顺利地减压到所需要的减压度。通过这样地安装支持骨架，就能将气密槽作为对高减压度具有充分强度的减压槽而加以使用。
在这减压状态下的减压槽内，可有效地进行机械零件、电子零件等被清洗物的减压蒸汽清洗、减压干燥、清洗液的减压蒸馏再生、减压电镀、减压蚀刻、减压涂复等减压表面处理、及其它减压处理作业。
由于分开地形成支持骨架和气密槽，因而制造容易、而且能在另一条生产线上同时分别地制造，因此能缩短制造时间、使效率提高，能制造廉价的产品。在减压状态下进行各种处理时，使支持骨架安装在气密槽里，可作为减压槽加以使用；在常压状态下进行处理时，可不安装支持骨架而作为气密槽加以使用，因此可根据使用目的而区别地使用减压槽。
以前的将气密槽和支持骨架不能分割地形成一体的减压槽，在搬运减压槽和设置场所需要移动时，由于其重量较重，因而作业性较差。而且减压槽内部的清扫和维护保养作业也不能良好地进行。但是，由于本发明的减压槽是将支持骨架能与气密槽分离地形成，因而通过分别地搬运或移动支持骨架和气密槽，就能减轻重量，使作业效率提高。在进行清扫作业和维护保养时，将气密槽和支持骨架分离，就能在有效地进行上述作业的同时保持良好的加工质量。
由于安装着支持骨架、其具有优良的耐压力性，因而没必要坚固地形成气密槽，用没有配备高价的制造装置的一般制罐、板金工厂的工作机械就能容易地形成。而且制造成本低、可大量生产、能廉价地形成减压槽。由于支持骨架和气密槽是分离的，因而即使不制造新的气密槽，只制造支持骨架，也能安装到具有气密性的现有耐压力性低的槽里，由此能廉价地制得耐压力性优良的减压槽。
若减压槽是用于被清洗物的减压蒸汽清洗的，则能在减压状态下良好地进行机械零件、电子零件等被清洗物的蒸汽清洗。由于在进行蒸汽清洗作业时，从被清洗物洗下的污物容易附着、堆积在减压槽内，因而必需频繁地清扫，本发明的减压槽中，由于将支持骨架和清洗槽分离，能分开地进行作业，因而能在有效地进行清扫作业的同时保持良好的加工质量。
减压槽也可以是用于被清洗物的减压干燥的，其能在减压状态下、迅速地进行机械零件、电子零件等被清洗物的干燥。这种减压干燥用的减压槽不仅能作工业用，而且也可做成对衣服类进行机械真空干燥的。也可用于粉末体、砂、谷物等的真空干燥、可用于冷冻食品的制造等。
减压槽也可以是用于清洗被清洗物的清洗液减压蒸馏再生的，能在减压状态下迅速地蒸馏再生溶剂和水等的清洗液。例如，用于半导体、液晶、激光等制造工序；用于纯水的精制；用于使用过的纯水的减压蒸馏再生。还可利用这种减压槽进行真空蒸馏浓缩处理。
减压槽也可以是用于制造脱气超声波清洗液，它是从清洗液等液体中将溶解的气体成分除去、用于进行被清洗物的超声波清洗的。例如、由于将充填着清洗液的减压槽内减压、发生超声波时，使溶解在清洗液中的气体成分放出到外部，因而就将那些使超声波振动衰减的气体成分从清冼液中除去。用这样除去了气体成分的清洗液，将超声波不衰减地确实传递到被清洗物，就能良好地进行超声波清洗。这种除去了气体成分的液体还适用于那些容易被氧化生锈的铁制品的清洗。通过从消毒药液或药用肥皂液中除去气体成分，能良好地防止这些液体中的细菌繁殖。
减压槽还可以是减压表面处理槽，即在被表面处理构件上进行减压电镀处理、减压蚀刻处理、减压涂复处理等各种减压表面处理的槽。而且能廉价地制得可在减压状态下有效地进行处理的减压表面处理槽。
若气密槽内部是能密闭的、在装有支持骨架时具有能耐约300mmHg以上减压的强度，则其可用树脂、金属、玻璃、陶瓷等材料形成。因此可在不具备高价制造装置的一般制罐、板金工厂容易地形成，而且能节省制造成本、工时，能制得廉价的制品。
由于当气密槽和支持骨架之间产生大的间隔时，有使气密槽变形而破坏的问题，因而支持骨架做成与所装的气密槽内表面紧密贴近或接近的尺寸。而且，如果装有支持骨架的气密槽的尺寸是一定的，则支持骨架可根据气密槽的容积做成不能分割的，可将支持骨架本身的大小做成不能变更的。
若不能分割的支持骨架是将框架材料相互不能分解地焊接而成，则能得到有非常优良的耐压力性的支持骨架。若支持骨架是将框架材料用嵌合或螺钉紧固在一起而形成，则通过解除嵌合或卸下螺钉，能再次将其分解成框架材料。在这样形成时，使用减压槽时需将框架材料连接而形成支持骨架，在不使用时或搬运时，可解除上述的连接而紧凑地收容支持骨架。
如上所述的不能分割的支持骨架只能用在与其尺寸相对应的气密槽上。因此在使用容积不同的多个气密槽时，必需形成与每个气密槽相适应的支持骨架，费用就较昂贵。因而若将支持骨架做成能分割成多个、可根据气密槽的容积而变更大小，则就能将一组支持骨架安装在不同容积的多个气密槽里，这样，使用者就没必要就每个气密槽购入支持骨架，能节省经费。
附图的简单说明
图1是本发明的第1实施例的斜视图，图2是支持骨架的斜视图，图3是减压槽的剖面图，图4是本发明第2实施例的支持骨架的斜视图，图5是表示把图4所示支持骨架分解后的状态的斜视图，图6是本发明第3实施例的支持骨架的斜视图，
图7是表示把图6所示支持骨架分解后的状态的斜视图。
实施发明的最佳方式下面，参照着附图来说明以清洗槽的方式实施本发明的一个例子。图中，(1)是气密槽，是用板厚为1mm～3mm的不锈钢板材等形成。这种气密槽(1)由于用简单的加工机械和简易的技术就能形成，因而在没有配备高价的制造装置的一般制罐或板金工厂就能廉价地制造。这个气密槽(1)在单独状态下不具有能耐减压度约比300mmHg还高的强度。在这个气密槽(1)上端的法兰部(2)的上部、借助衬密封件(3)配设盖体(4)后可将气密槽(1)内部密闭。
安装在气密槽(1)内的支持骨架(5)是与气密槽(1)分开地形成的。这个支持骨架(5)用这样的尺寸做成，即、将其装到气密槽(1)里时、支持骨架(5)的外周能与气密槽(1)的内表面相接触。支持骨架(5)是通过配置4根金属制的纵向框架材料(11)、用横向框架材料(12)连接在各个纵向框架材料(11)之间而形成4个壁面框架。
在各个壁面框架中，通过用2对中间纵向框架材料(13)连接横向框架材料(12)而形成格子状的支持骨架(5)。而且，支持骨架(5)是通过在下面侧将底框架材料(14)交叉地连接而形成底部框架。支持骨架(5)是通过不把框架材料配置在上部侧而形成能将被清洗物等拿出拿入的，同时用4个壁面框架和底部框架形成用来配置被清洗物的收容部(7)。支持骨架(5)是通过将各个框架材料(11)、(12)、(13)、(14)相互不能分解地焊接而形成能耐减压度比约300mmHg还高的强度。
如图1、图3所示，通过将如上所述地形成的支持骨架(5)能分离地安装在气密槽(1)内，就能形成耐压力性优良的减压槽(10)。在这减压槽(10)上连接真空泵(8)就能将减压槽(10)内部的减压部(6)进行减压。
在把这个减压槽(10)用在被清洗物的减压蒸汽清洗时，配置上那些把清洗蒸汽导入到减压部(6)、或者在减压清洗后、把清洗蒸汽排除到外部而进行被清洗物的减压干燥等适当的装置，就能形成具有所需要作用的结构。
用具有上述结构的减压槽(10)、通过使真空泵(8)动作，就使减压部(6)内形成比约300mmHg还高的减压度。由这减压的作用就要使耐压力性较低的气密槽(1)向内变形。但是，由于在这气密槽(1)里安装着支持骨架(5)、它对高的减压度具有充分的强度，而且它是与气密槽(1)的内表面相接触地安装，所以，支持骨架(5)从内侧坚固地支持气密槽(1)。因此，气密槽(1)不会因减压而变形，使减压部(6)能毫无障碍地减压到所需要的减压度。
由这减压的作用、就能用减压部(6)在低于1个大气压中的沸点的状态下、对被清洗物进行减压蒸汽清洗。因此，即使被清洗物是由容易热变形的材料形成的，也能安全地进行。
在搬运或移动本发明的减压槽(10)时，若原封不动维持原状地进行、则由于重量较大、作业性就较差。但是，由于减压槽(10)能分离成支持骨架(5)和气密槽(1)，因而，通过分离后各自进行搬运或移动，就能将重量减轻、使作业效率提高。由于是对被清洗物进行蒸汽清洗，而且在清扫附着或堆积在减压槽(10)内部的污物时，能将支持骨架(5)和气密槽(1)分离，分别地进行作业，因而能提高作业效率、并能良好地除去污物。此外、装置的维护保养作业等也能把支持骨架(5)和气密槽(1)分离后有效地进行。
由于支持骨架(5)可与气密槽(1)分离、又设有底部框架，因而在进行清洗处理时能将支持骨架(5)当作清洗笼那样使用。即、在把支持骨架(5)从气密槽(1)内部取出的状态下、将被清洗物放入到支持骨架(5)的收容部(7)里，然后在收容着被清洗物的状态下、将支持骨架(5)装到气密槽(1)里，进行减压蒸汽清洗。处理结束后，将仍收容着被清洗物的支持骨架(5)从气密槽(1)取出。又因为在取出时，附着在被清洗物上的清洗蒸汽的凝聚液从构成支持骨架(5)的底部框架材料(14)的间隙中落下，所以能将其用作除去液体的笼子。
在上述实施例中、为了得到本发明的减压槽(10)，气密槽(1)和支持骨架(5)都是新做成的，但也可以只将支持骨架(5)做成新的，把它安装到现有的气密槽(1)里加以使用，这样可节省装置利用的费用。由于这个现有的气密槽(1)在单独的状态下对高的减压度不具有强度，因而可利用一般制罐或板金工厂廉价制成的构件。而且能由安装在这个气密槽(1)内部的支持骨架(5)得到优良的耐压力性的减压槽(10)。
在上述实施例中、支持骨架(5)是做成不能分割的，它的大小不能变更，但在与它不同的第2实施例中、如图4、图5所示、支持骨架(5)做成能分割的，在高度方向上能分割成上段(20)、中段(21)和下段(22)等3个部分。而且、在上段(20)和中段(21)的上面和下面不配置横向框架材料(12)、只用4个壁面框架构成。另一方面、在下段(22)的下面侧将底部框架(14)交叉地配置，作为底部框架。在中段(21)和下段(22)的上面四个角偶部位设置结合突起(16)，同时在上段(20)和中段(21)的下面四个角偶部位、与上述结合突起(16)相对应地设置凹下的结合部(17)。通过将结合突起(16)与凹下结合部(17)相结合就能分别将上段(20)、中段(21)和下段(22)连接在一起。
而且、通过只将下段(22)安装在气密槽(1)里、或者将下段(22)与上段(20)连接后安装到气密槽(1)里、或者将上段(20)、中段(21)和下段(22)全都连接之后安装在气密槽(1)里，就能根据气密槽(1)的容积将支持骨架(5)的大小分三段加以变更。这样，通过将支持骨架(5)做成能分割的结构，就能将一组支持骨架(5)通用在不同容积的多个气密槽(1)上，因而能非常经济地加以使用。
在上述各个实施例中、在支持骨架(5)上只形成一个大的收容被清洗物的收容部(7)，虽然这个大的收容部(7)适用于收容大的被清洗物，但在收容小的被清洗物时，在被清洗物的上面会产生宽广的空间，由此使收容效率降低。为此，在与其不同的第3实施例中、如图6、图7所示、在上段(20)和中段(21)也将底部框架材料(14)交叉地配置，作成底部框架。
借助这样的结构，在上段(20)、中段(21)、下段(22)能分别形成被清洗物的收容部(7)，由此提高了减压槽(10)的收容效率。这样，用一次处理就能进行较多被清洗物的清洗处理，就能提高作业效率。由于本实施例的支持骨架(5)使用了较多的框架材料，因而耐压力性就更加优良。
由于在将减压槽(10)用于清洗液的减压蒸馏再生的场合下，没必要设置被清洗物等的收容部(7)，只要液体和蒸汽能流通就可以，因而使用如本实施例所述的采用较多框架材料的支持骨架(5)的结构也是合适的。又因为没必要将被清洗物拿进拿出，所以支持骨架(5)的上部侧也可以配置框架材料，从而能使支持骨架(5)的耐压力性进一步提高。
上述第2、第3实施例中的支持骨架(5)做成在高度方向上可分割而能变更大小，也可以根据气密槽(1)的形状，将纵向和横向都做成能分割而变更大小的。
此外，上述各个实施例中、支持骨架(5)是做成与气密槽(1)内部大致相同的尺寸，因而，能与气密槽(1)的全体内表面相接触。但、在气密槽(1)的上部配置耐压力性优良的盖体(4)、或者用较厚的金属板材形成气密槽(1)的下底而使耐压力性提高的场合下，未必要把支持骨架(5)配置在气密槽(1)的全体内表面里，只要配置在耐压力性较薄弱的部位就可以。例如，将支持骨架(5)的形成高度做成低于气密槽(1)的形成高度，将这支持骨架(5)只配置在气密槽(1)的中间部。即使在这种场合下，气密槽(1)的耐压力性较薄弱的侧面也可由支持骨架(5)坚固地加以支持，而且由耐压力性优良的盖体(4)和下底的作用，使上部侧和下部侧也成为可耐高的减压度的，使整个气密槽(1)成为耐压力性优良的结构。产业上的可利用性由于本发明具有上述的结构，因而用简易的制造装置和工序就能廉价地制得有优良的耐压力性、能防止变形的减压槽。又由于支持骨架能从气密槽内自由地拿进拿出，因而安装和卸下都很容易，清扫、维护保养、搬运等使用操作性也很优良。
权利要求
1．一种减压槽，其特征在于它是由保持气密性的气密槽和耐压力性的支持骨架构成，上述支持骨架是安装在上述气密槽的内部、减压时能与气密槽的内表面相接触地支持气密槽，而且能与气密槽分离的。
2．如权利要求1所述的减压槽，其特征在于它是用于被清冼物的减压蒸汽清洗的。
3．如权利要求1所述的减压槽，其特征在于它是用于被清洗物的减压干燥的。
4．如权利要求1所述的减压槽，其特征在于它是用于清洗液的减压蒸馏再生的。
5．如权利要求1所述的减压槽，其特征在于它是用于将溶解在液体中的气体成分从液体中除去、由此制造脱气的超声波清洗液的。
6．如权利要求1所述的减压槽，其特征在于它是用于被表面处理构件的减压表面处理的。
7．如权利要求1所述的减压槽，其特征在于上述支持骨架是做成不能分割的。
8．如权利要求1所述的减压槽，其特征在于上述支持骨架是做成能分割成多个、能根据气密槽的容积而变更大小的。
全文摘要
本发明提供一种用简易的制造装置和工序就能廉价地制得具有优良的耐压力性、能防止变形的减压槽。它是由保持气密性的气密槽(1)和耐压力性的支持骨架(5)构成,上述支持骨架(5)是安装在上述气密槽(1)的内部、减压时能与气密槽(1)的内表面相接触而支持气密槽(1),而且能与气密槽(1)分离的。
文档编号H01L21/304GK1300237SQ00800522
公开日2001年6月20日 申请日期2000年4月4日 优先权日1999年4月19日
发明者内野正英 申请人:日本原野株式会社