专利名称：一种高压继电器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种高压继电器，特别地涉及一种用于离子注入机在加速和减速模式之间进行切换时应用的高压继电器，属半导体设备技术领域。
背景技术：
在半导体工艺的离子注入工艺中，通常使用的注入能量比较高，能达到几十KeV，此时注入机的离子加速器工作在加速模式；但是对于某些特殊工艺中，需要的注入能量只需要几KeV，甚至更低，此时注入机的离子加速器则工作在减速模式，将能量过高的离子能量降低到所需的能量，在这个过程中需要对加速器的电极进行重新引线，并从使用加速电源变换到使用减速电源，如果采用人工完成其中工作，所需的时间比较长，且不满足设备实现自动化的要求，而目前市场上又缺乏这种耐压达到几万伏的转换开关。
发明内容
本实用新型即是针对现有技术的现状而提出的一种高压继电器，该继电器采用了气动驱动和杠杆机构，实现了离子加速器在加速和减速模式下自动切换过程中的引线转换。
本实用新型通过以下技术方案来实现一种高压继电器，包括一绝缘外壳、一驱动气缸、一驱动摆杆、一摆动连杆和一组或一组以上继电器触点单元，每组继电器触点单元包括一动片、一动片触点、一常闭触点和一常开触点；所述的驱动气缸、驱动摆杆、动片触点、常闭触点和常开触点均设置在绝缘外壳上；所述的驱动摆杆一端与驱动气缸的活塞轴连接，另一端与摆动连杆连接；所述的动片均安装在驱动摆杆上；所述的动片触点与动片连接；所述的动片在不同角度可以分别与常闭触点和常开触点接触。
所述的绝缘外壳上在各常闭触点和常开触点之间设置有绝缘筋；所述的动片触点为圆柱型结构。
本实用新型具有如下显著优点1.采用压缩空气驱动，结构简单；2.绝缘能力高，引线触点之间可承受几万伏高压。
图1为本实用新型一种高压继电器具体实施例的原理图；图2为本实用新型一种高压继电器具体实施例的结构分解图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的介绍，但不作为对本实用新型的限定。
参考图1和图2，一种新型高压继电器，包括一绝缘外壳1、一驱动气缸2、一驱动摆杆3、一摆动连杆4和三组继电器触点单元5，每个继电器触点单元5包括一动片50、一动片触点51、一常闭触点52和一常开触点53。绝缘外壳1采用尼龙等绝缘材料，分上下两部分，中间各触点之间设计绝缘隔离筋11，提高绝缘性能，同时也可为其他零件提供安装点；驱动气缸2安装在绝缘外壳1上，为高压继电器触点切换提供动力源，驱动气缸2的活塞杆连接驱动摆杆3，驱动摆杆3也固定在绝缘外壳1上的固定轴孔内，可转动，另一端与摆动连杆4相连，驱动摆杆3将驱动气缸2的活塞杆的直线运动转换成转动，并传递给摆动连杆4；动片50，可以水平转动，在不同角度分别接触到常开触点53和常闭触点52，三组继电器触点单元5的动片50均安装固定在摆动连杆4上，通过摆动连杆4的联动，实现三组继电器触点单元5中常开触点53与常闭触点52的同时切换，动片50采用导电弹性金属片制作，动片触点51为圆柱体，另一端为圆柱转轴，同时有与动片触点51接触的弹性触点。摆动连杆4，将驱动摆杆3和三组继电器触点单元5的动片50连为一体联动，符合平行四边形原理，使驱动摆杆3和三组继电器触点单元5的动片50运动一致；动片触点51，圆柱型结构，外壳采用绝缘材料，固定于绝缘外壳1上，一端可外接引线，另一端与动片50连接，通过动片50与常开触点52或者常闭触点53的接触，实现电气连接。常开触点52与常闭触点53也设置在绝缘外壳1上。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求1.一种高压继电器，其特征在于该继电器包括一绝缘外壳、一驱动气缸、一驱动摆杆、一摆动连杆和一组或一组以上继电器触点单元，每组继电器触点单元包括一动片、一动片触点、一常闭触点和一常开触点；所述的驱动气缸、驱动摆杆、动片触点、常闭触点和常开触点均设置在绝缘外壳上；所述的驱动摆杆一端与驱动气缸的活塞轴连接，另一端与摆动连杆连接；所述的动片均安装在驱动摆杆上；所述的动片触点与动片连接；所述的动片在不同角度可以分别与常闭触点和常开触点接触。
2.如权利要求1所述的一种高压继电器，其特征在于所述的绝缘外壳上在各常闭触点和常开触点之间设置有绝缘筋。
3.如权利要求1所述的一种高压继电器，其特征在于所述的动片触点为圆柱型结构。
专利摘要本实用新型公开了一种高压继电器，包括一绝缘外壳、一驱动气缸、一驱动摆杆、一摆动连杆和一组或一组以上继电器触点单元，每组继电器触点单元包括一动片、一动片触点、一常闭触点和一常开触点；所述的驱动气缸、驱动摆杆、动片触点、常闭触点和常开触点均设置在绝缘外壳上；所述的驱动摆杆一端与驱动气缸的活塞轴连接，另一端与摆动连杆连接；所述的动片均安装在驱动摆杆上；所述的动片触点与动片连接；所述的动片在不同角度可以分别与常闭触点和常开触点接触。本实用新型采用压缩空气驱动，结构简单，且绝缘能力高，引线触点之间可承受几万伏高压。
文档编号H01H3/24GK2788340SQ20052001708
公开日2006年6月14日 申请日期2005年4月22日 优先权日2005年4月22日
发明者彭立波, 陈鑫, 许波涛, 郭建辉, 易文杰, 龙会跃, 唐景庭 申请人:北京中科信电子装备有限公司