专利名称：一种光子晶体激光耦合输出器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种二维光子晶体激光输出装置，特别是涉及一种使用于光子集成芯片的二维半导体光子晶体激光耦合输出装置。
背景技术：
光源与波导是集成光学中关键性的器件。传统的半导体边发射激光器与光波导的耦合长期以来一直面临着耦合效率低，工艺复杂的问题。光子晶体材料与器件的研究与发展为实现光子集成开拓了新思路和新方法。
光子晶体是由不同介质按周期或准晶结构排列形成的材料。二维光子晶体由于相对容易制造，而且其二维结构能够充分表现光子晶体的特性，在研究中受到关注。常见的这一类结构有在高介电常数的薄板材料上挖出周期排列的小孔，孔内填充低介电常数的材料，如空气，而得到孔型二维光子晶体薄板。满足薄板波导条件的光波在水平方向受光子晶体结构调制。光子晶体的一个重要特性是存在光子禁带。在光子晶体中引入缺陷后，由于缺陷模的出现，就可以对光子进行控制，如引入点缺陷，可以实现谐振微腔，而引入线缺陷，就可以实现光子晶体波导。
光子晶体是光子集成一个具有很大潜力的发展方向，因此近来出现了许多基于二维光子晶体的光无源器件，而如何将光有效的耦合进光子晶体波导也随之受到关注。如文献1光钎对光子晶体波导有效的输入和输出耦合，Paul E.Barclay，KartikSrinivasan，Matthew Borselli，和Oskar Painter，光学快报，29卷，697(2004)中公开了通过光纤与光子晶体波导相接近，而将光耦合进波导的方法。再如文献2小型低损耗六极模与光子晶体薄板波导模式的耦合，Guk-Hyun Kim，Yong-Hee Lee，Akihiko Shinya和Masaya Notomi，OPTICS EXPRESS，12卷，6624(2004)；和文献3一个基于色散的单向光子晶体发光器件，Caihua Chen，Ge Jin，ShouyuanShi，Ahmed Sharkawy，和Dennis W.Prather，应用物理快报，84卷，3151(2004)中公开了将二维光子晶体高Q值微腔与波导集成，使腔的谐振模式与波导模式耦合的方法。
以上现有的各种方法有一共同的缺陷，即都是利用了光源的瞬逝波，因而与波导模式重叠区域少，耦合效率低。此外，文献2和3所用的微腔激光器输出功率低，并且在垂直方向有较大损耗，这将降低它们的实用价值。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服已有光源与二维光子晶体波导耦合效率低、输出功率小的缺点，提供一种二维半导体光子晶体边发射激光器与光子晶体波导的高效耦合输出器。
为了达到上述目的，本实用新型采取的技术方案如下一种光子晶体激光耦合输出器，包括一二维半导体光子晶体激光器；一二维半导体光子晶体波导与所述二维半导体光子晶体激光器依次设置在半导体芯片上，所述二维半导体光子晶体波导的一端与所述二维半导体光子晶体激光器的输出激光场有交叠，满足激光与波导耦合的要求。
在上述技术方案中，所述的二维半导体光子晶体激光器是光泵浦，或是电注入泵浦。
在上述技术方案中，所述的二维半导体光子晶体激光器是在空气桥类型薄板结构实现，也可以在低折射率材料覆盖型薄板结构实现，或者是在传统半导体覆盖型薄板结构实现。
在上述技术方案中，所述的二维半导体光子晶体激光器发出的激光是侧向输出。
在上述技术方案中，所述二维半导体光子晶体激光器由周期为a、小孔直径为d1的光子晶体结构A包围周期为a、小孔直径为d2的光子晶体结构B形成，所述周期a可参考图1是指相邻两个小孔的中心距离，小孔直径d1小于小孔直径d2；所述光子晶体由第一介电常数的半导体薄板材料上挖出按周期a排列的小孔，在孔内填充有第二介电常数的材料制成；所述第一介电常数大于所述第二介电常数所述第二介电常数的材料如空气等。
在上述技术方案中，所述的二维半导体光子晶体激光器发出的激光波长范围在0.4微米～1.6微米。
在上述技术方案中，所述的半导体材料为GaN/AlGaN材料、GaAs/AlGaAs材料或InP/InGaAsP材料。
在上述技术方案中，所述的二维半导体光子晶体波导是在所述半导体芯片上形成的周期为a，小孔直径为d3的线缺陷型光子晶体波导，该小孔直径d3使激射模式落在导波模内并避开导波模的带边。
进一步地，在上述技术方案中，所述波导的小孔直径d3与所述光子晶体结构A的小孔直径d1相等。
本实用新型的激光输出是通过微腔与二维光子晶体波导对接，激射模式与波导的导波模式有很大耦合作用区域，激射模式直接耦合进波导中。二维光子晶体波导的结构应使激射模式落在导波模内，并避开导波模的带边。
与现有技术相比，本实用新型的优越性在于1)耦合效率高本实用新型中微腔的激射模式与波导的导波模式有很大的光场重叠区域，因此激射模式直接耦合进波导，使得耦合结构有很高的耦合效率；2)损耗低本实用新型使用边发射激光器与波导耦合，输出功率大，在垂直方向损耗低。
图1表示本实用新型中的二维光子晶体边发射激光器微腔的结构示意图；图2表示本实用新型的二维光子晶体边发射激光器微腔与二维光子晶体波导耦合的示意图图3表示由本实用新型实施例1得到的耦合输出激光的信号；图4表示由本实用新型实施例2得到的耦合输出激光的信号。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细描述参照附图1，数字10表示本实用新型中的二维半导体光子晶体激光器，该光子晶体激光器10是在具有增益谱从0.4微米～1.6微米的板状半导体有源材料11上，挖出由周期为a，小孔直径为d1的光子晶体结构A包围周期为a，小孔直径为d2的光子晶体结构B形成，其中图1中数字12表示直径为d1的小孔，数字13表示直径为d2的小孔，虚线14包围的区域就表示上述的光子晶体结构B，虚线14以外的区域就是上述的光子晶体结构A。一般来说，光子晶体结构A的厚度不小于7个周期a，光子晶体结构B的长和宽都不小于13个周期a，这样形成一个微腔，结构A是微腔的反射层。结构A横电(TE)模的第一条禁带比结构B横电(TE)模的第一条禁带低，但两个禁带有相交处。微腔内存在两个谐振模式。其中模式1的频率位于结构A的禁带底与结构B的禁带底之间，这一模式的场分布位于微腔边缘，水平方向泄露损耗较大，并且可以通过改变微腔结构抑制。模式2的频率位于结构B的禁带的带底附近，其场分布集中于微腔中心，能量集中在电介质材料中，模式在水平方向损耗很小，并且在泵浦时能获得很高的增益。由于位于禁带底附近，模式2在垂直于薄板方向的损耗也能被有效地限制。模式2最终会通过模式竞争成为激射模式，在水平方向输出。
参照附图2，图2表示了依照本实用新型的二维半导体光子晶体激光器与光子晶体波导耦合输出器，它包括以图中点划线30为分界线的光子晶体激光器10和光子晶体波导20。二维光子晶体波导20的结构为周期为a，小孔直径d1的线缺陷型光子晶体，线缺陷的长度取决于用户需要把激光引出的距离。耦合输出的激光将从开口15发出。
实施例1按照图2在InP半导体材料上实现的1.55微米的激光耦合输出。各部分参数选用如下材料InGaAsP四元系半导体量子阱材料，增益扑谱中心波长1.55微米，有效折射率3.36。
二维半导体光子晶体激光器10结构B的周期a为380纳米，小孔直径d2为273.6纳米，尺寸为横向13个小孔，纵向13个小孔；结构A的周期a为380纳米，小孔直径d1为266纳米，包围结构B的厚度为7个周期。
二维光子晶体波导20在完整的二维光子晶体结构中去掉一排小孔形成线缺陷型二维光子晶体波导，结构周期a为380纳米，该小孔直径为266纳米。参考图2，从分界线30处开始到右侧边界处的线缺陷长度为18个周期，即6840纳米；宽度为1个周期，即缺陷两边正对的小孔中心距为760纳米。
按上述参数配置的激光耦合输出中，模式1被有效抑制，模拟得到模式2的输出波长为1.55微米，见图3所示波长一功率分布图。
实施例2同样按照图2在GaAs半导体材料上实现的0.86微米的激光耦合输出。各部分选用如下材料AlGaAs三元系半导体量子阱材料，增益扑谱中心波长0.86微米，有效折射率3.46。
二维半导体光子晶体激光器10结构B的周期a为202纳米，小孔直径d2为142纳米，尺寸为横向13个小孔，纵向13个小孔；结构A的周期a为202纳米，小孔直径d1为137纳米，包围结构B的厚度为7个周期二维光子晶体波导20在完整的二维光子晶体结构中去掉一排小孔形成线缺陷型二维光子晶体波导，结构周期a为202纳米，小孔直径为137纳米。参考图2，从分界线30处开始到右侧边界处的线缺陷长度为18个周期，即3636纳米；宽度为1个周期，即缺陷两边正对的小孔中心距为404纳米。
按上述参数配置的激光耦合输出中，模式1被有效抑制，模拟得到模式2的输出波长为0.86微米，见图4所示波长—功率分布图。
一般来说，光子晶体波导20的方向并无特别限制，可以在分界线30处与光子晶体结构B的边界垂直或成一定角度，并且线缺陷型的光子晶体波导20可以是直线型、折线型或曲线型。光子晶体波导20与光子晶体结构B接触的区域可以在光子晶体结构B的边界的中间，也可以是靠近边界一侧的一个位置。这些不同的实现方式对于本领域技术人员依照本实用新型而实施是可以胜任的。
最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
权利要求1.一种光子晶体激光耦合输出器，包括一二维半导体光子晶体激光器；其特征在于，还包括一二维半导体光子晶体波导与所述二维半导体光子晶体激光器设置在半导体芯片上，所述二维半导体光子晶体波导的一端与所述二维半导体光子晶体激光器的输出激光场有交叠。
2.根据权利要求1所述光子晶体激光耦合输出器，其特征在于，所述二维半导体光子晶体激光器由第一光子晶体结构包围第二光子晶体结构组成，所述第一和第二光子晶体结构的周期相同，第一光子晶体结构的小孔具有第一直径，第二光子晶体结构的小孔具有第二直径，所述第一直径小于所述第二直径；所述光子晶体由第一介电常数的板状材料上挖出按所述周期排列的小孔，在孔内填充有第二介电常数的材料制成；所述第一介电常数大于所述第二介电常数。
3.根据权利要求1或2所述光子晶体激光耦合输出器，其特征在于，所述二维半导体光子晶体激光器是光泵浦，或是电注入泵浦；所述二维半导体光子晶体激光器发出的激光是侧向输出。
4.根据权利要求1或2所述光子晶体激光耦合输出器，其特征在于，所述二维半导体光子晶体激光器是在空气桥类型薄板结构实现，或在低折射率材料覆盖型薄板结构实现，或者是在传统半导体覆盖型薄板结构实现。
5.根据权利要求1或2所述光子晶体激光耦合输出器，其特征在于，所述二维半导体光子晶体激光器发出的激光波长范围在0.4微米～1.6微米。
6.根据权利要求2所述光子晶体激光耦合输出器，其特征在于，所述二维半导体光子晶体波导是周期与所述第一和第二光子晶体结构的周期相同，且其小孔具有第三直径的线缺陷型光子晶体波导，该第三直径具有使激射模式落在导波模内并避开导波模的带边的长度。
7.根据权利要求6所述光子晶体激光耦合输出器，其特征在于，所述波导的小孔第三直径与所述第一光子晶体结构的小孔第一直径相等。
8.根据权利要求2所述光子晶体激光耦合输出器，其特征在于，所述第一光子晶体结构包围第二光子晶体结构的厚度不小于7个所述周期，所述第二光子晶体结构的线度不小于13×13个所述周期。
专利摘要本实用新型公开了一种使用于光子集成芯片的光子晶体激光器与光子晶体波导耦合输出器。该耦合输出器包括二维半导体光子晶体激光器，二维半导体光子晶体波导与所述二维半导体光子晶体激光器依次放置在半导体芯片上，所述二维半导体光子晶体波导的一端与所述二维半导体光子晶体激光器的输出激光场有交叠，满足激光与波导耦合的要求。本实用新型具有耦合效率高、损耗低的优点。
文档编号H01S5/00GK2884617SQ20052011467
公开日2007年3月28日 申请日期2005年11月23日 优先权日2005年11月23日
发明者马小涛, 郑婉华, 任刚, 蔡向华 申请人:中国科学院半导体研究所