装载端口模块的制作方法

专利名称：装载端口模块的制作方法
技术领域：
本发明涉及基片处理装备，并且更特别地涉及用于基片处理装备的 改进的装载端口模块。
背景技术：
消费者对于日益便宜的电子设备的持续的需求迫使设备的制造商 改进效率。事实上，在当前市场上，许多设备，并且在更大的程度上设 备中使用的电子和半导体部件已经变成日用品。对于电子和半导体设备 的制造商增加效率的希望在全部阶段显现，但是特別显著地显现在制造 设施或工厂的设计、构造、和操作，和工厂内使用的基片处理装备中。

发明内容
根据本发明的一个示例性的实施例，提供了基片装载设备。基片装 载设备包括框架、盒支撑件、和用户接口。框架适用于将设备连接到基 片处理装备。框架具有传送开口，基片通过该传送开口在设备和处理装 备之间传送。盒支撑件连接到框架以保持至少一个基片保持盒。用户接 口设置为用于输入信息。用户接口安装到框架，使得用户接口与框架集 成。
根据本发明的另一个示例性的实施例，提供了基片装载设备。基片 装载设备包括框架、盒支撑件、和显示器。框架适用于将设备连接到基 片处理装备。框架具有传送开口，基片通过该传送开口在设备和处理装 备之间传送。盒连接到框架以保持至少一个基片保持盒。显示器设置为 用于显示与设备的预先确定的特性相关的信息。显示器能够用作图形用 户接口。显示器能够与框架集成以形成能够作为单元制造并且然后能够 作为单元从处理装备移除的组件。
根据本发明的另一个示例性的实施例，提供了基片装载设备。基片 裝栽设备包括框架和基片传送容器支撑件。框架适用于将设备迷接到基 片处理装备。框架具有传送开口，基片通过该传送开口在设备和处理装 备之间传送。基片传送容器支撑件连接到框架以保持至少 一 个基片传送容器。传送容器支撑件包括盖、至少一个检测器、和构件。盖覆盖支撑 件的至少一部分，至少一个基片传送容器安置在该部分上。盖具有弹性 地柔性的区段。至少 一个检测器连接到盖以检测支撑件上的至少 一个传 送容器的存在。构件连接到盖的柔性的区段以与柔性的区段作为单元运 动。构件与检测器合作，导致检测器检测支撑件上的传送容器的存在。
根据本发明的再一个示例性的实施例，提供了基片装载设备。基片 装载设备包括框架和基片传送容器支撑件。框架适用于将设备连接到基 片处理装备。框架具有传送开口，基片通过该传送开口在设备和处理装 备之间传送。基片传送容器支撑件连接到框架以保持至少一个基片传送 容器。支撑件包括盖和至少一个检测器。盖覆盖支撑件的至少一部分， 至少一个基片传送容器安置在该部分上。至少一个检测器连接到盖以检 测何时至少一个传送容器在支撑件上。盖为单一的构造并且具有弹性地 柔性的突出部。检测器包括安装到突出部的用于用检测器实现对支撑件 上的至少 一 个传送容器的检测的构件。
根据本发明的再一个示例性的实施例，提供了基片装载设备。设备 包括框架和传送容器往复移送装置。框架适用于将设备连接到基片处理 装备。框架具有传送开口，基片通过该传送开口在设备和处理装备之间 传送。传送容器往复移送装置适用于保持基片传送容器并且可运动地连 接到框架。往复移送装置能够在笫一终端位置和第二终端位置之间相对 于框架运动。第二终端位置是可变的，以当通过往复移送装置将不同的 传送容器传送到第二终端位置时，在往复移送装置上的传送容器的表面 和框架表面之间维持预先确定的间隙。
根据本发明的再一个示例性的实施例，提供了基片装载设备。设备 包括框架、传送容器往复移送装置、和传感器。框架适用于将设备连接 到基片处理装备。框架具有传送开口，基片通过该传送开口在设备和处 理装备之间传送。传送容器往复移送装置适用于保持基片传送容器并且 可运动地连接到框架。往复移送装置能够在第一终端位置和第二终端位 置之间相对于框架运动。传感器连接到框架以当通过往复移送装置运动
置。 二 、' ，
根据本发明的再一个示例性的实施例，提供了基片装载设备。基片 装载设备包括框架、可运动的框架构件、驱动器和传感器。框架限定开
7口 ，基片通过该开口沿在框架的外部侧上的基片传送容器和框架的内部 侧之间的基片传送路径传送。可运动的框架构件可运动地连接到框架以 堵塞和开放基片传送路径。驱动器连接到框架以在第一方向运动可运动 的框架构件以开放基片传送路径。驱动器具有在笫一方向搬运框架构件 的搬运构件。传感器能够感测基片的存在。传感器可运动地连接到独立 于框架构件的搬运构件。当在第一方向运动框架构件时，搬运构件在第 一方向搬运传感器。传感器能够相对于框架在与第一方向不同的第二方 向运动。传感器能够在第二方向运动到传感器能够感测传送容器内的基 片的存在的位置。


在接下来结合附图进行的描述中解释本发明的前述方面和其它特 征，其中
图1为结合根据一个示例性的实施例的本发明的特征的基片处理装
备和基片传送容器T的示意性的透视图2为示出了图1所示的处理装备的装载端口模块的前面的局部透 视图3为图2所示的装载端口模块的框架的另一个局部透视图； 图4为示出了图3所示的装载端口4莫块的后侧的透^f见图； 图5为示出了根据本发明的另 一个示例性的实施例的装载端口模块 的另一个透视图6-6A分别为示出了装载端口模块的后面的再一个透视图和装 载端口模块的侧视图7A-7D分别为图3所示的装载端口模块的传送容器支撑件的透 视图，支撑件的顶视图，和支撑件的前视和侧视图8为示出了支撑件的集成的容器检测开关的图7A所示的传送容 器支撑件的局部透视图9A - 9B分别为从不同方向观察的根据现有技术的示例性的基片 传送容器T的透视图10为装载端口模块的基片传送容器夹持系统的示意性的透视图11为示出了装载端口模块的区段和在装载端口模块(为了清晰， 省略了装载端口模块的一些部分)上处于对接的位置的基片传送容器T的再一个局部透视图，其中，装载端口模块的可运动的部分位于第一位
置；
图12为与图11所示的视图相似的装载端口模块和基片传送容器的
再一个局部透视图，但是示出为可运动的部分处于另一个位置；并且 图13为示出了根据本发明的示例性的实施例的方法的方块图。
具体实施例方式
参考图1,示出了结合本发明的特征的基片处理装备10的透视图。 虽然将参考附图所示的实施例描迷本发明，应该理解，本发明能够以实 施例的许多替代的形式体现。另外，可以使用任何适合的尺寸、形状或 类型的元件或材料。
在图l所示的实施例中，装备10仅为举例目的示出为具有通常的 基片批处理工具构造。在替代的实施例中，基片处理装备可以具有任何 其它适合的构造，如将在下文中更加详细地描述的本发明的特征同样适 用于任何基片处理工具构造，包括用于单独的基片处理的工具。装备IO 能够操纵和处理任何希望的类型的平板或基片，诸如200mm或300mm 半导体晶片、半导体封装基片(例如，高密度互连件)、半导体制造过 程成像板(例如，掩模或分划板)、和用于平板显示器的基片。装备IO 可以通常包括前面的区段12和后面的区段14。前面的区段12 (为了方 便起见，术语前面在这里用于识别示例性的参考系，并且在替代的实施 例中，装备的前面可以建立在装备的任何希望的侧上)。前面的区段12 具有提供允许将来自工厂的基片传入装备10的内部的接口的系统(如 将在下文中更加详细地描述的)。前面的区段12还通常具有壳体16和 定位在壳体内的在后面的区段14和对外部接口的前面的区段之间操纵 基片的自动控制部件。后面的区段14连接到前面的区段的壳体16。装 备的后面的区段4可以具有受控的气氛(例如，真空、惰性气体)， 并且通常包括用于处理基片的处理系统。例如，后面的区段可以通常包 括具有基片传送设备的中心传送腔室，和用于对装备内的基片执行希望 的制造过程(例如，刻蚀、材料淀积、清洗、烘焙、检查等)的周边处 理模块。在工厂内，基片可以在容器T内传送到处理装备10。容器T 可以定位在前面的区段接口上或靠近前面的区段接口 。可以使用前面的 区段内的自动控制部件将基片从容器通过接口带到前面的区段12内。可以经由装载锁将基片传送到气氛控制的后面的区段，以在一个或多个 处理模块内处理。随后可以以大致反转的方式将处理过的基片返回前面
的区段12并且随后返回传送容器T以移除。
也可以另外称作环境前端才莫块或EFEM的前面的区段12可以具有 限定受保护的环境或微环境的壳或外壳，其中，可以以最小的污染可能 性在用于在工厂内传送基片的传送容器T和提供到后面的处理区段14 内的受控的气氛的入口的装载锁14L之间访问和操纵基片。装栽端口或 装载端口模块24(如将在下文中更进一步地描述的，数量为一个或多个) 定位在前面的区段的一个或多个侧上，提供前面的区段和工厂之间的接 口。装载端口才莫块可以具有在EFEM内部和外部之间形成可关闭的^l妻口 的可关闭的端口 300。如图1所示，装载端口;f莫块可以具有用于基片传 送容器T的支撑区域。还可以在支撑区域下面提供可以暂时緩存传送容 器的次级保持区域。传送容器支撑区域可以允许将支撑在其上的传送容 器丁自动地运动到最终或对接的位置。传送容器T在支撑区域上的适当 的放置在运动之前可以通过集成到支撑区域的盖或外壳的检测开关检 测和识别。如将在下文中更进一步地描述的，可以用装载端口的促动的 夹具实现再次在运动之前在装载端口支撑区域中传送容器的确实的接 合或锁定。在装载端口的支撑区域上的传送容器传送到最终或对接的位 置(即，靠近端口的传送容器的位置，基片通过该端口在传送容器和 EFEM外壳内部的内部之间传送)可以通过非接触式(即，无污染)的 位置传感器检测到。如将在下文中更进一步地描述的，位置传感器和装 备控制系统合作操作以重复地建立容器和装载端口框架之间的间隙最 小的传送容器对接位置，与传送容器的尺度的公差变化无关。同样，如 将在下文中描述的，可以通过监测到传送马达的电流的一个或多个传感 器提供在传送容器的自动的运动期间的挤压检测。挤压传感器连接到控 制系统，控制系统编程序为在接收到来自挤压传感器的适当的信号时自 动地停止并且反转行进方向。当处于对接的位置时，装载端口模块的端 口门可以接合传送容器以便打开传送容器，同时如将在下文中进一步看 到的，还打开装载端口框架内的访问端口 30O,以提供对传送容器内的 基片的访问，以及访问以在容器和EFEM内部之间传送基片。如将在下 文中描述的，可以通过具有用于检测不正确的接合或操作的独立的传感 器的独立地可搡作的键实现端口门和传送容器之间的接合。端口门可以
10安装在弹性地柔性的底座上，该底座稳定地支撑门，同时为门提供当打 开以清除访问端口框架或其它装载端口模块结构障碍物时足够的运动 范围。可以用驱动器实现门的附加的运动以打开用于基片传送的端口 ， 该驱动器枢转到某一位置，使得当打开/关闭时，门的运动大致平行于
EFEM的面。装载端口才莫块可以具有用于检测传送容器内部的基片的存 在的传感器。与打开访问端口的端口门的运动同时，传感器被促动以访 问传送容器内部并且运动以扫描传送容器的内部。传感器连接到控制系 统以识别传送容器内部的基片的存在、位置和朝向。如将在下文中更进 一步地描述的，另 一 个特征为装载端口模块可以为智能的装栽端口模 块。装载端口可以具有可通信地连接到控制系统、控制器和传感器的集 成的用户接口，允许使用者本地输入数据、信息、并且编程以操作和对 处理装备的健康状态监测。用户接口可以具有集成到装载端口模块的图 形显示器，该图形显示器能够图形地显示与装备的希望的操作状态和健 康状态数据相关的信息，以及控制系统内可以获得的任何希望的可访问 的信息。用户接口可以具有用于连接诸如示教盒的外设并且允许当外设 连接到用户接口时与外设备双向通信的适合的1/0端口。装载端口模块 还可以提供有定位为用于观察希望的自动控制部件的运动的照相机。照 相机可以可通信地连接到控制系统，控制系统合于地编程以从照相机信
号识别自动控制部件的运动中的错误。用户接口的显示器可以显示通过 照相才几产生的碎见图帧或^见频流。
也参考图2且现在更加详细地描述，图2为根据此示例性的实施例 的处理装备的装载端口模块24的透视图，装载端口模块24具有框架29, 框架29可以通常限定(如上文中所述)传送容器保持或支撑区域28和 可关闭的端口 300，基片通过端口 300传送进出前面的区段壳体16内 部的微环境。如将在下文中更进一步地描述的，EFEM的壳体16和装载 端口模块24连接以形成从外部大致关闭的腔室或空间25,并且如上文 中所述，在前面的区段12内提供受控的或微环境。例如，前面的区段 可以包括受控的空气流动系统(没有示出)，诸如通风口、天窗、层流 系统，以避免颗粒污染物进入前面的区l殳12内的微环境。如图1和2 所示，装载端口模块24的传送容器保持区域28可以具有初级或第 一站 36和次级站34。在此实施例中，保持区域28的每个站36、 34能够保 持传送容器T,然而在替代的实施例中，传送容器保持区域可以具有更多或更少的保持站，并且每个保持站能够支撑任何希望的数量的基片传
送容器。示出为安置在保持站36、 34上的传送容器T示例性地示出为 前面开口统一规格盒(FOUP)型容器，然而在替代的实施例中，装载 端口保持区域的保持站能够支撑任何希望的类型的传送容器，诸如 SMIF容器。在图l所示的实施例中，前面的区^殳12具有定位在前面的 区段12的前面的面12F上的装载端口模块24是示例性的。在此位置， 装载端口模块24可以定位为促进使用诸如来自Brooks Automation, Inc 的AeroLoader⑧的自动化的材料操纵系统(AMHS )(没有示出)将传 送容器T放置到装载端口模块保持区域28的至少一个保持站34、 36上 和从装载端口模块保持区域28的至少一个保持站34、 36移除传送容器 T。如图1-2所示，装载端口才莫块保持区域28从前面的区段的面12F 向前突出，并且用于用AMHS将传送容器T移除/放置在保持区域28上 的访问可以从顶部或前面。在替代的实施例中，装载端口模块可以根据 需要定位在前面的区段的其它侧上。在再一个替代的实施例中，装载端 口才莫块可以定位在前面的区段12的两个或更多侧上。如图2所示，此 示例性的实施例中的装载端口模块24可以具有从装载端口模块24的底 板向外突出的延伸区38。
现在也参考图3,图3示出了装载端口模块24的框架29的透视图。 在示例性的实施例中，框架29可以包括底板292和刚性构件轨道294。 底板292和轨道294可以由钢制造，诸如任何可在市场上购买到的标准 结构钢(例如，ASTM A36)轧制的或冲压的希望的厚度的板或区段， 以适合框架上的预期的负载。根据需要，底板和轨道可以由高强度钢(例 如，ASTMA242)制造，以便更进一步地减小装载端口模块的重量。在 替代的实施例中，可以使用任何希望的金属。底板292可以相对于前面 的区段12的安装面12F的尺度根据需要确定尺寸。在图1所示的实施 例中，前面的区段12具有两个大致相同的装载端口模块24,(然而在 替代的实施例中，前面的区段可以根椐需要具有更少或更多的装载端口 模块)。因此，每个装载端口模块24的框架29可以延伸例如前面的区 段的宽度的大约一半。底板292的高度可以延伸例如前面的区段的完整 的高度，或者可以延伸前面的区段的一些较少的部分以允许与前面的区 段壳体16的适当的接口和密封。如图3所示，在此示例性的实施例中， 示例性地示出为具有通常通道截面的4九道294放置在底泽反292的侧向的
12边缘处。在替代的实施例中，轨道可以具有任何希望的标准的轧制的或
冲压的区段(例如，T形，角度等)，并且可以根据需要定位在底板上 以为框架提供希望的强度和挠曲刚度。如果希望的形状/尺寸不是标准可 得到的，可以通过切割标准的区段上的一个或多个凸缘的部分容易地形 成希望的形状/尺寸。在此实施例中，底板292可以在一端具有升高的凸 缘292F (看图3)并且可以成形为(例如，通过冲压或轧制)在另一端 形成向外突出的通道2910。轨道294和升高的凸缘292F和通道2910可 以连接以形成通常的结构的盒子构造(这4吏得框架的翘曲最小)并且提 供自支撑结构。在替代的实施例中，底板可以以任何其它希望的方式成 形，并且数量可以更多或更少的轨道可以根据需要定位以提供希望的结 构性质。在此实施例中，底板292和轨道294可以焊接在一起，诸如通 过SMAW、 MIG或TIG焊接。焊接可以为点焊或连续焊接。在替代的 实施例中，底板和轨道可以通过诸如铜焊、压力或化学结合或机械紧固 的任何希望的手段结构地联合。在再其它的实施例中，框架底板和轨道 可以在框架的形成期间集成，使得框架为单一构造的单件的构件。作为 自支撑的结构，框架围绕装载端口模块(LPM) 24以和安装到框架的全 部LPM部件(在下文中描述)作为一个单元一起^^皮传送，不再需要更 进一步的铜焊或支撑以维持结构适合性。
如图3最佳地示出的，在此实施例中，底板292具有形成在部分2910 内的开口 2912和形成在;f反的下部的部分内的开口 2914。如上文中所述， 开口 2916也形成在底寿反292内，以限定装载端口才莫块的访问端口 300。 如将在下文中更加详细地描述的，开口 2912可以在底^1中心线上居中 并且确定尺寸为适合用户接口 102 (看图2)的图形显示器。在替代的 实施例中，显示器开口可以具有任何适合的位置、尺寸和形状，以将图 形显示器定位和安装到框架。如图3可见，在实施例中在底板的下部的 部分的开口 2914大致;波通常盒子形状的壁298围绕。盒子形状的壁298 可以由片金属制造，诸如钢，并且可以通过点焊、化学结合或任何其它 希望的手段联合到底板292。盒子形状的壁298可以定位在装载端口模 块的延伸部分38 (看图2)内。如将在下文中更进一步地描述的，盒子 形状的壁298可以形成用于访问端口门30D (看图1)的操作机构的窗 扉和支撑件。在此实施例中，并且如将在下文中更加详细地描述的，门 」燥作才几构延伸通过开口 2914以与门接合。门操作才几构定位在i4伸部分38内移除或至少最小化门操作机构在前面的区段的壳体16内占用的空 间。这又可以允许与现有的装备相比减小前面的区段的壳体16的尺寸。
在此实施例中，底板内的开口 2914可以不关闭或密封，导致在前 面的区段的壳体16的内部和盒子壁298内的空间之间自由连通。可以 通过关闭盒子壁298的前面的侧的盖片或盖38C (看图2)覆盖盒子壁 298。盖38C可以密封到底板292或装载端口的其它结构，使得当装载 端口对莫块24连接到前面的区^:的壳体16时，前面的区^a内的^:环境可 以延伸通过开口 2914进入装载口才莫块的延伸区38。在替代的实施例中， 装载端口模块的框架可以不具有用于门操作机构延伸通过框架的开口 。 如将在下文中更加详细地描述的，框架29的一部分可以可移除地安装 以提供对LPM部件的容易的访问。
仍然参考图3,框架29具有用于传送容器保持区域28的支撑结构 296。可以通过将钢(或任何其它希望的金属)板或片轧制、冲压或弯 曲成希望的构造形成支撑结构296。在示出的实施例中，支撑结构形成 为具有带凸缘的通道构造，具有平的上部区段296H、垂直的端壁296 和向内突出的凸缘296F。结构296可以为单一的构造，诸如当通过将单 件片金属弯曲成希望的构造形成时。在替代的实施例中，支撑结构可以 为许多件的焊接件或装配件，诸如例如将结构形成为在中心接缝线处通 过焊接、铜焊、结合或紧固联合的两个相似件。在形成结构296之后， 可以通过任何适合的手段将结构296接附到装载端口框架的底板292, 包括点焊、铜焊、结合或机械紧固。如图3所示，支撑结构296定位在 盒子壁298上方，并且盒子壁可以根据需要延伸并且联合到支撑结构 296,由此增加框架29的刚性。在此实施例中，支撑结构296还可以延 伸使得其例如通过焊接结构地连接到约束底板的侧向的侧的轨道294以 再次增加刚性。在替代的实施例中，传送容器保持区域支撑结构可以不 联合到装载端口冲莫块框架的盒子壁的侧轨道。如上文中描述的，尽可能 最大程度地使用标准的商业化的板和标准截面构件制造装载端口模块 框架29与现有的装备相比显著地减小和装载端口模块框架的制造相关 的成本和时间。现有的装载端口才莫块框架的制造通常使用由原料钢坯机 械加工成最终构造或另外特殊地铸造或形成为最终形状的构件，将这些 构件通过机械紧固联合在 一起形成框架。
现在也参考图4，示出了从与图2所示的相反的方向(后面)观察
14的装载端口模块24的另一个透视图。如图3和4所示，框架24可以提 供有受控的或基准面296D1、 296D2、 294D1 -294D4,以提供在安装到 或放置在装栽端口模块框架上的接口物品之间的适当的朝向和对准，以 及提供装载端口模块24自身(和安装到其的任何部件)和装备的前面 的或后面的区段12、 14的任何其它接口部件的适当的朝向和对准。例 如，通过线2916D1、 2916D2指示的基准面可以围绕底板292内的访问 端口孔2916的边缘建立。当端口关闭时，孔2916的边缘处的表面可以 被端口门30D接触(还看图2)，并且希望表面的平直度以及平面度(相 对于垂直的和水平的轴线)受控。传送容器保持区域支撑结构296也可 以提供有基准面，诸如例如相对于例如访问端口处的基准面2916Dl、 2916D2建立支撑结构296的平直度以及正交性的296D1、 296D2。如将 在下文中更进一步地描述的，这帮助确保适当的和可重复的对准用于在 定位在保持区域28上的任何传送容器和访问端口的门之间的接口。如 图4所示，基准面/线294D1 - 294D4可以提供在装载端口模块框架的后 面的侧上，以控制将装栽端口模块24接口到壳体的表面2941的平直度 和平面朝向。接口表面2941可以提供有用于将装载端口模块24和前面 的区段的壳体16固定到彼此的BOTLS型接口 (没有示出)。在替代的 实施例中，装载端口沖莫块可以具有任何其它希望的接口类型。与接口的 类型无关，装载端口才莫块框架的后面的侧上的基准面/线294D1-D4的 系统提供参考系统，该参考系统使得能够重复地对准装载端口模块24 和安装到装载端口模块24的部件与和装备IO相似的任何装备的前面的 或后面的区段12、 14。这使得具有与框架29相似的框架的装载端口模 块能够在不同的装备之间互换。在完成框架的制造之后，根据需要，可 以通过局部机械加工或任何其它希望的手段提供框架29上的基准面。 可以通过使用测试工作台或装配架或^f吏用光学对准系统确定表面。可以 根据需要提供可机械加工的原料或垫片以在形成基准面之前建立表面。 可以使用适配器(没有示出)将装载端口模块24接口到EFEM的外壳 16,在这里作为参考加入的99年2月11日提交的美国专利申请序号 09/600,829中讨论了适配器的示例。
如图4所示，装载端口模块框架29可以包括集成的安装表面和用 于支撑定位在前面的区段的微环境内的希望的自动控制部件的结构 2918、 2920。如上文中所述，处理装备的前面的区,殳12可以包括用于
15在传送容器T (如图1所示安置在装载端口模块上)和装备10的后面的 区段14之间传递基片的各种自动控制部件。在此实施例中，作为示例， 前面的区段12可以包括自动控制部件，诸如传送容器映射仪200 (还看 图6)、基片传送装备40 (还看图5)、对准器42 (还看图5)、和基 片緩存器44。但是，将在下文中更加详细地描述的映射仪200能够定位 为映射位于保持区域28上的传送容器T内部的基片。图5中示意性地 示出了基片传送装备40。传送装备40可以通常包括能够保持并且以e (旋转)和R (径向)运动(如通过图5中e和R箭头指示)传送基片 的传送部分40A。根据需要，传送装备40还可以包括在此实施例中能 够运动部分40A如通过图5中箭头L所示侧向地穿过装载端口模块的侧 向滑架系统40C。 0、 R运动部分40A可以为任何适合的类型和构造， 诸如SCARA型臂。作为示例，传送部分40A在图5中示意性地示出为 具有SCARA型构造(仅示出了臂的两个连杆，为了清晰省略了末端执 行器)。可以用于装备10的SCARA型臂的适合的示例为来自Brooks Automation, Inc的AcuTran 7枳d戒手。在替代的实施例中，0、 R运动传 送部分可以具有任何其它希望的构造。传送部分40A可以与驱动器一起 可运动地保持在壳体或外壳40A1内，该驱动器用于在通过图5中箭头 Z指示的垂直的或Z方向运动传送部分40A。夕卜壳40A1可以安装在侧 向滑架系统40C的滑架(没有示出)上。对准器42(图5中以虚线示出) 可以为{壬{可适合的类型，i者长口 Brooks Automation Inc. AcuLigner 7。对准 器42定位为允许传送装备40从其上拾取/放置基片。緩存器44可以具 有允许在前面的区段12内部緩存希望的数量的基片的任何适合的构造。 在替代的实施例中，前面的区段可以具有其它不同类型的自动控制部 件，或更多或更少的相似的自动控制部件(例如，多于一个映射仪、对 准器)。如上文中所述，在此实施例中，映射仪200、传送装备-40、对 准器42和緩存器44可以安装(直接或间接地)到装载端口模块框架29 以集成到装载端口模块24。因此，在安装或移除装载端口模块自身时， 实现映射仪、传送装备、对准器和緩存器模块到前面的区段12的安装 或从前面的区段12移除。另外， 一个或多个装载端口模块部件，例如 传送装备、对准器和緩存器可以安装在装载端口模块24的子模块(没 有示出)上，当将LPM安装到外壳16时，该子模块可以被移除和安装 到LPM上。全文作为参考加入这里的04年6月15日提交的美国临时专利申it 60/579,862中描述了用于LMP的可移除的子冲莫块的另 一个示 例。
如图4所示，用于传送装备40的安装表面或结构2918、 2920 (在 图4中示意性地示出)从框架29悬置。表面或结构2918、 2920可以以 任何适合的方式形成，并且在图4所示的实施例中定位在框架的轨道 294上。在替代的实施例中，传送装备安装表面/结构可以定位在具有希 望的强度和硬度的框架的任何其它希望的部分上。安装表面2918、 2920 可以相对于框架29的参考基准294D1 - 294D4定位，并且可以提供用 于侧向滑架系统40L或在传送装备不包括侧向滑架系统的情况中用于 e、R运动传送部分40A的外壳40A1的接附点。相似地，安装结构2923C (看图5)可以提供为用于将对准器42安装到装载端口模块，以及用于 将緩存器安装到装载端口^f莫块的安装结构(没有示出)。还对于框架的 参考基准294D1 - 294D4在希望的公差内控制这些支撑结构的位置。从 而，装载端口模块的框架29并且因此装栽端口模块可以与其它相似的 装载端口模块完全地可互换。
装载端口模块框架29还包括允许装载端口模块并排接附形成如图 5所示的超级或复合4莫块241的侧向接口系统2922、 2924 (看图4)。 在此实施例中，在装载端口模块24的每个侧向的侧上提供一个侧向接 口系统2922、 2924。因此，其它冲莫块可以接附到装载端口冲莫块框架的任 一或全部侧。装载端口才莫块之间的接口系统2922、 2924可以包括对准 装置2922A、 2922P (仅示出了用于系统2922的对准装置，系统2924 是相似的)以对准接附到彼此的模块。例如，在此实施例中，对准装置 可以包括相对于诸如在轨道294内的基准294D2的希望的基准精确地定 位的^L2922A。图4中示出了三个孔2922A,然而在替4戈的实施例中， 对准装置可以包括任何希望的数量的孔。对准装置还可以包括用于插入 孔2922A中的每个的定位销或配合的销2922P (图4中仅示例性地示出 了一个销2922P) 对应的销2922P可以插入通过一个装载端口模块的 框架29内的相应的对准孔2922A并且通过与联合的装载端口模块框架 内的孔2922A相似的匹配的孔(没有示出)。这建立了邻近的装载端口 模块与彼此和与整体的参考的对准。在对准之后，局部参考基准(为每 个装载端口模块形成基准平面，如通过用于框架29的参考基准294D1 - 294D3例示的)与图5所示的超级模块的参考基准面29D5大致共面。接口系统2922、 2924还可以包括侧向的安置表面(图4中仅表面2924S 可见)和密封装置29240。诸如表面2924S的安置表面允许邻近的装载 端口沖莫块邻接在一起，并且密封装置29240 (可以由任何适合的弹性体 或粘弹性的材料形成)密封邻近的框架构件之间的间隙，以维持穿过复 合模块的面的微环境。例如机械紧固件的紧固系统(没有示出)、或通 过焊接接附、或结合可以用于将装载端口模块固定到彼此。任何希望的 数量的装载端口模块24可以以此方式并排接附。
图5为通过并排接附若干装载端口模块24A、 24B、 24C形成的复 合装载端口模块24，的透视图。在示出的实施例中，复合模块24，包括三 个单独的装载端口模块24A、 24B、 24C。在替代的实施例中，复合模块 可以由任何希望的数量的单独的装载端口模块形成。装载端口模块24A、 24B、 24C与上文中描述并且在图2-4中示出的装载端口模块24大致 相似。通过与接口系统2922、 2924 (看图4)相似的接口系统将装栽端 口模块24A、 24B、 24C接附到彼此，接口系统都对准单独的模块与参 考基准平面29D5 (如上文中所述)并且联合单独的模块以形成单一的 集成的单元。复合模块24，的框架29，为单独的模块的框架29A、 29B、 29C的集成的复合物。从而，复合装栽端口沖莫块24，可以沿接附到其的 组合的自动控制部件40、 42作为整体安装到装备的前面的区段12或从 装备的前面的区段12移除。在图5所示的实施例中，可以将传送装备 40安装到与模块框架29A、 29B、 20C中的一个或多个的安装结构2918、 2920相似的安装结构。此实施例中的侧向滑架系统40C沿全朝三个模 块24A、 24B、 24C延伸。从而，传送部分40A能够一黄过(在通过箭头 L指示的方向)复合模块24的整个宽度。在替代的实施例中，复合模块 中的一个或多个模块可以具有安装到其的专用的传送装备。在图5所示 的实施例中，模块24C具有用于安装对准器42的支撑结构2923C.在 替代的实施例中，对准器支撑结构可以在形成复合模块的任何单独的模 块上。如上文中所述，单独的模块24A、 24B、 24C的框架使得能够在 没有任何附加的框架支撑构件的情况下将模块束缚在 一起，以形成任何 希望的宽度的复合模块(如图5所示)。然而，每个单独的冲莫块24、 24A、 24B、 24C的框架29使得每个模块能够独立地安装到前面的区段的壳体 16。
再次参考图1-3，装载端口模块24的传送容器保持区域2 8可以具
18有上部支撑站36和下部支撑站34,每个支撑站36、 34能够保持或支撑 如图1所示的传送容器T。在此实施例中，下部站34通常定位在上部站 36下面。下部站34可以包括能够共形地接合传送容器T的结构的相反 的构件34L(图3中仅示出了其中一个)，使得当放置在下部站34内时， 从构件34L支撑传送容器。图9A-9B分别为示例性的基片传送容器T 的前^L和底一见透^L图。图9A-9B中的容器T示出为具有FOUP型构造。 在替代的实施例中，基片容器可以具有任何其它希望的构造，如图9A 中最佳地示出的，传送容器T通常具有外壳T2和可移除地连接到外壳 的外壳盖或门T4。外壳T4具有上部表面T6，上部表面T6具有从其突 出的固定物T8。固定物T8可以包括从外壳的上部表面T6偏移某一距 离的侧向的凸缘或向外突出的安置表面TIO。安置表面T10可以为符合 SEMI; E47.1 - 1001的操纵凸缘的部分。安置表面T10可以用来接合自 动化的材料操纵系统(诸如AeroLoader )的容器传送器的联结部分(没 有示出)并且由此支撑来自传送器的容器。再次参考图2-3，装载端口
有角度或通常L形构造。构件34L具有如图所示的向内突出的凸缘34F。 在替代的实施例中，支撑构件34L可以具有任何其它适合的形状。支撑 构件34L可以为例如金属、塑料、或任何其它适合的材料，并且可以如 图3所示连接到装载端口框架29的支撑结构296。向内指向的凸缘34F 确定尺寸为被接纳在传送容器上的安置表面T10(看图9A)和容器的上 部表面T6之间。相反的构件34L的凸缘34F充分分离以允许容器T的 支撑固定物T8插入凸缘之间，向外突出的安置表面T10悬于(至少部 分地)对应的凸缘34F之上。/人而，当装载到下部站34内时，通过安 置在凸缘34F上的安置表面T10支撑传送容器T。
在此实施例中，操作者可以通过插入容器(在通过图2中的箭头I 指示的方向)使得固定物T8在凸缘34F之间运动将传送容器T手动地 定位在下部站34上。在替代的实施例中，下部支撑站的支撑构件可以 具有任何其它希望的朝向，以允许从任何其它希望的方向定位传送容 器。可以以大致反转的方式实现从下部站34移除传送容器T,使用者在 与安装相反的方向手动地撤回容器。下部支撑站34提供具有另一个容 器贮存位置的装载端口模块，其中，当上部支撑站36被另一个传送容 器占据或在一些状态(诸如测试)中防止将传送容器T放置在上部站上时，使用者可以放置传送容器T里。如上文中所述，在替代的实施例中， 装载端口模块可以不具有在传送容器保持区域28内的下部支撑站。
现在再次参考图2,装载端口模块24上的传送容器保持区域28的 上部支撑站36通常包括基础支撑件或架子50和可运动地安装在架子上 的滑架或往复移送装置52。往复移送装置驱动系统54将往复移送装置 52可操作地连接到架子50并且能够在架子上运动往复移送装置52。驱 动系统54在第一位置和第二位置之间运动往复移送装置(在通过图2 中箭头M指示的方向)。如将在下文中更进一步地描述的，往复移送装 置52构造为允许传送容器T放置在其上。第一往复移送装置位置可以 布置为使得可以通过自动化的材料操纵系统(没有示出)将传送容器T 自动地定位在滑架上(或从滑架上摘下)。如将在下文中更进一步地描 述的，往复移送装置52可以运动到的第二位置定位为使得往复移送装 置上的传送容器T可以对接到门30D (看图1)。当往复移送装置处于 此笫二位置时，其上的传送容器T定位在为了方便将被称作对接位置的 位置。如将在下文中更进一步地描述的，控制器400可通信地连接到往 复移送装置上的传感器和驱动系统。
如图1所示，传送容器T放置在往复移送装置52上，容器的底部 表面安置在往复移送装置上。因此，如将在下文中更进一步地描述的， 往复移送装置52构造为共形地接合传送容器T的底部。图9B为示出了 示例性的基片传送容器T的底部T3的特征的底视图。在此实施例中， 传送容器的底部T3具有通常符合SEMIE47.1中的M^范的特征。在替代 的实施例中，基片传送容器的底部可以具有任何其它希望的特征。在此 情况中，底部T3通常包括搬运器感测垫T12、前段制程(FEOL)和后 段制程(BEOL)信息垫T14、 T16每个一个、搬运器容量(即，基片保 持位置的数量)信息垫T18和盒子或盒信息垫T20。容器底部T3还可 以包括用于被往复移送装置上的定位/动态联结销接合的槽T22。底部表 面内的第一凹进处T24提供为第一保持特征。容器的底部还具有形成在 其中的第二保持特征T26。第二保持特征通常包括形成在底部内的通常 圆形的凹进处T30，其具有外部孔口 T32,具有大致弄成方形的边缘T34 (形成接合唇部T36 )。
图7A-7D分别为往复移送装置52和往复移送装置安置在其上的 支撑架子结构的部分的示意性的透视图、顶视图、前视和侧视图(支撑架子结构50仅在图7C-7D中可见)。往复移送装置52通常包括底盘 或框架55和定位在底盘上方的盖56。往复移送装置52还可以通常具有 用于帮助将容器T正确地定位在往复移送装置上的定位特征58、用于将 安置的容器T确实地联结到往复移送装置的联结特征60、和用于检测容 器T在往复移送装置52上的存在和准确的放置的检测系统62。现在也 参考图8,图8示出了往复移送装置52的局部剖视图，底盘55可以具 有任何适合的形状，并且可以由任何适合的材料制造，能够支撑与传送 容器T在往复移送装置上的放置和移除以及容器和往复移送装置在第一 和第二位置之间的运动相关的静态和动态的负栽。底盘55可以具有允 许往复移送装置52 (在通过图2中的箭头M指示的方向)相对于装载 端口;f莫块框架的支撑架子50自由地运动的诸如滚子或滑板的运动系统 (没有示出)。可以通过框架29 (看图3)的支撑结构296形成图8中 部分地示出的支撑架子50 (还看图2)。架子50可以包括形成在框架 结构296 (例如顶板296H或侧板296E )上或从框架结构296悬置的轨 迹或轨道(没有示出)，底盘55的运动系统骑在其上。容器定位特征 58、联结特征60、冲全测系统62和盖56安装到底盘55。
如图7A-7B最佳地示出的，在此实施例中，往复移送装置52上的 容器定位特征58可以包括突出的接合构件64。在此实施例中，接合构 件64可以具有通常截头棱锥体的形状，通常符合容器的底部T3内的定 位凹进处T24 (看图9B)的形状。接合构件64可以锚定到底盘55,并 且突出通过盖56内的适合的开口充分在盖的上部的表面56U上方，以 当容器T安置在往复移送装置52上时接合容器内的定位凹进处T24。 接合构件64可以具有用于与容器定位特征的边缘合作的凸轮表面64C, 以便帮助将容器T适当地自动地定位在往复移送装置上。在替代的实施 例中，往复移送装置可以不具有类似构件64的接合构件。在此实施例 中，往复移送装置52可以具有定位柱66。柱66可以用作帮助将容器T 正确地定位在往复移送装置52上以及提供将容器T确实地联结(即， 运动的耳关结)到往复移送装置52的装置的定位特征。如可以从图7B和 9B认识到的，柱66定卩立在往复移送装置52上以与容器底部T3内的槽 T22合作，如图8所示，可以由诸如金属或塑料的任何适合的材料形成 的柱66可以直接锚定到往复移送装置的底盘54。柱66可以突出通过盖 56 (内的适合的孔)以在槽T22 (看图9B)内接合容器的底部。在此实
21施例中，柱66可以限定用于往复移送装置上的传送容器T的支撑平面。 如图7D和8所示，柱66的端部或顶端66T可以具有通常圆锥形的或倒 圆的形状。这在往复移送装置52和容器的底部之间提供了希望的三个 接触点，以精确地和可重复地限定用于往复移送装置上的容器的支撑平 面。如可以认识到的，柱66支撑容器T的重量，并且从而具有诸如图8 所示的径向凸缘的构造，以将容器的重量分配到底盘。柱66的圆锥形 的顶部66T还可以用作靠在容器底部内的槽T22的倾斜的侧上的凸轮表 面，以沿支撑平面机械地引导容器，直到建立往复移送装置上的容器的 希望的位置(通过槽T22和柱66的顶部66T的几何形状实现)。
往复移送装置52的检测系统62通常包括分布在往复移送装置的区 域上的若干开关68。开关68可以定位在往复移送装置52上以与容器的 底部上的搬运器感测垫T12、 FEOL和BEOL信息垫T14、 T16、搬运器 容量和盒信息垫T18、 T20合作。图7B示出了覆盖在盖56上的容器T 的底部上的垫T12-T20和往复移送装置52的开关68的位置。在此实 施例中，开关68通常为相同的类型并且与彼此相似并且将在下文中参 考代表性的幵关描述。在替代的实施例中，对应能够通过容器T的不同 的信息垫T16-T20中继到给定的开关的不同类型的信息，不同种类的 开关可以用于往复移送装置上的不同的位置。代表性的开关68的结构 在图8中最佳地示出。在此实施例中，开关68可以为通常包括基础或 传感器部分680和促动部分681的光电开关。如将在下文中更进一步地 描述的，促动部分681为弹簧加载的，并且通过与容器底部上的对应的 垫接触被促动。传感器部分680检测促动部分的促动，将信号发送给控 制系统。如图8所示，传感器部分680可以安装在定位在往复移送装置 的底盘55上的PCB74上。PCB74可以具有形成在其中的用于电力和信 号传输的迹线68E。迹线68E可以终止于适合的表面触点(没有示出)， 电子部件的触点终端可以根据需要连接到该表面触点(使用用于将电子 部件安装到PCB上的任何适合的手段，包括齐平波动焊)。传感器部分 680的触点终端(电力和信号)可以以相似的方式连接到PCB74内的迹 线68E。将诸如开关68的传感器部分的电子部件安装到具有集成的迹线 的PCB用于消除否则将用来将部件连接到电源和控制系统的单独的导 体以及单独的导体在底盘上的昂贵并且费时的安装。PCB内的迹线68E 可以延伸到终端连接器(没有示出)，例如，柔性的线束72 (:还看图
227D)的形成连接器的端部可以配合到该终端连接器。如可以认识到的， 线束可以链接PCB74内的迹线68E，并且从而将诸如检测器开关68的 传感器部分的电子部件链接到控制系统400 (看图2)和电源(没有示 出)。传感器部分680可以具有例如诸如LED的适合的光源和诸如光 电管的光检测器。在开关的未激活的状态，光源可以例如照明光电管， 导致传感器部分发送信号(经由迹线68E)到控制系统400，控制系统 将该信号解释为开关的未激活的状态。在诸如通过开关的促动部分681 的一些部分阻塞光源时，来自光电管的信号改变，控制系统又读取该信 号为开关现在处于促动的状态。在替代的实施例中，传感器部分可以构 造为使得当开关处于未激活的状态时阻塞光源，并且当处于激活的状态 时照明光检测器。
如图8所示，开关68的促动部分681集成到往复移送装置的盖56 内。偏置促动部分681的弹簧在此实施例中通过盖56的一部分形成。往 复移送装置52的盖56可以例如由塑料或片金属或任何其它适合的材料 制造。在此实施例中，盖56可以为单件的构件(即，具有单一的构造)。 在盖56为塑料的情况中，可以通过例如注^^莫或任何其它适合的工艺形 成。如图7A-7D所示，在此实施例中的盖56可以具有通常六面体的形 状，具有上部表面56U和从上部表面突出的周缘壁56W。在替代的实施 例中，往复移送装置盖可以具有任何其它适合的形状。如图2最佳地示 出的，当安装到底盘55上时，盖56用于将底盘大致封闭在其中，但是 在盖周缘壁56W的底部边缘和架子50之间提供孩吏小的间隙，以在最小 化灰尘或其它微粒进入往复移送装置系统的同时促进往复移送装置自 由:l也相对运动。如图7A所示，盖的顶部表面56U具有形成在其中的通 孔56H。如图8最佳地示出的，孔56H允i午柱66延伸通过盖56。同样 如图8所示，在此实施例中，孔56H还用于将盖56定位在往复移送装 置底盘55上(孔边缘和对应的柱66之间的间隙足够小，使得柱66提 供盖56相对于底盘55的准确的定位)。此外，如图8所示，在此实施 例中，孔56H的边安置在柱66的圈环66C上，由此从柱支撑盖56。在 替代的实施例中，盖可以具有用于接附盖和底盘的任何其它希望的安装 系统。如图7A-7B所示，盖的上部表面56U具有形成在其中的若干弹 性地柔性的突出部或指状物70。突出部70可以通过任何适合的手段形 成，诸如切割盖56的顶部表面56U。突出部70的数量可以与检测系统62的开关68的数量相符。在此实施例中，八个突出部70形成到盖的上 部表面内。在替代的实施例中，盖可以具有形成在其内的任何其它希望 的数量的柔性的突出部。在其它替代的实施例中，柔性的突出部可以形 成在盖的任何其它希望的表面内。在图7A-7B所示的实施例中，突出 部70与彼此大致相似，并且因此，突出部70可以具有相似的弹性地柔 性的特性。在替代的实施例中，不同的突出部的形状(即，长度，横截 面)可以变化以提供具有不同的柔性特性的不同的突出部。在此实施例 中，突出部70的顶端70E定位在盖上，使得当将盖安装到底盘时，每 个顶端70E大致定位在对应的开关68(看图8 )的传感器部分680上方。 在替代的实施例中，突出部可以放置为使得突出部的任何其它希望的部 分(即，突出部中间区段)定位在对应的开关的传感器部分上方。盖的 上部表面56U上的突出部朝向可以根据需要另外选择，以为突出部提供 无约束的悬臂的柔性。图7A-7B所示的突出部70的朝向仅是示例性的， 并且突出部可以具有任何其它希望的朝向。
如图8最佳地示出的，在此实施例中，开关68的促动部分68I安装 或定位在对应的突出部70的顶端70E上。促动部分681可以为与突出 部70 —起的单一的构造(例如在盖的上部表面的模制过程期间形成) 或可以用诸如粘合剂的适合的结合手段安装到突出部70。促动部分681 充分地从盖的上部表面56U突出以接触放置在柱66上的容器的对应的 垫T12-T20,并且通过此接触产生足够的突出部70的偏转以运动促动 部分的断续器标志部分68F，以(例如，阻塞光源并且)导致激活开关 68。当从往复移送装置52移除容器T时，柔性的突出部70弹回未偏转 的位置，将开关返回未激活的状态。如可以认识到的，如果容器T没有 适当地放置在往复移送装置上，在容器的垫T12-T20和开关68的促动 部分681中的至少一些之间可以存在一些未对准，使得开关中的至少一 些不激活。 一些激活的开关和其它未激活的开关的信号组合可以被控制 系统400解释为指示容器T在往复移送装置上的不适当的放置。控制系 统编程可以随后防止往复移送装置52的运动并且命令矫正动作以矫正 放置或从往复移送装置移除容器。
如上文中所述，往复移送装置52可以具有用于将传送容器T确实 地联结到往复移送装置的联结特征60。还如上文中所述，柱66在往复 移送装置的运动期间用作往复移送装置和容器之间的运动的联结装置。在此实施例中，往复移送装置联结特征60还可以包括容器夹持系统61 。 图10为根据一个示例性的实施例的夹持系统61的透视图。夹持系统61 通常具有可向上和向下运动并且可旋转以通过容器保持特征T26 (看图 9B)接合传送容器的夹持键76。在图10所示的实施例中，夹持系统61 具有转动导向螺杆78的驱动马达74。如将在下文中描述的，夹持键76 安装或以其它方式连接到导向螺杆78 ，使得导向螺杆的旋转为夹持键提 供轴向和旋转运动。马达74可以为任何适合的类型的马达，诸如能够 双向旋转的AC或DC马达。如图7D所示，马达外壳可以安装到往复 移送装置底盘55。可以为任何适合地确定尺寸的导向螺杆的导向螺杆 78连接到马达74的输出。马达74可通信地连接到控制器400,控制器 400命令马达旋转的方向以及旋转的程度。马达74可以包括编码器或用 于识别轴旋转并且将适合的信号发送给控制器400的其它适合的设备。 如图10所示，在此实施例中，夹持键76具有联结区段76C和键区段76K。 联结区段76C确定尺寸为被接纳通过容器底部内的开口 T34,可以具有 任何适合的形状并且具有确定尺寸为允许夹持键76螺紋联结到导向螺 杆上的有螺紋的钻孔76B。键区段76K定位在夹持区段的顶部。夹持键 76可以为通过铸造或钢坯机械加工形成的单一的构造。在替代的实施例 中，联结区段和键区l殳可以通过任何其它适合的装置连接。如图10所 示，键区段76K具有通常伸长的形状，具有从联结区段76C向外延伸的 突出的凸缘76R，以与联结区段76C形成通常T形的构造。键区段76K 的伸长的形状仅当键区段76K定向为使得其较大的尺度与开口 34的较 大的尺度对准时允许键区段76K通过容器保持特征的开口 T34 (看图 9B)。此定向将^皮称作键的插入/移除位置。如可以从图9B和10认识 到的，键旋转(在通过开口 T34插入凹进处T30之后)到键76K的较大 的尺度相对于开口 T34的较大的尺度成一角度的朝向运动凸缘76F以接 合容器保持特征26的接合唇部T36。在此实施例中，当较大的尺度与孔 T34的较大的尺度大致正交时，键76K处于接合位置，并且键凸缘76F 和唇部T86之间的接合最大。
为了用单一驱动马达提供键76的轴向运动(如通过图10中的箭头 KA指示并且用于将键插入保持特征26/从保持特征26移除)和键76的 旋转运动(如通过图10中的箭头KR指示并且用于键接合/脱离)，此 实施例中的夹4争系统61可以具有反退回螺母80和旋转停止器82、 84.,
25反退回螺母80具有有螺紋的钻孔，使得螺母可以安装在导向螺行78上。 螺母80还具有用于分别与旋转停止器82、 84合作以在希望的旋转位置 限制螺母的旋转的停止表面80 CW和80 CCW。停止表面80 CW接合 停止器82以停止螺母的顺时针的旋转，并且停止表面80 CCW接合停 止器84以停止螺母在逆时针方向的旋转。在此实施例中，停止器82、 84和螺母上的停止表面80CW、 80CCW的相对位置使得将螺母的最大 旋转限制到大约90度(键插入/移除和接合的位置之间的角度差异)。 例如，在图10中，螺母80示出为定位为顺时针的停止表面80CW靠在 顺时针的停止器82上。 >火而在逆时针的^亭止表面80 CCW的面和逆时 针的停止器84之间形成角度间隙R。在此位置的角度间隙R等于螺母 的最大角度行程，在此实施例中为大约90度。在替代的实施例中，停 止器和螺母上的停止表面的几何形状可以建立为将螺母的最大旋转设 定为任何希望的量。如图10所示，螺母80和键76安装在导向螺杆78 上，使得螺母80的上部表面80S安置靠在键联结部分76C的底部上。 可以提供(通过螺母80和联结部分76C之间的相对旋转)在螺母80和 联结部分76C之间的希望的量的压缩预载，以在螺母80和导向螺杆78 之间产生希望的量的旋转摩擦，以确保当螺母旋转未被停止器82、 84 中的一个阻止时，螺母与螺杆78大致一同旋转。可以以接下来的方式 实现容器到往复移送装置52的夹持。在从检测系统62接收到容器T适 当地定位在往复移送装置52上的指示之后，控制器命令马达74操作以 例如在逆时针方向旋转螺杆78。在将容器T放置在往复移送装置52上 之后但是在命令马达运动之前，4建76定位为4定区,殳76K定位在定向在 插入/移除位置的容器底部T3的凹进处T30 (看图9B)内u螺母80被 顺时针的停止器82接合。螺杆78的逆时针的旋转逆时针旋转螺母80 和键76,直到螺母80接合逆时针的停止器84 (在实施例中为大约90 度)。从而将键76旋转到接合位置(凸缘76F现在悬于容器接合唇部 T36之上)。控制器400命令螺杆78的继续的逆时针的旋转，这导致键 76和螺母80轴向向下运动，夹持容器接合唇部T36,并且从而将容器 夹持到往复移送装置。当从马达编码器接收到已经实现对于希望的量的 键轴向运动的螺杆旋转的数据时，控制器400停止旋转。为松开容器， 反转螺杆运动，这首先导致键76和螺母80抬离容器接合唇部T36 (键 和接合唇部之间的初始摩擦允许键/螺母和导向螺杆之间相对旋转)，随后将键76和螺母80旋转到顺时针的停止器82 (键现在脱离)，并且随 后将键和螺母轴向运动直到初始位置。可以随后从往复移送装置移除容 器。
在替代的实施例中，可以用双马达系统代替具有夹持系统的反退回 螺母构造的单一马达。在该情况中，马达可以为可反转的步进马达。一 个马达可以专用于提供键的轴向运动，而另一个马达可以专用于在插入 /移除位置和接合位置之间旋转键。轴向的驱动马达可以提供有导向螺杆 (与图10所示的导向螺杆78相似)，基础螺母可以可旋转地安装在该 导向螺杆上。可以通过将基础螺母链接到线性的导向轨道将在导向螺杆 旋转期间的基础螺母的运动限制为轴向运动。
可以将旋转的驱动马达安装或通过适合的传动装置以其它方式联 合到基础螺母，使得基础螺母的轴向的运动导致旋转的驱动马达的轴向 的运动。夹持键可以与图10所示的夹持键76相似，其可搡作以通过保 持特征T26 (看图9B)夹持传送容器。如上文中所述，夹持键可以可操 作地连接到旋转的驱动马达，使得可以通过旋转马达在插入/移除和接合 位置之间旋转键。通过轴向的马达产生的轴向的运动可以通过旋转的驱 动器给予夹持键。从而，如上文中所迷，堆叠的马达的构造可以为键提 供轴向的和旋转的运动以将容器T夹持到往复移送装置。
现在再次参考图2和7A-7D,可以通过驱动系统54在往复移送装 置的第一或装载位置和对接位置之间运动(在通过图2中箭头M指示的 方向)往复移送装置52。如图7C-7D最佳地示出的，此实施例中的往 复移送装置驱动系统54通常包括驱动导向螺杆57的电动马达53。在替 代的实施例中，往复移送装置可以具有任何适合的类型的驱动系统，诸 如气动的或液压的驱动系统。在此实施例中，电动马达53可以为任何 适合的类型的马达，诸如AC或DC马达、步进马达或伺服马达。马达 53固定地安装到架子结构50。导向螺杆57连接到马达的输出轴。马达 可以能够顺时针和逆时针旋转导向螺杆。导向螺杆57还驱动地接合到 往复移送装置的底盘55。导向螺杆和底盘之间的接合可以通过任何适合 的装置提供，诸如例如固定到底盘并且能够被导向螺杆螺紋连接地接合 的有螺紋的套筒。通过马达53旋转导向螺杆57导致套筒在导向螺杆上 轴向运动，并且从而导致底盘和往复移送装置52相对于马达53固定到 的架子50轴向运动。如图7C所示，马达53通过适合的线路91可通信
27地连接到控制器400。控制器400可以在线路91上将命令信号和电力(来 自适合的电源)提供给马达53。马达54可以包括用于将位置指示数椐 发送给控制器的马达编码器58E(看图7D)。控制器400能够处理马达 编码器数据以识别装载端口上的往复移送装置的位置。在替代的实施例 中，线性的编码器可以安装在往复移送装置和支撑架子之间，以识别在 运动期间的往复移送装置的位置。如图7C所示，在此实施例中，线路 91还可以包括能够检测对往复移送装置的运动的阻碍的挤压保护线路 90。 ^^压保护线路可以包括任何适合的类型并且具有能够测量到马达53 的电流变化的希望的灵敏度的电流传感器92。根据需要，电流传感器 92构造为监测通过线路91供应给马达53的电流。来自传感器92的测 量信号通过线路90传输到控制器400。根据需要，挤压保护线路90可 以为闭环或开环系统。如可以认识到的，当通过驱动马达53前进往复 移送装置并且遇到障碍物时，供应马达(经由线路91)的电流通常与通 过障碍物提供的对往复移送装置的运动的阻力的幅度成比例地增加。
"过量的"电流通过传感器92检测到并且信息经由线路90中继到控制 器400。传感器92能够将原始的或未处理的传感器数据发送给控制器 400。控制器可以编程序(诸如适合的算法)以处理来自传感器的数据， 以从噪声中识别何时指示障碍物的足够的幅度和足够的持续时间的过 量的电流正在供给到马达53。控制器400具有自动反转程序402 (看图 1),其中，在识别过量的电流时(并且因此识别对往复移送装置的运 动的障碍物时)，控制器将命令信号发送给马达53,停止之前命令的操 作并且反转马达方向。从而，实现往复移送装置52的运动的导向螺杆 57的旋转也反转，由此导致往复移送装置的运动反转以远离障碍物。往 复移送装置可以反转从编码器53E的信息建立的预先确定的距离。在替 代的实施例中，电流传感器92可以编,呈序以选择用于4全测过量的电流 的希望的设定点。在此情况中，电流传感器可以在^^测到具有超过编程 序的设定点的幅度和持续时间的过量的电流时将适合的信号发送给控 制器。 一旦接收到来自电流传感器的信号，控制器访问控制器存储器内 的自动反转程序402。这提供比使用可偏转(即，挤压)的棒的现有的 系统成本更低的优良的阻碍物检测和恢复系统。
现在再次参考图2,示出的实施例中的装载端口模块可以具有传送 容器前进4全测系统IIO(图2中示意性地示出)。容器前进4全测系统no
2为非接触式的系统，以检测安装到往复移送装置52并且通过往复移送 装置52前进的容器T的特征，并且实现停止往复移送装置，使得当容 器处于对接位置时，容器的前面的面处于希望的可重复的位置，而与不 同容器之间的公差变化无关。希望停止装栽端口往复移送装置前进运
动，使得在容器和装载端口框架29之间不实际接触的情况下，在容器 和装栽端口框架29之间的间隙最小。因为特别是在制造商之间容器尺 度将变化，在现有的系统中，往复移送装置的运动通常对于"最坏情况'， 调节，允许在大多数情况中的过大的间隙。装栽端口模块24的容器前 进检测系统110克服了现有的系统的问题，允许不同的容器停止为前面 的面在提供最小间隙的位置Ll处。在此实施例中，检测系统110具有 "穿透束"传感器构造，具有辐射能量的发射器或源和用于检测从发射
器辐射的能量的检测器。例如，在此实施例中，检测系统no可以具有
光源112，诸如连接到适合的远程光源的光纤的终端上的发光二极管或 激光二极管。系统110还可以具有适合的光感测部分114,诸如用于感 测来自源112的光束的光电管。如图2所示，光源112和传感器114定 位在往复移送装置52的相反的側上并且处于希望的高度，使得安装到 往复移送装置52并且通过往复移送装置52传送的容器T将中断通过源 112发射并且至少照明传感器114的感测部分的光束B。虽然没有在图 IO中示出，光源112和传感器114可以^皮容纳在适合的盖内，以实现接 触和微粒保护并且防止除了通过往复移送装置52传送的容器以外的物 体非故意地中断光束。如图2所示，传感器112、 114定位在往复移送 装置行进方向(通过图2中的箭头M指示)内的偏移的距离处，使得当 通过往复移送装置将容器T带到对接位置时，光束B从容器T的前面的 面的位置Ll间隔希望的距离d。如可以认识到的，当处于从对接位置 Ll距离d处时，通过往复移送装置前进的容器T的前面的面中断光束B。 控制器400用距离d编程。控制器400还用算法(图l所示的程序模块 401)编程，算法使用诸如可以通过马达编码器53E (还看图7D)提供 给控制器的往复移送装置运动信息和距离d确定何时停止往复移送装置 前进运动，使得往复移送装置上的容器T的前面的面处于位置LL因 此，当前进的容器T的前面的面中断光束B时，传感器114将适合的信 号发送给控制器400,通知控制器检测到容器的前面的面。如上文中所 述，控制器400随后可以确定何时命令往复移送装置停止前进，并且在
29正确的时间将命令发送给往复移送装置驱动区段54。照这样，通过往复 移送装置传送的每个容器T适当地定位在其对接位置，以使得容器的前 面的面处于位置Ll,而与容器之间的尺度变化无关。
如图1所示，当容器T处于对接位置时，容器的门T4可以被装载 端口模块访问端口 300的门30D接合。容器T的前面的面内的门T4在 图9A中示意性地示出。门T4可以包括当接合时将门T4保持在容器盒 子内的闭锁系统T40、 T42。用于容器门的闭锁系统的示例在全文作为 参考加入这里的1998年6月30日授权的美国专利No. 5,772,386中披露。 门闭锁系统T40、 T42可以包4舌可^fe转的毂T44,闭锁突出部T46可以 铰接地链接到毂T44。毂T44的旋转导致闭锁突出部T46促动，以接合 和脱离容器壳体。闭锁毂T44通过门T4内的闭锁键访问孔T50可访问。 容器门T4还可以具有如图9A所示的定位器销孔T52。再次参考图2, 装载端口模块的访问端口门30D具有与容器的门T4内的定位器销孔 T52和闭锁键访问孔T50互补的或匹配的构造的定位器销120和闭锁键 122。端口门30D内的定位器销120和闭锁键122可以与美国专利 No.5,772,386 (前面作为参考加入这里)中的定位器销和闭锁键相似。 端口门30D的闭锁键122符合容器门内的键访问孔T50和闭锁系统的毂 T44内的键孔的形状。当端口门30D接合容器门T4时，访问门30D上 的闭锁键122通过键访问孔T50进入形成在容器的闭锁毂T44内的键 孔。闭锁键122的旋转导致毂T44的旋转并且导致促动闭锁系统以接合 /脱离闭锁突出部，由此从容器锁定或解锁容器门T4。
如可以认识到的，闭锁键122可旋转地安装在访问门结构内。闭锁 键122可以包括被可枢转地保持在访问门内的心轴。心轴122S的远端 在图4中示出。图4还示出了用于操作闭锁键的驱动系统124。如图4 所示，闭锁键122独立地驱动。在此实施例中，闭锁键驱动系统124包 括两个伺服马达126A、 126B,每个用于促动一个对应的闭锁键。伺服 马达126A通过适合的传动装置128A链接到一个闭锁一建的心轴122S, 并且伺服马达126B通过不同的传动装置128B链接到另一个闭锁键的纺 锭轴。如图4所示，全部伺服马达126A、 126B和将马达链接到分别的 键纺锭轴的对应的传动装置128A、 128B是独立的。从而，每个键122 可以独立地促动。伺服马达126A、 126B可以可通信地连接到控制器400 以接收指令伺服马达的动作的操作命令，并且将适合的信号发送给控制器，以识别伺服马达响应运动命令完成的动作。根据需要，控制器可以
同步闭锁键122的促动，以在大致相同的时间运动通过大致相同的运动 范围。否则，控制器400可以允许每个键以其最优的速度旋转并且等待 来自伺服马达的命令的运动完成的信号。在每个情况中，与具有用于全 部闭锁一建的共用的驱动器的现有的系统相比，独立的驱动马达126A、 126B独立地驱动闭锁键12的每个提供对于闭锁/解开问题(诸如可 以通过端口门和容器门、或容器门和容器盒子之间的未对准、或对容器 盒子的损坏导致)的大约两倍的敏度。容器门闭锁系统T40、 T42的解 锁(通过如上所述端口门的闭锁键122的激活)从容器盒子释放容器门 T4。 一旦释放，接合到容器门内的闭锁键122用来从前面的门30D支撑 容器门T4。
图6 - 6A分别示出了装栽端口模块24的另 一后视透视图和侧视图。 如上文中所述，端口门30D可运动地安装到装栽端口;f莫块框架29。如 将在下文中更加详细地描述的，端口门30D可以相对于框架29充分地 运动以提供通过访问端口 300 (还看图2)的足够的访问，以促进基片 传送通过访问端口 。在图6中，端口门30D示出为处于为了方便将#皮称 作关闭或初始位置Dl的位置。在此实施例中，当被放置在其初始位置 时，门30D可以接触访问端口 30D的冲匡架边缘或边，以大致全面地密 封访问端口。在替代的实施例中，处于关闭位置的门可以不接触框架或 形成围绕访问端口的密封。在其它替代的实施例中，处于关闭位置的门 可以仅部分地堵塞访问端口 ，并且可以从围绕访问端口的框架边缘偏移 某一距离。装载端口模块24具有能够将端口门30D从关闭位置Dl运动 到在图6A中大致示出的打开位置D2的门传送系统]30。根椐需要，在 接合到容器门T4并且从容器盒子释放容器门之后，端口门30D可以从 其关闭位置运动。如上文中所述，在从容器盒子释放之后，容器门T4 :坡端口门30D支撑并且因此与端口门30D—同运动。此实施例中的门 传送系统130可以为电动积4戒驱动系统，然而在替4义的实施例中，可以 使用任何适合的驱动系统，诸如气动的或液压的驱动系统。传送系统13 0 在图6-6A中示意性地示出。传送系统130通常可以包括框架130F， 诸如步进马达的适合的驱动马达(没有示出)安装在框架130F上。框 架130F还可运动地支撑滑架134,端口门30D固定地安装在滑架134 上。适合的线性驱动传动装置132在框架内将驱动马达驱动地连接到门滑架，使得马达的搡作导致滑架沿传送系统驱动轴线(通过图6A中的 箭头DA指示)相对于框架130F运动。虽然能够沿驱动轴线DA运动， 滑架另外相对于框架130固定。线性驱动传动装置132例如可以包括通 过驱动马达的输出轴驱动并且接合到门滑架134上的螺母的导向螺杆。 如图6所示，传送系统130的框架130F通过可运动的底座138安装到 装载端口冲莫块的框架29。将在下文中更加详细地描述的可运动的底座 138允许传送系统框架130F相对于装载端口模块框架(围绕底座138的 枢转轴线)枢转(如通过图6A中的箭头P指示的)。当框架130F枢转 时，传送系统与滑架134和门30D —起也围绕底座188的枢转轴线枢转。 图6A最佳地示出了当端口门30D处于关闭位置D1时传送系统130 的位置。图6A还最佳地示出了在此实施例中端口门30D和传送系统的 驱动轴线DA之间的相对倾杀+。固定在滑架134上的端口门30D的朝向 与传送系统130的驱动轴线DA限定角度oc。当门30D处于关闭位置时， 门的前面的面可以与装载端口框架参考系统的垂直的轴线Z (即，访问 端口的后面的面)大致对准。处于关闭位置的端口门与垂直的轴线Z的 对准确保当容器处于如上文中所述的对接的位置时与容器门T4的正确 的接合。如图6A所示，在此位置中，传送框架130F向前倾斜，使得驱 动轴线DA与Z轴线形成角度ot。在此实施例中，为了打开端口门30D, 可以在通过箭头P指示的方向将传送系统框架旋转到驱动轴线垂直的位 置(在此位置中，驱动轴线识别为DA，)，并且随后沿驱动轴线DA，将 滑架134运动到位置D2。以与打开大致相似但是倒转的方式实现门的 关闭。如图6A所示，诸如电磁螺线管或气动活塞的适合的促动器136 可以用于枢转框架。如上文中所述，在此实施例中，门30D的朝向相对 于门滑架134固定，并且虽然滑架134能够沿轴线DA，相对于传送框架 130F平移，但滑架134遍及滑架在传送系统上的运动的全范围相对于驱 动轴线维持固定的朝向。因此，门30D的朝向相对于传送驱动轴线DA， 保持固定。此外，传送框架130F枢轴138的旋转导致门30D围绕枢轴 相当地旋转。例如，框架130F从关闭位置旋转通过角度a (由此将传送 系统驱动轴线定位到通过图6A中的箭头DA，指示的垂直的位置)将足 够地运动门30D,使得如果容器门T4 (看图9A)被支撑在端口门30D 上，容器门T4 4皮运动通过访问端口 300 (还看图1)进入前面的区段 12。在枢转之后^f旦是在平移之前的端口门30D的位置在图6A中通过线
32D2A示意性地示出。在此位置中，端口门30D相对于垂直的轴线Z成 一角度ot。在此实施例中，在将驱动轴线运动到垂直的4立置之后，可以 通过滑架134沿驱动轴线(通过箭头DA，指示)向下平移端口门30D到 位置D2。
再次参考图6-6A，在此实施例中，当轨道130F处于倾斜的位置 (通过图6A中的位置I指示)和当轨道被旋转到其垂直的位置时，门 传送系统130大致被容纳在装载端口模块24的前面的延伸区段38内部。 端口门30D安装到的滑架支撑件134S的部分可以突出超出访问端口 300的平面(如通过基底板292限定的，看图3-4)仅足够允许门和滑 架支撑件之间的连接。在图6-6A所示的实施例中，门和滑架爻撑件之 间的连接使得滑架支撑件134S的突出部分从访问端口的平面突出大约 与门的厚度相同的距离。如可以从图6-6A认识到的，将门传送系统 130放置在装载端口模块的前面的延伸区段38内部(即，在访问端口的 平面的前面)相当地消除对于容纳如在现有的系统中的具有前端^t块12 的传送系统的空间的需要。因此，与现有的系统相比，可以减、、用于端 部模块12的空间包络。另外，因为容纳门传送系统的延伸区段38定位 在传送容器保持站34的覆盖区内，此实施例中的装载端口模块24的总 的覆盖区通常与现有的装载端口模块相当。因此，前端模块12和装载 端口模块34的总的覆盖区小于现有的系统。
将门传送系统130安装到装载端口框架29的可运动的底座138在 图6 - 6A并且还在图11中示出。如上文中所述的底座138构it为允许 门传送系统的足够的枢转运动(在通过图6A中的箭头P指示的方向)， 使得门30D可以在其关闭和打开位置之间运动。在此实施例中，可运动 的底座通常包括基底区段138B和连接到基底区段的弹性地柔性的区段 138F。传送系统框架接附并且从柔性的底座138的弹性地柔性的区段 138F支撑，并且弹性地柔性的区段的柔性使得传送系统和门30D能够 相对于装载端口才莫块框架运动。在图6-6A所示的实施例中，可运动的 底座138代表性地示出为具有通常L形状或结构的角度构造，具有在底 座的底部处的基底区段138B和从基底区段通常向上延伸的柔性的区段 138F。底座138可以为单一构造并且可以由任何适合的材料制造，诸如 金属、塑料或复合物。在此实施例中示出为平的框架的基底区段138B 可以具有任何适合的形状，该适合的形状具有用于将底座安装到装载端
33口框架的足够的安装表面，诸如凸缘。基底区段U8B相对于柔性的区 段138F高度刚性，使得如上文中所述的用于传送系统的运动的底座138 的大致全部运动源自柔性的区段的弹性的屈曲。在此实施例中，柔性的 区段138F具有从基底区段悬臂的通常片簧或半片簧形状。在替代的实 施例中，柔性的区段可以包括任何适合的弹性地柔性的元件，诸如扭簧， 或能够产生传送系统的希望的运动以在关闭和打开位置之间运动门30D 的粘弹性的部分。在图6-6A和11所示的实施例中，可运动的底座138 的柔性的区段138F示例性的示出为单一片簧构件，并且柔性的区段可 以包括在单一平面内彼此并排地定位或在多个大致平行的平面内连续 地排列以共同偏转并且产生传送系统的希望的运动的任何希望的数量 的片簧构件。在此实施例中，柔性的区段138F接附(通过任何适合的 手段，诸如机械紧固件、冶金学或化学粘合剂将片簧区段结合到靠近传 送系统框架的底部130B (看图6)的传送系统框架130F。在替代的实 施例中，传送系统的可运动的底座可以定位在沿传送系统的长度的任何 希望的位置。如可以认识到的，柔性的区段138F定向为使得当门处于 其关闭位置(图6A所示的D1)时，片簧处于未偏转的构造。移动传送 系统130和打开门30D的促动器136的#:作导致底座133的弹性地柔性 的区段138F的偏转(诸如通过片簧在通过箭头P指示的方向的弹性的 弯曲)允许门被旋转通过角度ot并且到达打开位置D2A。关闭门30D的 促动器136的操作导致柔性的区段138F返回其未偏转的位置。柔性的 区段138F确定尺寸为维持大致无限的数量的门运动周期。在示例性的 实施例中可运动地支撑端口门30D的可运动的底座138依靠柔性促进运 动，并且因此，没有隙距(如将在现有的可运动的底座上提供以使能在 可运动的部分之间的相对滑动运动的隙距)。这确保门30D在关闭和打 开位置之间的运动大致沿相同的路径发生，并且因此，每次门返回大致 相同的关闭位置，使用现有的可运动的底座不可能简单地实现这样的准 确度。门30D的位置的准确度使得其与传送容器T上的门T4(看图9A) 接口容易，以及在容器关闭时容器门和盒子之间的装配容易。与使用在
底座元件之间的滑动(旋转的或线性的)的现有的可运动的底座相比， 可运动的底座U8还显著地更加容易制造和安装。
装载端口模块24具有能够当容器门T4被移除时检测容器T内的基 片的存在的传感器200。在图6-6A所示的实施例中，传感器200被安装在传送系统130的滑架134上，如将在下文中描述的，并且从而与滑 架134—起运动。传感器200可以为任何适合的类型，诸如穿过束传感 器(例如，电磁束源和检测器)、CCD或电容感应传感器。在图6所示 的实施例中，传感器200仅示例性地示出为具有两个传感器头204、 206 (分别为束源和检测器)的穿过束传感器。在此实施例中，传感器200 定位在门30D上方。在此实施例中，传感器200安装在框架202上。如 图6中最佳地示出的，通常围绕门30D延伸以将传感器安装在滑架134 上。在此实施例中，框架202具有通常箍构造，通常围绕但是不接触门 30D。箍4匡架202具有通常坤黄向的构件208,定位在门30D上方，为传 感器200的传感器头提供支撑表面。传感器框架202还具有可运动地安 装到门滑架134的基底部分210。在框架200和滑架134之间可运动地 安装允许框架或至少其一部分在装载的或电池位置和展开位置之间运 动，在装载的或电池位置中，传感器200定位在EFEM内，如图6A所 示，在展开位置中，传感器200通过访问端口 30D定位在传送容器T内， 如将在下文中描述的。在图6-6A所示的示例性的实施例中，枢转接合 点或铰链212将框架202连接到滑架134。铰链212允许框架在通过箭 头SR (看图6)指示的方向旋转。在替代的实施例中，可以使用允许在 传感器框架和滑架之间的任何希望的相对运动(即，线性的或旋转的)， 例如滑动(例如，线性的或旋转的)的任何其它适合的类型的可运动的 底座或弹性地柔性的底座。在其它替代的实施例中，传感器框架可以固 定地安装到滑架，并且包括滑架安装和传感器平台之间的中间的可运动 的接合点，允许传感器平台相对于滑架运动，以便将传感器展开到传送 容器内。
如图6所示，驱动器218可操作地连接到框架，以便实现框架在通 过箭头SR指示的方向围绕铰链212运动。传感器驱动器218可以为任 何适合的类型，诸如伺服马达或步进马达或气动的驱动器。可以提供诸 如弹簧(没有示出)的偏置装置，以允许当到驱动器218的动力损失时 传感器框架自动地返回电池位置。另外，确实的停止器216与緩冲表面 (例如框架202内的小孔214)互相作用以停止框架的不希望的运动， 诸如可以由来自驱动器218的未命令的驱动器l命入产生的。如将在下文 中更进一步地描述的，驱动器218促进传感器200相对于端口门30D的 独立的运动(在通过图6中箭头SR指示的方向)。如上文中所述，在图6-6A中，传感器200示出为处于电池位置。在此实施例中，传感器 框架202构造为使得当传感器处于电池位置时，框架202和传感器204、 206不大致向内突出超出门30D的最里面的边缘进入EFEM。因此，从 前面的面12F (看图1 )到EFEM内以容纳传感器和框架202的空间包 络与对于端口门30D的大致相同。在替代的实施例中，传感器框架可以 具有任何其它希望的型面。
图11 - 12示出了根据另一个示例性的实施例的传感器200A。图1 -12所示的传感器200A与上文中所述并且在图6-6A中示出的传感器 200大致相似，并且相似的特征相似地标注。框架202A与框架202大 致相似，在门上方提供用于传感器头204A的传感器支撑件，然而在替 代的实施例中，传感器头可以定位在相对于门的任何希望的位置或框架 上。枢轴底座212A将框架202A安装到滑架，并且马达218A在框架上 操作以旋转框架(在与图6中的方向SR相似的方向)并且由此运动传 感器保持电池和展开位置。本实施例中的传感器电池和展开位置与图6 -6A中的传感器200的电池和展开位置大致相同。因此，图11-12与 图6-6A将一起用于描述传感器的运动，诸如例如当映射容器T内的基 片时。如上文中所述，当端口门30D处于关闭位置(看图6A)时，传 感器示出为处于电池位置。传送系统框架130F的旋转(也如上文中所 述)打开门(看图6A中的位置D2A)并且将驱动轴线DA运动到垂直 方向。如可以认识到的，独立地(相对于门30D)安装到传送系统的滑 架134的传感器框架202A也通过传送框架的旋转向内旋转。传感器200 仍然处于相对于其运动的范围的电池位置。在展开传感器之前，滑架134 可以沿驱动轴线DA向下运动到将传感器200、 200A放置在端口开口 30D的边缘下方的位置(还看图12)。在示出的实施例中，这允许传感 器从电池位置到展开位置的没有阻碍的运动。图12最佳地示出了处于 展开位置200A，的传感器。在此实施例中，通过在通过图6中的箭头SR 指示的方向独立地旋转框架202、 202A实现传感器200、 200A到展开位 置的运动。如图12所示，在展开位置，传感器头204A足够地突出通过 端口开口 300进入容器壳体以检测容器T内部的基片S的存在，当传感 器200、 200A处于展开位置200A，时，可以通过沿驱动轴线DA'(看图 6A)向下运动滑架134、 134A扭j亍容器内的基片位置的映射。如可以i人 识到的，容器T的映射可以与端口门30D /人位置D2A传送到位置D2
36(看图6A)同时执行。传感器信号可以经由适合的通信链接(没有示 出)传输到控制器400 (看图1 )。
如上文中所述，并且现在再次参考图2，装载端口模块24为智能的 装载端口模块。装载端口模块24包括集成的用户接口 100,允许使用者 输入数据、编程指令和命令并且从系统接收希望的信息。在此示例性的 实施例中，用户接口 100包括显示器300。如图2所示，显示器300安 装到装载端口框架29。在此实施例中，显示器300定位为通过框架29 内的开口 2912可见。框架29内的显示器开口 2912定位在端口开口 30O 上方，以允许当传送容器T定位在支撑站36处时，使用者没有阻碍地 观察显示器。在替代的实施例中，用户接口显示器300可以定位在装载 端口上的任何其它希望的位置。此实施例中的显示器300为能够显示任 何希望的图形信息302的图形显示器(诸如例如具有希望的清晰度的 LCD)。此显示器结构构造为允许当在显示器前面在大约130度弧内的 任何位置观察显示器时读取显示器信息。显示器300可以为彩色的或单 色的，并且还可以包括触摸屏304,与显示器300上显示的可选择的特 征结合允许使用者选择希望的命令和输入希望的数据和信息。装载端口 模块用户接口 100内还可以包括诸如键盘306 (看图1)或光标跟踪设 备(例如，鼠标，操纵杆)的其它用户接口设备，以结合或与显示器302 分开地操作。如图2所示，用户接口 IOO输入设备(即，触摸屏304, 键盘306 )和输出设备(显示器300 )通过任何适合的双向通信链接500 连接到控制器400。在LPM24和控制器400之间的通信链接可以为有线 的，例如4吏用FireWire TM通信协议，或者可以为无线的，例如4吏用 Bluetooth TM通信协议。通信链接500可以加入网络(例如局域网，或 诸如因特网的全球网)或可以为LPM用户接口 100和控制器400之间 的专用的直接的链接。在图2中，控制器400和:渚如用户接口 100、往 复移送装置驱动器54、；险测系统62的LPM系统之间的通信链接示出为 代表性的通信链接。然而，通信链接可以根据需要设置在任何适合的数 量的通信通路上。例如，控制器400和用户接口 IOO之间的通信链接可 以布置在一个通路上，并且将控制器400与往复移送装置驱动器54和/ 或4佥测系统62、和/或上述LPM的任何其它控制器操作的系统接口的通 信4连接可以布置在不同的通信通路上。注意，安装在给定的LPM24内 的用户接口 100可以不限于用作〗又用于LPM的用户接口 。在示出的实施例中，给定的LPM框架内的用户接口 100可以服务任何希望的数量 的LPM。能够通过用户接口 100服务的LPM可以配合到相同的EFEM12
(看图1),或可以配合到许多不同的EFEM (没有示出)。在图l所 示的实施例中，控制器400可通信地连接到示例性的工具10的两个 LPM24。控制器400和每个LPM的可控制地可操作的系统(例如，往 复移送装置驱动器54,容器检测系统62，容器前进检测系统110，闭锁 键驱动系统124 (看图4),门传送系统130 (看图6),映射器传感器 200,基片传送装备40,对准器42 (看图5)等)之间和控制器400和 给定的LPM24的用户接口 100之间的通信链接500实际上限定每个LPM 的用户接口和任一 LPM的系统之间的通信链接。控制器400可以更进 一步地联结到其它处理工具(没有示出)的其它LPM，并且用户接口 100和其它LPM上的系统之间的通信可以以相似的方式实现。在图1-2所示的实施例中，每个联结到EFEM12的LPM24具有集成的用户接口 100，然而如上所述，在替代的实施例中，LPM中的一个或多个可以没 有集成的用户接口，并且分享另一个LPM的集成的用户接口。如图1 -2所示，通信链接500还将控制器并且因此将用户接口 IOO连接到工 具IO的其它部件和系统，诸如装载锁14L和处理区段14模块传送装备
(没有示出)和气氛控制系统(没有示出)。从而，此实施例中的LPM24 的用户接口 IOO可以用于访问信息、监测并且控制与控制器通信的给定 的工具的任何希望的系统。在替代的实施例中，集成到LPM的用户接 口可以用于与和链接到接口的控制器通信的任何工具的任何希望的系 统接口。如图2所示，在此实施例中，通信链接500可以包括旁路控制 器400并且将用户接口 100直接链接到用户接口集成到其中的LPM24 的一个或更多系统、和/或LPM安装到其的EFEM12的一个或多个系统、 和/或工具10的一个或多个系统的一些通路或通道500A、 500B,例如， 通信通路500A可以将用户接口 100直接链接到容器往复移送装置驱动 器54和检测系统62,并且通路500B可以将用户接口直接链接到容器前 进才企测系统110。与通路500A、 500B相似的其它通路(没有示出)可 以将用户接口直接链接到LPM24的其它集成的系统(例如，闭锁键驱 动器124,门传送器130，映射器200,基片传送装备40,对准器42等)。 在此实施例中，用户接口 IOO还可以包括联结到显示器300、触摸屏304
(并且根据需要键盘306 )的本地处理器310。本地处理器310可以具
38有足够的处理能力(然而根据需要小于控制器400),以接收和处理来 自与用户接口 100直接通信的不同的系统的原始信号，以用于在显示器 300上显示，并且还格式和传输适合的命令(来自用户接口输入)到不 同的系统，旁路控制器400。例如，本地处理器310可以独立于控制器 400提供用于开始/停止希望的系统，诸如容器往复移送装置驱动器54， 或门传送器130的操作的"软"键。本地处理器可以在显示器300上显 示"软"键308C,并且还可以在通过使用者选择时改变键的显示状态。 例如，如果软键308C初始地显示为"开始"，在使用者选择该键时， 处理器306可以改变显示以读取"停止，，(并且相反地在选择"停止" 时改变为"开始")。本地处理器310还可以记录操作者的选择并且从 其产生传输到希望的系统的适合的命令。本地处理器还可以在从系统接 收到由于系统遭遇操作限制(例如，用于往复移送装置传送的行进停止 器)或系统故障(例如，受损的驱动或发动系统)不能执行命今的信号 时改变显示的状态(例如，间歇地显示"停止")。如可以认识到的， 本地处理器310能够显示任何其它希望的信息。本地处理器310和显示 器302、触摸屏304之间以及本地处理器310和用户接口 IOO可以直接 与之通信的系统之间的接口可以与控制器400合作实现。控制器400可 以具有使能能够通过本地处理器310在显示器300/触摸屏304上提出的 不同的特征和信息的显示和/或选择的软件互锁(没有示出)。例如，当 LPM24或工具10没有在生产周期内操作时，控制器400可以^t能用于 通过本地处理器310显示/选择可用性的"软"键308C。与控制器400 相比可具有有限的处理能力和存储器的本地处理器310可以在搡作者选 择给定的特征时从控制器400下载希望的命令子程序或算法，以便执行 选捧的特征。相似地，控制器400可以指令具有到用户接口的直接的通 信路径的系统中的任何一个，使得在存在希望的情况时，数据/信号传输 到本地控制器310并且旁路控制器400。从而，本地处理器310提供本 地控制并且监测装载端口和工具系统，使得在希望本地控制的情况中， 可以最小化或根据需要消除控制器400的使用。在替代的实施例中，用 户接口 100可以不提供有本地处理器，并且大致全部处理能力通过与控 制器400相似的控制器提供。
如图2所示，通信链接500可以包4会用于将其它设备或网络600连 接到通信链接500并且允许设备/网络和LPM24或工具10的任何希望的部件之间的双向通信的适合的联结或系统连接接口 502。联结502在图 2中示意性地示出并且可以根据需要构造以遵照要连接到通信链接500 的设备/网络600的接口参数。例如，联结502可以包括接触接口 ，诸如 USB端口、 Firewire端口、或以太网端口。联结520还可以包括适合的 无线接口，诸如BluetoothTM。如可以认识到的，联结502可以包括任何 希望的数量的独立的联结，这些独立的联结可以根据需要定位在通信链 接500上(图2示例性地示出了单一联结502,并且其示出的位置也仅 是示例性的)。可以经由联结502可通信地连接的设备600可以为例如 示教盒602或用于编程诸如LPM的基片传送装备40的传送系统的运动 的控制器。可以使用联结502连接的其它设备可以为个人计算机或诸如 打印机、调制解调器等外设。网络604可以为局域网(LAN)、诸如因 特网的广域网、或公用交换电话网。控制器400可以适合地设置，以为 经由联结502联结的设备/网络602、 604提供"即插即用"能力。例如， 控制器400可以包括在程序冲莫块401、 404内的适合的软件，以选择对 联结502的配合以及用于与联结的设备/网络通信的通信协议。在检测到 联结接口时，控制器可以初始化控制器存储器401、 404内的适合的通 信软件，以实现与联结的设备/网络通信。
如可以认识到的，控制器400具有用于操作显示器300和用于与用 户接口的用户输入设备(例如，触摸屏304,键盘306)接口的适合的 驱动软件。如图1所示，控制器400具有程序才莫块404,程序^f莫块404 具有用于显示器300和用户接口的输入设备304、 306的接口软件。图1 所示的程序模块404为控制器的代表性的编程模块，并且可以容纳任何 希望的数量的不同的程序和控制器的存储器位置。接口软件可以具有任 何适合的体系结构，诸如菜单操作体系结构，例如Windows 类型的体 系结构，然而可以4吏用任何其它适合的体系结构。
在菜单操作体系结构的情况中，控制器400内的接口软件可以在用 户接口 100的显示器300上显示可选择的4定或菜单特征308A。软件可 以允许经由触摸屏304或键盘306选择显示的菜单特征308A.如可以 认识到的，可以通过接口软件使用的可选择的菜单特征308A对应驻留 在控制器400的存储器才莫块401、 404或本地处理器310内的可执行的 软件。例如，可扭j亍的软件可以为用于控制工具10和LPM24的单独的 部件和系统中的一个或多个或作为集成的单元的工具10的操作的操作程序。因此，在显示器300上显示的可选择的菜单特征308A可以为给 控制器400的命令，以初始和执行其程序以搡作工具10,以由其开始处 理基片。在操作系统体系结构不是菜单类型的体系结构的替代的实施例 中，用户接口可以以大致相似的方式使用，除了给控制器的操作命令可 以通过任何其它希望的装置输入。作为示例，用户接口键盘可以用于输 入识别给控制器的操作命令的一个或多个字符，并且当被输入时，该字 符可以在用户接口显示屏上显示。
如上文中所述，控制器400的程序模块401、 404可以包括可以从 LPM24的用户接口 IOO访问和执行的任何希望的数量的程序。例如，程 序模块可以包括任何希望的文本或数据程序或文件，诸如可以在用户接 口的显示器300上显示的安装/操作手册、校准故障检查和维护指导。文 本程序还可以包括以用于在显示器300上显示的任何希望的格式构造的 表格、插图、图形、照片和视频部分(例如，插图和照片可以构造为位 图)。文本程序可以在系统设置期间存储在控制器400的程序模块401、 404内，或可以随后从控制器可以通过通信链接联结502与其通信的诸 如网络604 (看图2)上的个人计算机的适合的外部或远程的源下载。 此外，控制器400的通信套件可以允许操作者观看定位在远程的源(例 如，设备602, 604 )上并且没有驻留在控制器上的文本和图形文件。相 似地，控制器400的通信套件允许在远程的设备602、 604的显示器上 显示的信息在LPM显示器300上显示。例如，当诸如用于编程基片传 送装备40 (看图3)的运动控制的示教盒602连接到通信接口 502时， 可以在示教盒602或链接到示教盒602的网络604的个人计算机的显示
接口 100的显示器300上显示。因此，编程或"示教"与工具10相似 的工具的传送装备的运动的操作者可以观看与操作者执行示教的工具
的相同的工具的显示器300上的"示教"相关的信息。程序模块401可 以包括多种图形程序，这些图形程序与控制器的机器通信程序合作能够 从链接到控制器400的LPM24和工具10的系统和部件读取原始数据或 信号，并且将原始数据或信号转换为可以在显示器300上显示的图形信 息。此信息可以包括工具10的可控制的系统的状态信息和故障信息。 显示操作软件可以允许使用者选择希望显示的信息。因此，LPM的用户
接口和显示器300将允许操作者在不使用任何更进一步的硬件的情况下
41从LPM的位置实现工具设置、测试、故障检查和操作。
现在参考图1和5，如将在下文中更进一步地描述的，LPM24还可 以包括用于监测工具10的EFEM内的部件中的一个或多个的数字照相 才几700。如图1所示，可以在LPM内部的照相4几700安装为通常在EFEM 内部延伸。照相机在图5中最佳地示出。如上文中所述，在此示例性的 实施例中，多个LPM24A-24L联合在一起以形成EFEM的前面的面。 在此实施例中，LPM24B示出为具有内部照相才几700。在替代的实施例 中，EFEM上的多于一个^f旦不是全部LPM可以具有与图5所示的 LPM24B相似的照相机。照相机700可以安装在LPM框架29 (看图3 ) 的后面的面上，使得LPM24B配合到EFEM的外壳16将照相机定位在 EFEM内。照相才几700可以集成到LPM24或可以安装在从LPM24分开 的EFEM内。照相才几700可以通过{壬<可适合的安装装置安装到LPM24B, 诸如机械紧固件。在图5所示的实施例中的照相才几700相对于LPM和 系统/部件的位置仅是示例性的，并且在替代的实施例中，照相机可以安 装在LPM框架上的任何其它适合的位置。此外，照相机700在图l和5 中示意性地示出为单一照相机头，并且照相机700可以包括分布在LPM 框架上的不同位置处的多个照相机头(没有示出)。照相机或照相机头 单元700包括适合的照相机芯片702和用于将光导向到照相机芯片上以 从照相机的视野FOV产生适合的图像的光学器件704。照相机芯片702 例如可以为COMS型或CCD型芯片，或任何其它适合的类型的照相机 芯片。根据需要，照相机可以包括多于一个照相机芯片。照相机芯片可 以具有任何希望的分辨率，并且能够产生彩色的或单色的图像。照相机 光学器件704可以包括例如任何适合的透镜、滤光器、反射镜、用于引 导和控制导向到照相机芯片702的光的量的小孔(没有示出)。照相机 芯片702和光学器件704设置为使得照相机的视野FOV和焦深允许照 相机成像包括大致整个EFEM内部的空间(即，成像覆盖范围)。在替 代的实施例中，可以通过适合的伺服马达用万向节连接照相机头，以旋 转视野以为照相机提供希望的成像覆盖范围。在其它替代的实施例中， 如上文中所述，可以使用多个固定的照相才几头产生希望的成像覆盖范 围。在再一些实施例中，照相机的成像覆盖范围可以被限制为覆盖EFEM 的希望的区或部件，诸如基片传送装备、对准器、或LPM装料开口。 如可以认识到的，在图1和5所示的实施例中，照相机700的成像覆盖
42范围足够包括基片传送装备40在沿EFEM的大致任何侧向的位置(如 通过箭头L指示的)的(e, R)运动(通过图5中的箭头e, R指示) 的通常全范围。通过装备40的照相才/L700的成像覆盖范围在装备40的 电池位置(没有示出)和在LPM装料开口 300 (看图4)处或在装载锁 14L (图1 )处的延伸的位置(没有示出)之间延伸。因此，照相机700 的成像覆盖范围允许照相机成像在大致任何操作e, R位置的传送装备
40。在图5所示的示例性的实施例中，基片传送装备具有能够在通过e,
R箭头(如上文中所述)指示的方向运动的运动部分40A，并且从而照 相机700的成像覆盖范围对应包括装备运动部分的操作运动的运动的平 面或另外形式的领域。在替代的实施例中，可以通过任何其它类型和范 围的运动操作传送装备的运动部分，并且EFEM内的一个或多个照相机 可以提供有对应传送装备的运动部分的运动的领域/平面的成像覆盖范 围。
如图5所示，照相机700包括适合的处理电路706,处理电路706 与照相机芯片702合作从导向到照相机芯片上的光产生图像数据并且将 数据处理为适合的格式。照相机700可以通过通信链接500连接到控制 器400,如上文中所迷，通信链接500允许照相机和控制器之间的双向 通信。控制器的程序才莫块401、 404可以包括用于操作照相机700以根 据需要捕获图像的软件。例如，控制器400内的软件可以为能够将产生 图像命令发送给照相机700的更高等级的程序。控制器内的软件还指令 照相机700将哪副图像传输给控制器。照相机700的处理电路706可以 包括例如驻留在处理电路的适合的存储器内的程序模块(没有示出)， 在接收到来自控制器400的产生图像命令时，该程序模块直接操作并且 用照相才几芯片702和处理电路706实现图^象产生。在此实施例中，处理 电路706还可以具有用于在将图像传输到控制器之前根据需要緩存一个 或多个电子图像或体现电子图像的数据的适合的存储器。控制器400内 的软件能够接收来自照相机的图像，并且可以使用图像预测和故障查找 通过照相机700成像的部件，诸如基片传送装备40内的故障，如将在 下文中更加详细地描述的。控制器软件还能够在前述的LPM24的显示 器300 (还看图2)上显示来自照相机700的图像。
现在参考图13，示出了用于^f吏用照相才几700辅助监测和故障查找工 具10上的基片传送装备40内的故障的示例性的方法的图解。如可以认识到的，当使用照相才几700监测和故障查找照相机的成像覆盖范围内的 其它部件/系统时，图13所示并且在下文中描述的示例性的方法通常是 适用的。如图13所示，块Pl,可以才艮据体现图13所示的方法的控制器 400内的编程操作照相机700,以在基片传送装备40的运动部分40A经 历其e, R运动的完全的或希望的范围时，产生基片传送装备4()的运动 部分40A的基线图像帧。运用运动部分40A以通过照相机700产生基线 图像帧的9, R运动的希望的范围可以大致包括在工具的处理操作期间 的预期的e, R运动，以及与辅助故障查找装备40内的故障特别地相关 的希望的测试运动。基线图像帧可以在校准运动部分40A之后并且还在 "示教"控制器400以运动运动部分40通过希望的操作运动之后产生。 在替代的实施例中，可以在任何时间取得基线图像帧。在通过控制器400 内的软件和/或照相机700的处理电路706命令的运动部分的运动期间的 图像帧的定时和频率可以根据需要设定。例如，照相机700可以在运动 部分40A迁移希望的部分其运动路径时产生图像帧，并且照相机700可 以在运动部分停止或对运动数据的迁移的部分不感兴趣时处于不产生
图像帧的备用模式。在替代的实施例中，可以命令照相机700大致在运 动部分40A运动的全部时间产生图像帧。通过照相机700产生图像帧的 频率可以根据需要设定，诸如足够形成大致连续的视频流。基线图像帧
可以被记录在控制器400的存储器位置内。在运动部分40A的搡作运动 期间，例如在通过工具扭j行的支持处理时，照相4几700产生运动部分的 操作图像帧，图13所示的块P2。操作图像帧的定时和频率可以与对应 的基线图像帧的定时和频率相似(即，操作图像巾贞和基线图像帧对于运 动部分40A的大致相同的运动路径产生)。在替代的实施例中，操作图 像帧的定时和频率可以与对应的基线图像帧不同(例如，更慢/更低的频 率)。在此示例性的实施例中，操作图像帧可以被緩存在照相机700或 其它适合的緩存存储器内，并且如下所述在预先确定的时间传输给控制 器。这减小了控制器400上的处理负担。緩存器确定尺寸为存储希望的 数量的图像帧。当緩存器已满时，可以删除緩存的图像帧。在运动部分 40A的操作期间，控制器400能够检测运动部分的运动的故障.，EFEM 内的传送装备40的运动部分40A内可以包4舌不同的传感器，以感测运 动部分的运动内的故障发生并且将信号发送给控制器。如图13所示， 块P3,如果在运动部分40A的操作运动期间控制器400没有检测到故
44障，可以将一些緩存的操作图像帧周期性地下载到控制器400(看块P4, 图13)。周期性地下载的图像帧可以为从存在于緩存存储器内的图像帧 中选择的图像帧。选择以用于下载的图像帧可以对应在运动部分的运动 期间发生的希望的状态，例如，运动部分具有特定的构造，运动部分的 驱动器递送最大转矩，或运动部分的末端执行器经历最大速度或最大加 速度。可以根据需要设定选择的图像帧的下栽周期，诸如当通过连接器 的其它通信量减小时，或运动部分40A的每个运动周期一次，或每个其 它运动周期一次。在图13的块P4中传输到控制器之后，可以比较下载 的图像帧与基线图像帧以识别运动部分40A的运动内的任何位置偏差。 可以通过驻留在控制器400内的适合的算法比较图像帧以确定运动部分 的位置差别，以识别例如运动部分40A的运动相对于基线的偏差中产生 的趋势的存在，并且预测偏差何时超过可以接受的限度。为了促进基线 和操作图像帧的使用，通过照相才/u 700产生的每个图像帧可以提供有标 识符，诸如时间标志，然而可以使用任何其它适合的标识符，使得每个 图像帧可以与公共的参考帧相关。这允许每个图像帧与给运动部分的控 制器命令的时间和运动部分的促动时间相关。
如图13所示，如果控制器在操作运动期间检测到故障，块P3，控 制器400下载緩存存储器内的操作图像帧。控制器400可以下载选择的 緩存的图像帧，诸如在检测到故障事件之前和之后给定的时期产生的操 作图像帧，并且从而将运动部分位置记入文件，或者可以下载全部緩存 的图像帧(看块P5)。在块P5中下载的图像帧可以用于直接识别在检 测到故障时和运动部分的运动停止时运动部分40A的位置。位置信息可 以用于辅助故障查找故障和识别给运动部分的控制器命令，以从停止的 位置运动运动部分。也可以比较下载的操作图像帧与对应的基线图像 帧，以识別从运动部分的基线的位置偏差。如上文中所述，图13所示 的方法为可以4吏用LPM24的照相才儿700的适合的方法的一个示例。可 以以其它方式4吏用照相机700以改进工具10的EFEM的冲喿作。根据需 要，照相机700能够通过经由用户接口 IOO输入的用户命令操作，以观 看显示器300上的EFEM实际时间。
应该理解，前面的描述仅是本发明的说明性的。本领域中的普通技 术人员可以在不偏离本发明的情况下想出不同的替代和修改u因此，本
45发明企图包括属于后附的权利要求的范围的全部这样的替代、修改和变 化。
权利要求
1. 基片装载设备，包括适用于将设备连接到基片处理装备的框架，框架具有传送开口，基片通过该传送开口在设备和处理装备之间传送；连接到框架的用于保持至少一个基片保持盒的盒支撑件；及用于输入信息的用户接口，用户接口安装到框架，使得用户接口与框架集成。
2. 根据权利要求1所述的设备，其中，用户接口为图形用户接口。
3. 根据权利要求1所述的设备，其中，用户接口包括适合提供图 形用户接口的显示器。
4. 根据权利要求1所述的设备，其中，用户接口包括触摸屏显示器。
5. 根据权利要求1所述的设备，其中，用户接口通过框架支撑。
6. 根据权利要求1所述的设备，还包括可通信地连接到用户接口 以接收和发送信息给用户接口的控制器。
7. 根据权利要求6所述的设备，还包括连接到框架以执行设备的 操作的至少一个促动器，其中，用户接口经由控制器可操作地连接到该 至少一个促动器，使得能够在用户接口上显示促动器数据并且能够通过 用户接口输入促动器命令。
8. 根据权利要求6所述的设备，其中，控制器具有与设备或基片 处理装备中的至少一个的预先确定的条件相关的软互锁，防止经由用户 接口输入预先确定的，lr入。
9. 根据权利要求1所述的设备，其中，用户接口具有用于将外设 可通信地连4妻到用户接口的连接端口 。
10. 根据权利要求9所述的设备，其中，外设为用于示教基片传送 机械手的示教设备。
11. 根据权利要求9所迷的i殳备，其中，连接端口为无线端口,，
12. 根据权利要求1所述的设备，其中，用户接口能够与使用 Windows 操作系统的电子设备通信。
13. 根据权利要求1所述的设备，还包括可运动地连接到框架的门， 用于关闭传送开口。
14. 基片装载设备，包括适用于将设备连接到基片处理装备的框架，框架具有传送开口，基片通过该传送开口在设备和处理装备之间传送；连接到框架的用于保持至少一个基片保持盒的盒支撑件；及 用于显示与设备的预先确定的特性相关的信息的显示器，显示器能够用作图形用户接口 ，并且与框架集成以形成能够作为单元配合到处理装备和从处理装备移除的组件。
15. 根椐权利要求14所述的设备，其中，用户接口包括触摸屏显 示器。
16. 根据权利要求14所述的设备，其中，图形用户接口能够与使 用WindowsTM操作系统的电子设备通信。
17. 根据权利要求14所述的设备，还包括可通信地连接到显示器 以接收信息和发送信息给显示器的控制器。
18. 根据权利要求17所述的设备，还包括连接到框架以执行设备 的操作的至少一个促动器，其中，显示器经由控制器可操作地连接到该 至少一个促动器，使得能够在显示器上显示促动器数据并且能够通过图 形用户接口输入促动器命令。
19. 根据权利要求17所述的设备，其中，控制器具有与设备或基 片处理装备中的至少 一 个的预先确定的条件相关的软互锁，防止经由图 形用户接口输入预先确定的输入。
20. 基片装载设备，包括适用于将设备连接到基片处理装备的框架，框架具有传送开口，基 片通过该传送开口在设备和处理装备之间传送；连接到框架的用于保持至少一个基片传送容器的基片传送容器支 撑件，该支撑件包括覆盖支撑件的至少一部分的盖，该至少一个基片传送容器安置在该 部分上，盖具有弹性地柔性的区段；连接到盖的用于检测支撑件上的该至少一个传送容器的存在的至 少一个检测器；及连接到盖的柔性的区段以与柔性的区段作为单元运动的构件，其 中，该构件与检测器合作，导致检测器检测支撑件上的传送容器的存在。
21. 根据权利要求20所述的设备，其中，当通过支撑件支撑传送 容器时，弹性地柔性的部分弹性地偏转。
22. 根椐权利要求20所述的设备，其中，检测器为光学检测器。
23. 根据权利要求20所述的设备，其中，检测器安装在通过盖覆 盖的印刷电路板上。
24. 根据权利要求20所述的设备，其中，盖为由塑料制造的单一 构件。
25. 根据权利要求20所述的设备，其中，该构件为用于光学检测 器的断续器构件。
26. 根据权利要求20所述的设备，其中，弹性地柔性的区段的偏 转运动该构件，以实现对支撑件上的传送容器的检测。
27. 根椐权利要求20所述的设备，其中，盖具有形成在其中的一 对槽，限定该弹性地柔性的区段。
28. 根据权利要求20所述的设备，其中，弹性地柔性的区段为伸 长的悬臂。
29. 基片装载设备，包括适用于将设备连接到基片处理装备的框架，框架具有传送开口，基 片通过该传送开口在设备和处理装备之间传送；及连接到框架的用于保持至少一个基片传送容器的基片传送容器支 撑件，该支撑件包括覆盖支撑件的至少一部分的盖，该至少一个基片传送容器安置在该 部分上，及连接到盖的用于检测何时该至少一个传送容器在支撑件上的至少 一个检测器；其中，盖为单一构造并且具有弹性地柔性的突出部，并且其中，检 测器包括安装到突出部的构件，用于用检测器实现对支撑件上的该至少 一个传送容器的检测。
30. 根据权利要求29所述的设备，还包括连接到盖的用于检测何时该至少一个传送容器位于支撑件内的至少另一个检测器，其中，盖具有另 一个弹性地柔性的突出部并且该至少另一个检测器具有安装到该 另 一 个弹性地柔性的突出部的另 一 个构件。
31. 基片装载设备，包括适用于将设备连接到基片处理装备的框架，框架具有传送开口，基 片通过该传送开口在设备和处理装备之间传送；及适合保持基片传送容器并且可运动地连接到框架的传送容器往复 移送装置，往复移送装置能够在第一终端位置和第二终端位置之间相对 于框架运动，其中，第二终端位置是可变的，以当通过往复移送装置将 不同的传送容器传送到第二终端位置时，在往复移送装置上的传送容器 的表面和框架表面之间维持预先确定的间隙。
32. 基片装载设备，包括适用于将设备连接到基片处理装备的框架，框架具有传送开口，基 片通过该传送开口在设备和处理装备之间传送；适合保持基片传送容器并且可运动地连接到框架的传送容器往复 移送装置，往复移送装置能够在第一终端位置和第二终端位置之间相对 于框架运动；及连接到框架的传感器，用于当通过往复移送装置运动传送容器时远 程地感测传送容器的特征并且确定特征相对于框架的位置。
33. 根据权利要求32所述的设备，还包括可通信地连接到传感器 以接收来自传感器的信号的控制器，其中，控制器编程序为使用该信号计算往复移送装置的终端位置。
34. 基片装载设备，包括限定开口的框架，基片通过该开口沿在框架的外部侧上的基片传送 容器和框架的内部侧之间的基片传送路径传送；可运动地连接到框架的用于堵塞和开放基片传送路径的可运动的 框架构件；连接到框架的用于在第一方向运动可运动的框架构件以开放基片 传送路径的驱动器，驱动器具有在第一方向搬运框架构件的搬运构件； 及能够感测基片的存在并且独立于框架构件可运动地连接到搬运构 件的传感器，当在第一方向运动框架构件时，搬运构件在第一方向搬运 传感器，其中，传感器能够在与第一方向不同的第二方向相对于框架运 动到传感器能够感测传送容器内的基片的存在的位置。
全文摘要
基片装载设备具有框架、盒支撑件和用户接口。框架连接到基片处理装备。框架具有传送开口，基片通过该传送开口在设备和处理装备之间传送。盒支撑件连接到框架以保持至少一个基片保持盒。用户接口设置为用于输入信息，并且安装到框架，使得用户接口与框架集成。
文档编号H01L21/607GK101511713SQ200680033266
公开日2009年8月19日 申请日期2006年7月10日 优先权日2005年7月11日
发明者D·A·哈尔, G·L·辛德列德克, M·W·科亚迪, M·斯皮纳佐拉, M·科罗利奥 申请人:布鲁克斯自动化公司