专利名称：测试台晶圆吸盘装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种晶圆的测试设备，具体地说是一种通过负压吸附的方式对晶圆在观B式时实现固定的测试台晶圆吸盘装置。
技术背景目前，在晶圆测试领域，目前普遍采用的测试机与测试方法是手动测试 或半自动测试。手动测试为人工放置每一片晶圆，用光学显微镜对准每个管芯后手动测试，效率低下而且使得测试精度较低；半自动测试是人工把晶圆 放置在测试台上，再通过光学显微镜扫描，手动调整晶圆的角度和第一个管 芯的位置。调整好后再依次测试晶圆上的每个管芯。测试完每片晶圆后人工 把晶圆放回晶圆片盒内，再取出下一个晶圆重复上述测试过程。如此人工操 作大大增加了晶圆测试的时间，势必也增加了测试成本。 发明内容本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种晶圆的固定与拆 卸都很方便、可以大大縮短测试时间、提高测试效率并且可以降低测试成本 的测试台晶圆吸盘装置。按照本发明提供的技术方案，在负压吸盘与隔热盘之间设置有加热器， 在负压吸盘上表面设有若干负压气槽，在负压吸盘内设有与负压气槽连通的 负压气孔，在负压吸盘上设有负压气管接头，所述的负压气管接头与负压气 孔连通，在负压吸盘上设有贯穿负压吸盘、加热器与隔热盘的卸料孔。所述负压气槽为负压吸盘上表面开设的同心圆槽体。卸料孔为三个或者 三个以上，它们均匀地布置在相邻两负压气槽之间。在负压吸盘与加热器之 间设有热缓冲盘。所述热缓冲盘由热固性塑料DMC制成。在加热器与隔热 盘之间设有盖板。在负压吸盘的下表面设有向隔热盘伸出的下凸环，相应地 在隔热盘上表面设有向负压吸盘伸出的上凸环，下凸环的下端面与上凸环上 端面接触并将加热器、热缓冲盘与盖板包容其内。在负压吸盘侧壁设有温度 传感器。本发明在使用时固定与卸下晶圆均很方便，可以大大縮短测试时间，提 高测试效率，并且有效可以降低测试成本。
图1是本发明的整体结构示意图。 图2是本发明的各部件的爆炸图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。如图所示在负压吸盘1与隔热盘2之间设置的加热器3，在负压吸盘1上表面设有若干负压气槽4,在负压吸盘1内设有与负压气槽4连通的负压 气孔5，在负压吸盘1上设有负压气管接头6，所述的负压气管接头6与负压 气孔5连通，在负压吸盘1上设有贯穿负压吸盘1、加热器3与隔热盘2的 卸料孔7。所述负压气槽4为负压吸盘1上表面开设的同心圆槽体。卸料孔7为三 个或者三个以上，它们均匀地布置在相邻两负压气槽4之间。在负压吸盘1 与加热器3之间设有热缓冲盘8。所述热缓冲盘8由热固性塑料DMC制成。 在加热器3与隔热盘2之间设有盖板9。在负压吸盘1的下表面设有向隔热 盘2伸出的下凸环10，相应地在隔热盘2上表面设有向负压吸盘1伸出的上 凸环ll，下凸环10的下端面与上凸环11上端面接触并将加热器3、热缓冲 盘8与盖板9包容其内。在负压吸盘1侧壁设有温度传感器12。为较好地将薄片状的晶圆固定，考虑到固定的牢固及均匀等因素，本发 明采取真空吸附的方式。如图2所示，即将用以吸附晶圆的真空吸盘l表面 加工出例如十个同心的圆形负压气槽4，每个负压气槽4均有一个负压气孔5， 另外还可把这十个负压气槽4分成三组，每组有单独的气路供气，由负压气 管接头6联接负压气孔5同外部气管连接，这样就形成了由三个气路控制的 真空吸附系统。该系统吸附牢固且均匀平稳，在测试过程中，可根据晶圆片 规格尺寸的不同对此三个气路分别进行开关和气压控制。为便于测试的定位, 在真空吸盘1的中心制有识别标记。基于晶圆在上片及卸载时顶针升降的需 要,在真空吸盘1上加工有卸料孔7。为满足晶圆测试时的温度要求，本发明采取电加热的方式，该加热动作 由加热器3完成，在加热器的引出线上安装温控开关14，并在真空吸盘l内 装入温度传感器12对温度进行监控，以实现在温度过高或过低时得以开关控 制，使得晶圆测试能在预期的温度环境中完成。加热器盖板9可将加热器3压盖安装固定在真空吸盘1上，加热器盖板 9上有接地线15引出，确保测试时的安全性。同时考虑到晶圆测试对温度的 稳定性的要求，本发明的装置中涉入了热缓冲盘8和隔热盘2，热缓冲盘8和隔热盘2是由一种热固性塑料DMC制成，其吸热慢且放热慢的材料属性具有较好的将温度储存的功能，同时在和外部零部件安装时也起到了较好的 隔热作用。
权利要求
1、一种测试台晶圆吸盘装置，包括设置在负压吸盘(1)与隔热盘(2)之间的加热器(3)，其特征是在负压吸盘(1)的上表面设有若干负压气槽(4)，在负压吸盘(1)内设有与负压气槽(4)连通的负压气孔(5)，在负压吸盘(1)上设有负压气管接头(6)，所述的负压气管接头(6)与负压气孔(5)连通，在负压吸盘(1)上设有贯穿负压吸盘(1)、加热器(3)与隔热盘(2)的卸料孔(7)。
2、 如权利要求1所述的测试台晶圆吸盘装置，其特征是所述负压气槽 (4)为负压吸盘(1)上表面开设的同心圆槽体。
3、 如权利要求l所述的测试台晶圆吸盘装置，其特征是卸料孔(7) 为三个或者三个以上，它们均匀地布置在相邻两负压气槽(4)之间。
4、 如权利要求1所述的测试台晶圆吸盘装置，其特征是在负压吸盘(l) 与加热器(3)之间设有热缓冲盘(8)。
5、 如权利要求4所述的测试台晶圆吸盘装置，其特征是所述热缓冲盘 (8)由热固性塑料DMC制成。
6、 如权利要求1所述的测试台晶圆吸盘装置，其特征是在加热器(3) 与隔热盘(2)之间设有盖板(9)。
7、 如权利要求1所述的测试台晶圆吸盘装置，其特征是在负压吸盘(l) 的下表面设有向隔热盘(2)伸出的下凸环(10)，相应地在隔热盘(2)的上 表面设有向负压吸盘(1)伸出的上凸环(11)，下凸环(10)的下端面与上 凸环(11)的上端面接触并将加热器(3)、热缓冲盘(8)与盖板(9)包容 其内。
8、 如权利要求1所述的测试台晶圆吸盘装置，其特征是在负压吸盘(l) 的侧壁设有温度传感器(12)。
全文摘要
本发明涉及一种晶圆的测试设备，具体地说是一种通过负压吸附的方式对晶圆在测试时实现固定的测试台晶圆吸盘装置。按照本发明提供的技术方案，在负压吸盘与隔热盘之间设置有加热器，在负压吸盘上表面设有若干负压气槽，在负压吸盘内设有与负压气槽连通的负压气孔，在负压吸盘上设有负压气管接头，所述的负压气管接头与负压气孔连通，在负压吸盘上设有贯穿负压吸盘、加热器与隔热盘的卸料孔。本发明在使用时固定与卸下晶圆均很方便，可以大大缩短测试时间，提高测试效率，并且有效可以降低测试成本。
文档编号H01L21/66GK101261283SQ20081002365
公开日2008年9月10日 申请日期2008年4月14日 优先权日2008年4月14日
发明者孙盘泉, 戴京东, 董晓清, 陈仲宇 申请人:无锡市易控系统工程有限公司