专利名称：衬底移送轴用支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及衬底移送装置，尤其涉及用于支撑衬底移送轴的支撑块及利 用该支撑块的衬底移送装置，所述衬底移送轴用于移送平板显示器等的衬底。
背景技术：
通常，如平板显示器(Flat Panel Display: FPD)的各种衬底，需要经过 例如蒸镀、清洗、干燥、曝光、显影、蚀刻等各种制造工艺。此时，衬底通 过衬底移送装置被移送到各个制造工艺中，并且衬底连续向一侧水平移动， 以用于在特定工艺中对移送中的衬底进行各种处理。
衬底移送装置使用多个衬底移送轴，而所述衬底移送轴利用轴承可旋转 地设置在支撑块上。为了使衬底移送轴的旋转更加流畅，同时为了防止由于 磨损而缩短寿命，应向轴承周期性地供给润滑液。在现有技术中，为了供给 润滑液使用朝轴承喷射润滑液的方式，或使用轴承的 一部分浸在设于支撑块 外侧的润滑液供给箱内的润滑液里而被驱动的方式。
但是，如果釆取前者的方式，则需要另设润滑液供给管，这不仅不便于 进行衬底移送装置的维护作业，而且喷射到轴承的润滑液溅射到其他部位而 影响美观。并且，如果采取后者，则需要在润滑液供给箱内装填润滑液，从 而使润滑液的消耗量大，而且在轴承上产生的异物不能向外部流出而残留在 润滑液供给箱内部，从而由于所述异物造成轴承的磨损加快，导致通过衬底 移送装置移送的衬底被污染。
另外，图1示出现有衬底移送装置的一例。从图1所示的衬底移送装置 可以看出，衬底移送装置主要具备衬底移送轴1和衬底移送框架2。沿着衬 底的移送方向在衬底处理槽(bath) 3并列设置多个衬底移送轴1,而且衬底 移送框架2可旋转地分别支撑这种衬底移送轴1的两端。尤其，衬底移送框 架2由主体2a和封盖2b组成，而且在主体2a与封盖2b之间具有与衬底移 送轴1接触的轴承(未图示)，从而可使衬底移送轴1流畅的旋转。此外，在 衬底移送框架2设有用于分别向轴承供给润滑液的润滑液供给线2c。 在这种现有的衬底移送装置中，衬底移送框架2长度非常长，相当于衬
底的移送距离，为了制造衬底移送框架2制造商必须在主体2a直接加工形成 轴承固定槽和润滑液供给线2c。尤其，供给线2c必须加工成使润滑液朝固定 于轴承固定槽的轴承流动，并可向外排出使用后的润滑液的结构。
但是，由于现有的衬底移送框架2的长度非常长，相当于衬底的移送距 离，因此制造商不便利用枪钻(gun drill)等工具直接加工轴承固定槽和润滑 液供给线2c,从而对于制造衬底移送框架2带来很多困难。并且，完成制造 的衬底移送框架2也因其长度过长而不便于搬运和保管，而且也不易于现场 设置。尤其，在布置(layout)衬底移送装置所需的工程设备时，需要适当长 度的衬底移送框架，但是由于现有的衬底移送框架2的长度是固定值，所以 导致不能精确地应对工程设备的布置。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种不需要另设 外部润滑液供给管，并且能够以少量的润滑液降低轴承的磨损的衬底移送轴 用支撑块。
本发明的另一目的在于，提供一种构成制造容易且搬运和保管及现场设 置容易的衬底移送框架的衬底移送轴用支撑块。
本发明的又一目的在于，利用所述支撑块能够根据衬底移送距离容易调 整长度的衬底移送装置。
为了解决上述第一个目的，本发明提供一种衬底移送轴用支撑块，其包 含主体和封盖，所述主体包含轴承安装槽，以用于安装可旋转地支撑衬底 移送轴的轴^c;润滑液注入口，以用于/人外部注入润滑液；沿着衬底移送轴 的排列方向贯通形成的润滑液供给通道，其与所述润滑液注入口连通；分支 通道，以用于将所述润滑液供给通道连通至所述轴承安装槽；润滑液排出口， 以用于从所述轴承安装槽排出润滑液。所述封盖用于在轴承安装于所述轴承 安装槽的状态下与所述主体结合而盖住轴承安装槽。
为了解决上述第一及第二个目的，本发明公开一种衬底移送轴用支撑块， 其包含主体和封盖，所述主体支撑一个衬底移送轴，其包含用于安装轴承 的轴承安装槽，所述轴承可旋转地支撑衬底移送轴；沿着所述衬底移送轴的 排列方向贯通形成的润滑液供给通道，以用于从外部供给润滑液；分支通道，
以用于将所述润滑液供给通道连通至所述轴承安装槽；润滑液排出口，以用 于从所述轴承安装槽排出润滑液；分别在沿着所述衬底移送轴的排列方向的 两端部形成的结合部。所述封盖用于在轴承安装于所述轴承安装槽的状态下 与所述主体结合而盖住轴承安装槽。
为了解决上述第三个目的，本发明公开一种衬底移送装置，其包含由 为实现本发明的第二目的而提供的支撑块构成并沿着衬底移送方向设置的一 系列的第一支撑块；根据安装于所述第一支撑块的轴承安装槽的轴承可旋转 地设置于第一支撑块的衬底移送轴；与所述衬底移送轴的端部相连接的驱动 机构，以用于旋转驱动衬底移送轴。
根据本发明，用于向支撑衬底移送轴的轴承供给润滑液的通道被埋设在 衬底移送轴用支撑块的内部，从而不必另设外部润滑油供给管，因此改善了 其美观性，且更容易维护及维修衬底移送装置。
并且，根据本发明，用于润滑轴承的润滑液的量较少，而且所使用的润 滑液全部被回收而可对衬底移送轴的驱动部位重复使用，从而有利于节约成 本。
并且，根据本发明，独立的个体单位支撑块通过相互连接的结构而形成 衬底移送框架时，相对于独立的一体结构的现有技术，不仅在形成润滑液供 给线等的加工及制造方面非常有利，而且在搬运和保管及现场设置也变得更 力口容易。
并且，根据本发明，衬底移送装置的整个长度根据支撑块的结合数量而 决定，从而可根据所需的衬底移送距离容易调整衬底移送装置的长度。因此， 本发明的衬底移送装置非常有利于布置制造衬底的工程设备。
图1是示出现有衬底移送装置的一例的立体图2是示出本发明的支撑块的第一实施例的分解投影立体图3是示出图2的支撑块和衬底移送轴的旋转驱动部的主要部分的剖视
图4是示出本发明的支撑块的第二实施例和衬底移送轴的旋转驱动部的 主要部分的剖视图5是示出本发明的支撑块的第三实施例的分解立体图； 图6是图5的支撑块的主体的主视图； 图7是图5的支撑块的主体的侧面剖视图； 图8是示出构成图5的第三实施例的主体的变形例的主视图； 图9是示出利用了本发明所提供的支撑块的衬底移送装置的立体图。 附图主要符号说明20、 lll为主体，21、 llla为轴承安装槽，22、 llld 为润滑液排出口， 23为润滑液注入口， 24、 lllb为润滑液供给通道，25、 lllc 为分支通道，26为润滑液回收引导结构，30、 112为封盖，llle、 lllf为结 合部。
具体实施例方式
以下，参照附图来详细说明本发明的优选实施例。但是，以下实施例的
为各种形态，并且本发明所要保护的范围并不限定于以下所述的实施例。
图2是示出本发明的支撑块的第一实施例的分解投影立体图，图3是示 出图2的支撑块和衬底移送轴的旋转驱动部的主要部分的剖视图。
如图2及图3所示的本实施例的支撑块包含主体20，具有用于安装轴 承10的轴承安装槽21,所述轴承10用于可旋转地支撑衬底移送轴40,且其 内部形成有用于朝所述轴承安装槽21供给润滑液的通道；封盖30,以用于 与所述主体20结合而盖住轴承安装槽21。以此所述支撑块形成衬底移送框
恕不。
所述轴承安装槽21具有侧面部的台阶比中央部高的呈半圆形的底部，在 其台阶低的中央部安装轴承10。并且，在轴承安装槽21的台阶较高的侧面 部的一部分形成有可排出润滑液的润滑液排出口 22。具有如上结构的轴承安 装槽21,在中央部的槽中固定轴承10的外轮，而在轴承安装槽21的侧面露 出轴承10的滚珠，以使轴承10更加牢固地被固定。这种结构使供给润滑液 和排出所使用的润滑液变得更加容易。
在主体20内部形成的通道包含润滑液注入口 23,其露在主体20侧面； 润滑液供给通道24,其一部分连接于所述润滑液注入口 23,且沿着主体20 的长度方向，即沿着在衬底移送装置中衬底移送轴40所排列的方向形成在主 体20内部的中央；使润滑液供给通道24与轴承安装槽21连通的分支通道 25，其一侧连接于润滑液供给通道24,另一侧连接于所述轴承安装槽21的
台阶稍高的侧面部的侧面。
在这种结构中，在轴承10插入到轴承安装槽21的状态下，用其底面具
有插入轴承的插入口的封盖30盖住并装配到下侧的主体20时，轴承10会被
牢固地固定。
在如上所述的状态下，从外部通过润滑液注入口 23注入润滑液时，润滑 液经过润滑液供给通道24和分支通道25而供给到轴承安装槽21。
在主体20侧面的所述润滑液排出口 22的下侧具有沿着主体20的长度方 向延伸而形成的润滑液回收引导结构26。润滑液回收引导结构26优选地朝 一个方向倾斜，以便从轴承安装槽21经过润滑液排出口 22排出的润滑液能 够聚集到废润滑液容器(未图示)之中。
如上所述，流经轴承10的润滑液通过润滑液排出口 22向主体22的侧面 排出。即，优选地润滑液排出口 22和分支通道25中间隔着轴7 、 10而相互面 对，且润滑液排出口 22位于衬底被移送的路径侧的主体20的内侧面，且分 支通道25位于主体20的外侧面，这是为了防止由于通过润滑液排出口 22排 出的润滑液所导致的装置美观性的降低。并且，由于连接于衬底移送轴40的 从动齿轮50和连接于驱动轴60的主动齿轮70及润滑液供给箱80位于主体 20的外侧，因此，不便在主体20外侧面设置所述润滑液回收引导结构26。
如上所述的本发明的第一实施例，将润滑液供给到轴承的通道埋设在主 体20的内部，因此外观美丽，且容易维护装置。并且使用后的润滑液可以被 收集而进行净化处理后可重复使用，因此是非常经济的。
图4是将本发明的第二实施例所提供的支撑块和衬底移送轴的旋转驱动 部的主要部分对应于图3而示出的剖视图。
本实施例中，流经主体20'的轴承安装槽21'的润滑液可排放到用于向 驱动衬底移送轴40的主动齿轮70和从动齿轮50供给润滑液的润滑液供给箱 80。即，主体20'具有储存润滑液的润滑液供给箱80，以用于润滑驱动村底 移送轴40的主动齿轮70和从动齿轮50。并且，排出润滑液的润滑液排出口 22'朝着所述润滑液供给箱80呈开口状，所述润滑液是流经润滑液注入口 2 3'和润滑液供给通道24'及分支通道25'并在轴承安装槽21'润滑轴承 IO后的润滑液。因此，从润滑液排出口 22'排出的润滑液流到润滑液供给箱 80,所述润滑液为了使主动齿轮70和从动齿轮50流畅地运转而起到润滑的 作用。
如上所述，用于润滑轴承10的润滑液，再次用于润滑主动齿轮70和从
动齿轮50的情况下，也不会发生从轴承10流出的异物再次流入到轴承10的 情况，从而防止了轴承10的急剧的磨损。所述主动齿轮70及从动齿轮50的 驱动不会受到由轴承10流出的微细异物的影响。
图5是示出本发明的支撑块的第三实施例的分解立体图，图6和图7分 别是图5的支撑块的主体的主视图和侧面剖视图。下面通过参照这些附图来 详细说明本实施例。
本实施例的支撑块IIO被区分为主体111和封盖112，在一个支撑块110 安装有一个轴承(未图示)的状态下支撑一个衬底移送轴(未图示)。主体 111其上端部具有用于安装轴承的轴承安装槽llla,封盖112在所述安装槽 llla安装有轴承的状态下通过盖住轴承安装槽llla来保护轴承。
为了给安装于所述轴承安装槽llla的轴承供给润滑液，主体111形成有 从外部通向轴承安装槽llla的润滑液供给流路。润滑液供给流路由润滑液供 给通道lllb和分支通道lllc构成，所述润滑液供给通道lllb用于与外部的 润滑液供给源(未图示)连接，所述分支通道lllc用于将所述润滑液供给通 道lllb连通到轴承安装槽llla。尤其，润滑液供给通道lllb的方向与在多 个衬底移送轴沿着衬底的移送方向并列排列时的排列方向 一致。这如同后述， 一系列的支撑块110对应衬底移送轴沿着衬底的移送方向被连接时，形成在 各自的单位支撑块110的润滑液供给通道lllb以"一"字形状连通，以使润 滑液能够顺畅地供给。如上所述，润滑液供给通道lllb沿着衬底移送轴的排 列方向水平形成，因此分支通道lllc具有从润滑液供给通道lllb垂直延伸 至主体上端部的轴承安装槽llla的结构。
另夕卜，供给到轴承安装槽llla而起到润滑作用之后应排出的废润滑液通 过形成在主体111的润滑液排出口 llld排出。即，润滑液排出口 llld设成 可从轴承安装槽llla连通到主体111外，而且滞留在轴承安装槽llla并起润 滑作用的润滑液通过润滑液排出口 llld排出，而被排出的废润滑液通过另外 形成的通道(未图示)被回收到润滑液箱而重复使用。尤其，润滑液排出口 llld优选地形成在相比轴承安装槽llla更低的位置，以使从轴承安装槽llla 排出的润滑液不会漏到其他部位。
具有如上所述结构的支撑块110沿着衬底移送轴的排列方向配置相应于 衬底的移送距离的数量，此时，为了可使支撑块110互相结合而支撑块110
之间的连接部位，即沿着衬底移送轴的排列方向的两端部分别具有结合部
llle、 lllf。本实施例的结合部llle、 lllf,前者形成为凹部，后者形成为凸 部，从而使被结合的支撑块110相互精确地对接。
在轴承安装槽llla还可形成使润滑液滞留的滞留槽(retainer groove ) lllg。即，通过分支通道111c供给到轴承安装槽llla的润滑液经常有一部分 滞留在滞留槽(retainer groove) lllg,同时持续向轴承供给，借此，形成流 畅的润滑作用，且润滑液的供给量也比现有技术减少很多。
图8是示出前述的第三实施例的主体的变形例的主视图。
如上所述沿着衬底移送轴的排列方向以相应于衬底的移送距离的数量配 置一系列的支撑块110时，本变形例的支撑块120位于衬底移送的开始部和 终止部。以下，为了方便说明将前述的第三实施例的支撑块110称为第一支 撑块，本变形例的支撑块120称为第二支撑块。
第二支撑块120在其结合部位具有对应第一支撑块110的凹凸结构的凹 凸结构，以用于在衬底移送的开始部和终止部分别与第一支撑块110结合， 其相反侧具有例如像阶梯结构的连接部120a。并且，如图9所示，具有对应 于所述连接部120a的连接部的端块(end block) 130与第二支撑块结合，从 而一系列的第一支撑块110与第二支撑块120及端块130形成一个衬底移送 框架。此时，向第一支撑块110与第二支撑块120的润滑液供给通道的润滑 液的供给是根据从外部的润滑液供给源(未图示)通过端块130连接到第二 支撑块120的润滑液供给通道(未图示)的通常的供给管路(未图示)而实 现。
图9是具有如上所述结构的衬底移送框架所适用的衬底移送装置的立体图。
如上所述，第一支撑块110和第二支撑块120及端块130设成沿着衬底 移送轴的排列方向依次连接的结构，在第一支撑块110和第二支撑块120上 分别设有根据安装于轴承安装槽llla的轴承可旋转地被支撑的衬底移送轴 140。
并且，沿着支撑块110、 120设有用于旋转这些衬底移送轴140的驱动机 构150。驱动机构150与衬底移送轴140的端部连4妄而旋转衬底移送轴140, 图上所示的驱动机构150由驱动轴151和支撑轴承152及齿轮153构成。马区 动轴151的长度对应支撑块110、 120的总连接长度而形成，支撑轴承152固
定在从支撑块110、 120中选择的适合位置的支撑块110、 120上可旋转地支 撑驱动轴151。并且，齿轮153设置在驱动轴151上，其数量与支撑块110、 120的数量一样，而且所述齿轮153与形成在衬底移送轴140的齿轮啮合， 由此使衬底移送轴140旋转。并且，虽然在附图中没有示出，所述齿轮153 与如电机等动力提供装置连接而接受旋转驱动力。
在具有如上所述结构的本发明的衬底移送装置中，需要对应衬底移送距 离来调整衬底移送装置的长度时，在具有相同结构的第一支撑块110中追加 或除去对应长度调整目标的数量，便可容易地调整整个衬底移送装置的长度。
综上所述，依据优选实施例说明了本发明，但是本发明并不限定于上述 实施例，在不脱离本发明的技术构思范围的情况下，根据本领域的具有通常 知识的技术人员可进行各种变形和修改。
权利要求
1、一种衬底移送轴用支撑块，其包含主体和封盖，所述主体包含轴承安装槽，以用于安装可旋转地支撑衬底移送轴的轴承；润滑液注入口，以用于从外部注入润滑液；沿着衬底移送轴的排列方向贯通形成的润滑液供给通道，其与所述润滑液注入口连通；分支通道，以用于将所述润滑液供给通道连通至所述轴承安装槽；润滑液排出口，以用于从所述轴承安装槽排出润滑液，所述封盖用于在轴承安装于所述轴承安装槽的状态下与所述主体结合而盖住轴承安装槽。
2、 根据权利要求1所述的衬底移送轴用支撑块，其特征在于所述主体具 有润滑液回收引导结构，以用于回收通过所述润滑液排出口排出的润滑液。
3、 根据权利要求1所述的衬底移送轴用支撑块，其特征在于所述主体具 有储存润滑液的润滑液供给箱，以用于润滑驱动衬底移送轴的齿轮，所述润滑液排出口朝所述润滑液供给箱开口 ，从而润滑液从润滑液排出 口排至润滑液供给箱。
4、 一种衬底移送轴用支撑块，其包含主体和封盖， 所述主体支撑一个衬底移送轴，其包含轴承安装槽，以用于安装可旋转地支撑衬底移送轴的轴承；沿着所述衬底移送轴的排列方向贯通形成的润 滑液供给通道，以用于从外部供给润滑液；分支通道，以用于将所述润滑液 供给通道连通至所述轴承安装槽；润滑液排出口，以用于从所述轴承安装槽 排出润滑液；分别在沿着所述衬底移送轴的排列方向的两端部形成的结合部，盖住轴承安装槽。
5、 根据权利要求4所述的村底移送轴用支撑块，其特征在于所述轴承安 装槽还形成有滞留槽，以用于使通过所述分支通道供给的润滑液滞留。
6、 根据权利要求4所述的衬底移送轴用支撑块，其特征在于所述润滑液 排出口位于相对所述轴承安装槽更低的位置。
7、 一种衬底移送装置，其包含由权利要求4所记载的结构构成并沿着 衬底移送方向设置的 一 系列的第 一 支撑块；根据安装于所述第 一 支撑块的轴承安装槽的轴承可旋转地设在第 一 支撑 块的衬底移送轴；及与所述衬底移送轴的端部相连接的驱动机构，以用于旋转驱动衬底移送轴。
8、根据权利要求7所述的衬底移送装置，其特征在于还包含第二支撑 块，其在衬底移送的开始部和终止部分别与所述第一支撑块结合，并且在与 第一支撑块结合部位的相反侧具有连接部；及端块，其具有与所述第二支撑块的连接部相对应的连接部，从而与所述 第二支撑块结合。
全文摘要
本发明公开一种衬底移送轴用支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置。在本发明中，用于向支撑衬底移送轴的轴承供给润滑液的通道被埋设在衬底移送轴用支撑块的内部，从而不必另设外部润滑油供给管，因此改善了其美观性，且更容易维护及维修衬底移送装置。并且，独立的个体单位支撑块根据相互连接的结构而形成衬底移送框架时，相对于独立的一体结构的现有技术，不仅在形成润滑液供给线等的加工及制造方面非常有利，而且在搬运和保管及现场设置也变得更加容易。
文档编号H01L21/677GK101359587SQ20081014470
公开日2009年2月4日 申请日期2008年7月30日 优先权日2007年7月31日
发明者卢镇成, 李在成 申请人:K.C.科技股份有限公司