专利名称：快速闪光退火炉的六气互锁控制系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种控制方式，特别地涉及一种用于快速闪光退火炉中控制气体的互
锁控制方式，当快速闪光退火炉的工艺气体需要切换时，必须要严格控制气体之间的互锁， 属于半导体设备领域。
背景技术：
快速闪光退火炉的退火速度很快，作为离子注入后晶片退火的重要设备，现在离 子注入的粒子种类很多，快速闪光退火炉的工艺气体很多，每种工艺气体之间需要互锁，本 发明专利采用光电隔离将控制电路与气路驱动电路隔离，减少电磁阀门等执行件的操作带 来的干扰，采用多触点继电器，控制触点间的通断来实现气路间互锁，该设备工艺气体系统 可以同氮气(N2)，氧气(02)，氨气(NH3)，氯化氢(HCL)，氩气(AR)和合成气体。如果互锁 没有设计的好，有可能会使工艺气体混合，为了解决这些问题，必须对快速退火炉的气路互 锁，否则会引起工艺气体的混淆。
发明内容
本发明即是针对上述现有技术中的缺点而提出的一种工作可靠，原理简单的互锁 控制系统，该控制过程简单，原理清晰。
本发明专利采用如下技术方案来实现光电隔离将控制电路与气路驱动电路隔 离，减少电磁阀门等执行件的操作带来的干扰，采用多触点继电器，控制触点间的通断来实 现气路间互锁，具体原理见图1。
本发明具有如下显著优点 1.系统复位时，六种气体的气路全部锁定在关闭状态；
2.氩气(AR)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开；
3.氯化氢(HCL)，氨气(NH3)不能同时打开；
4.氨气(NH3)，氧气(02)不能同时打开;
5.氧气(02)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开；
6.氨气(NH3)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开。
图1为本发明的六路气体互锁的电气原理图。
具体实施例方式
快速闪光退火炉的工艺气体很多，每种工艺气体之间需要互锁，本发明专利采用 光电隔离将控制电路与气路驱动电路隔离，减少电磁阀门等执行件的操作带来的干扰，采 用多触点继电器，控制触点间的通断来实现气路间互锁，六气路互锁如图1所示，现在以02 为例说明互锁的方式。
如果要通工艺气体02，则发一个低电平的指令到光电隔离芯片U1的7脚，使光电 隔离芯片U1的第四通道导通，使U1的9脚输出高电平，则非门芯片U5G的12脚输出为低 电平，这样继电器K14A的线苞得电，导致K14A的常开触点9脚和10脚闭合，使串在12VDC 回路的控制02电磁阀K1的线苞得电，具体导通的是通过K21的常闭9脚和8脚，K15的常 闭9脚和8脚，导通继电器K14A的常开9脚和10脚，K2的常闭9脚和8脚，K13的常闭9 脚和8脚，K24的常闭9脚和8脚，K12的常闭9脚和8脚，Kl的常闭9脚和8脚，Kll的常 闭9脚和8脚到12VDC电源的地端。其余的气体的控制方式和02的控制方式一样，在这里 就不一一说明。 本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而 言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利 的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
一种工艺气体的互锁控制方式，本发明是对快速闪光退火炉的输送工艺气体控制方式的改进，在设计中，采用光电隔离将控制电路与气路驱动电路隔离，减少电磁阀门等执行件的操作带来的干扰，采用多触点继电器，控制继电器触点之间的通断来实现气路间的互锁，其特征在于(1).系统复位时，六种气体的气路全部锁定在关闭状态；(2).氩气(AR)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开；(3).氯化氢(HCL)，氨气(NH3)不能同时打开；(4).氨气(NH3)，氧气(O2)不能同时打开；(5).氧气(O2)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开；(6).氨气(NH3)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开。
全文摘要
本发明公开了一种电气控制中六路气路互锁控制方式，该方式可以对六种气体的流量进行微量调节控制，并可对各气体流量进行反馈检测实行闭环控制，精确控制气体流量，还有很强的气路互锁功能，严防不能混合的气体同时进气。提高了工艺气体的互锁等级，保证不会使工艺气体混淆，提高了快速闪光退火炉的可靠性。
文档编号H01L21/324GK101764043SQ20081023889
公开日2010年6月30日 申请日期2008年12月4日 优先权日2008年12月4日
发明者彭彬, 戴习毛, 金则军 申请人:北京中科信电子装备有限公司