太阳能电池扩散用源瓶的制作方法

文档序号:7191612阅读:239来源:国知局
专利名称:太阳能电池扩散用源瓶的制作方法
技术领域
本实用新型属于光电技术领域,具体涉及一种太阳能电池片生产过程
中的掺杂杂质源(pocu)安全有效的保存的扩散用源瓶。
背景技术
在太阳能电池片生产中,需要将p型衬底硅片表面通过高温扩散方式
形成一薄层n型层,从而形成太阳能电池所必须的pn结。目前掺杂杂质源 多是存放于石英源瓶中,并通过高纯氮气携带进入工艺反应。现有的源瓶 为石英玻璃部件,使用中容易出现炸裂。 发明内容
本实用新型的目的是针对现有技术的不足,提供一种P0CU液态源存 放瓶。
本实用新型包括圆筒形的石英瓶本体,石英瓶本体内竖直设置有进气 管和出气管;进气管的一端距离石英瓶本体瓶底4 6mm,另一端与进气四 氟软接头连接;出气管的一端伸入石英瓶本体6 8mm,另一端与出气四氟 软接头连接;石英瓶本体顶部设置有充装口。
本实用新型结构简单,进气管与出气管通过四氟软接头连接,充装口 同样采用四氟活接密封,有效避免了进出气口断裂现旬象的发生。

图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式

如图l所示,太阳能电池扩散用源瓶包括硅圆筒形的石英瓶本体4, 石英瓶本体4内竖直设置有进气管6和出气管3;进气管的一端距离石英 瓶本体瓶底4 6腿,另一端与进气四氟软接头1连接;出气管3的一端伸 入石英瓶本体6 8mm,另一端与出气四氟软接头2连接。石英瓶本体顶部 设置有充装口 5,用来充装工艺用P0CL3液体。
权利要求1、太阳能电池扩散用源瓶,包括圆筒形的石英瓶本体,其特征在于石英瓶本体内竖直设置有进气管和出气管;进气管的一端距离石英瓶本体瓶底4~6mm,另一端与进气四氟软接头连接;出气管的一端伸入石英瓶本体6~8mm,另一端与出气四氟软接头连接;石英瓶本体顶部设置有充装口。
专利摘要本实用新型涉及太阳能电池扩散用源瓶。现有的源瓶为石英玻璃部件,使用中容易出现炸裂。本实用新型包括圆筒形的石英瓶本体,石英瓶本体内竖直设置有进气管和出气管;进气管的一端距离石英瓶本体瓶底4~6mm,另一端与进气四氟软接头连接;出气管的一端伸入石英瓶本体6~8mm,另一端与出气四氟软接头连接;石英瓶本体顶部设置有充装口。本实用新型结构简单,进气管与出气管通过四氟软接头连接,充装口同样采用四氟活接密封,有效避免了进出气口断裂现旬象的发生。
文档编号H01L31/18GK201402817SQ20092011831
公开日2010年2月10日 申请日期2009年4月23日 优先权日2009年4月23日
发明者何旭梅, 何旭芳, 向小龙, 周善培, 郦晓苗 申请人:浙江弘晨光伏能源有限公司
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