专利名称：桥式输送系统及物品的移载方法
技术领域：
本发明涉及桥式输送系统中的物品的移载。
背景技术：
作为桥式输送系统的问题点，存在当桥式行走车为了与工位之间进行移载而停止 时，行驶路径被堵塞从而产生阻塞的情况。与该问题相关联，专利文献1 JP2006-224944A 公开了如下的情况在第一桥式行走车的行驶路径的下方设置缓冲部，第一桥式行走车仅 与缓冲部之间进行移载，在其他的行驶路径上行驶的第二桥式行走车在缓冲部与工位之间 进行移载。在该情况下，由于第一桥式行走车使升降台升降以与缓冲部之间进行移载，因此 第一桥式行走车在缓冲部的上部停止的停止时间变长，在此期间内堵塞行驶路径。
发明内容
本发明的课题在于通过缩短用于移载物品的桥式行走车的停止时间来避免影响 后续的桥式行走车的行驶。在本发明的桥式输送系统中，具备设于地面侧的工位和设于顶棚侧的桥式行走车 系统，其中，在所述桥式行走车系统中设有桥式行走车和行驶导轨，所述桥式行走车支承物品 的底部并行驶，所述行驶导轨设在该桥式行走车的底部侧，并且，在所述桥式行走车系统中还设有移载装置，该移载装置从上方以自由释放 的方式保持物品，从而在该移载装置与所述桥式行走车之间移载物品，并且，使物品在桥式 行走车的上部与所述行驶导轨的侧方的所述工位的上部之间横向移动，并使物品在桥式行 走车与所述工位之间升降而进行移载。在本发明的桥式输送系统中的物品的移载方法中，为了在设于地面侧的工位和设 于顶棚侧的桥式行走车系统之间移载物品，而设有以下步骤使所述桥式行走车系统的桥式行走车支承物品的底部并沿着行驶导轨行驶的步 骤；通过利用移载装置从桥式行走车的上方保持和释放物品，从而在移载装置与桥式 行走车之间移载物品的步骤；利用所述移载装置使物品在桥式行走车的上部与所述行驶导轨的侧方的所述工 位的上部之间横向移动的步骤；以及利用所述移载装置升降物品，从而在所述桥式行走车与所述工位之间移载物品的
步骤。 在本说明书中，与桥式输送系统有关的记载能够直接适用于桥式输送系统中的移 载方法，相反，与移载方法有关的记载也能够直接适用于桥式输送系统。在与移载装置之间 进行移载时，桥式行走车可以停止，也可以行驶。作为从桥式行走车朝工位移载物品的装置对发明的作用进行了说明，但是，在朝桥式行走车移载物品的情况下只要使顺序相反即可。在该发明中，利用移载装置从上方保 持桥式行走车上的物品，使物品从桥式行走车上朝行驶导轨的侧方移动，以免与后续的桥 式行走车以及桥式行走车上的物品干涉。接着，利用移载装置使物品升降，在移载装置与工 位之间移载物品。桥式行走车不需要为了进行移载而使升降台升降等，能够在短时间内完 成移载。并且，由于利用移载装置使物品朝行驶导轨的侧方移动，因此能够使后续的桥式行 走车快速地通过，能够得到高效的桥式输送系统。进一步，由于桥式行走车不需要具有移载 装置，因此可以是简单的行走车，因此容易高速化。优选移载装置具备升降台，从上方保持物品；升降驱动部，使升降台升降；以及 横向输送部，使升降驱动部在所述行驶导轨的上方与工位的上方之间横向移动。这样，能够 快速地使物品朝行驶导轨的侧方移动，能够快速地使物品在桥式行走车与工位之间升降。更优选设有所述移载装置的行驶导轨，使移载装置与桥式行走车的行驶导轨平行 地行驶。这样，桥式行走车能够在任意位置与移载装置之间移载物品。并且，桥式行走车不 用停止就能够移载物品，进而能够以高速输送物品。此处，如果设有对移载装置来说能够自由移载物品的缓冲部的话，能够暂时保管 物品，并且无论是否能够利用工位，移载装置都能够在该移载装置与桥式行走车之间移载 物品。同样，无论是否能够利用桥式行走车，移载装置都能够在该移载装置与工位之间移载 物品。关于缓冲部的配置，例如以俯视时与移载装置的行驶导轨重合的方式将桥式行 走车的行驶导轨配置在所述移载装置的行驶导轨的下方，并且，将所述缓冲部设在所述移 载装置的行驶导轨的左右第一侧，将所述工位配置在所述移载装置的行驶导轨的左右第二 侧。在该情况下，移载装置的横向输送部能够朝左右双方横向输送物品，由于在移载装置与 桥式行走车之间移载物品的情况下，不需要使横向输送装置动作，因此能够可靠地移载物
ΡΠ O可以将桥式行走车的行驶导轨配置在所述移载装置的行驶导轨的左右第一侧的 下方，并且，以俯视时与移载装置的行驶导轨重合的方式将所述工位配置在所述移载装置 的行驶导轨的下方。这样，当利用横向输送装置将物品拉入移载装置的行驶导轨的下方时， 物品不会与桥式行走车系统干涉。因此，能够缩短由移载装置保持的物品与桥式行走车系 统干涉的时间。于是，能够提高桥式行走车系统的输送能力。优选将所述缓冲部设在所述移载装置的行驶导轨的左右第二侧。这样，移载装置 能够以不与桥式行走车系统干涉的方式在该移载装置与缓冲部和工位之间移载物品。优选在所述移载装置的行驶导轨的下方，以俯视时与移载装置的行驶导轨重合的 方式将所述缓冲部设在所述工位和工位之间。这样，移载装置能够以不与桥式行走车系统 干涉的方式在该移载装置与缓冲部和工位之间移载物品。优选以俯视时与桥式行走车的行驶导轨重合的方式将所述缓冲部设在所述桥式 行走车的行驶导轨的下方。这样，移载装置能够以不与桥式行走车系统干涉的方式在该移 载装置与缓冲部和工位之间移载物品。
图1是实施例的桥式输送系统的主要部分的俯视图。
图2是实施例的桥式输送系统的主要部分的放大主视图。图3是示出变形例中的升降驱动部和升降台之间的导电弓的主视图。图4是示出实施例中的桥式行走车和周围的行驶路径的俯视图。图5是示出实施例中的控制系统的框图。图6是示出实施例中的桥式行走车与移载台车之间的移载算法的流程图。图7是桥式行走车与移载台车之间的移载的时序图，1)表示桥式行走车的速度，2)表示移载台车的速度，3)表示升降台的高度，4)表示卡盘的开闭。图8是第二实施例的主要部分的放大主视图。图9是第三实施例的主要部分的放大主视图。图10是第四实施例的主要部分的放大主视图。图11是沿着图10的XI-XI方向的放大剖视图。标记说明2 桥式行走车系统；4 移载台车系统；6 缓冲系统；7 缓冲部；8 处理装置；10 装载口 ；12 直线马达导轨；14 桥式行走车；16 物品；18 行驶导轨；20 移载台车；22 行 驶面；23 供电部；24 行驶单元；25 受电单元；26 横向移动单元；27 转动单元；28 升降 驱动部；29 顶部；30 升降台；31 吊持部件；32 卡盘；33 相对位置传感器；34 卡合部； 35 销；36 销孔；38 导电弓；40 行驶单元；41 支承单元；42 标记；44,45 支柱；50 输 送控制器；52 直线马达控制器；53 直线马达；54 机载控制器；55 行驶马达；86 缓冲系 统；87 支柱；90 引导件；92 被引导体；96 缓冲系统；97 支柱。
具体实施例方式以下示出本发明的最佳实施例。实施例能够参照该领域的公知技术适当变更，并 不对本发明的范围进行限定。图1 图11示出实施例及其变形。图1 图7示出最初的实施例及其变形，桥式 输送系统由桥式行走车系统2、移载台车系统4以及缓冲系统6构成。桥式输送系统例如设 置在半导体制造工厂或者平板显示器制造工厂等的洁净室内，8为半导体或平板显示器等 的处理装置，10为装载口，是工位的例子。桥式行走车系统2和移载台车系统4沿着处理装 置8的列设置，从移载台车系统4观察，缓冲系统6设在处理装置8的列的相反侧，且具备 多个缓冲部7。如图2等所示，桥式行走车系统2具备直线马达导轨12和桥式行走车(天车，OHS OverHead Shuttle) 14，直线马达导轨12具备未图示的直线马达的一次侧，桥式行走车14 具备直线马达的二次侧。并且，16为盒等的物品，例如每次一张、或者每次多张地收纳半导 体的基板或者平板显示器等的基板。移载台车系统4在洁净室的顶棚附近具备行驶导轨 18，桥式行走车系统2的直线马达导轨12位于比行驶导轨18低的位置，桥式行走车14在 直线马达导轨12的上侧行驶。直线马达导轨12位于行驶导轨18的下方且俯视时与行驶 导轨18重合，缓冲部7位于行驶导轨18的左右一方，装载口 10位于行驶导轨18的另一方 的下方。另外，在权利要求书中有时将桥式行走车系统2的直线马达导轨12称为行驶导 轨。并且，也可以在桥式行走车14上设置旋转型的行驶马达。但是，如果将直线马达的一次侧设置于直线马达导轨12、将直线马达的二次侧设置于桥式行走车14的话，能够在地面 侧集中控制多台桥式行走车14，能够使桥式行走车14高速并以较短的车间距离行驶。进一 步，能够容易地使桥式行走车14与后述的移载台车20等速地行驶。20为移载台车，该移载台车转用了公知的桥式行走车(高架提升传输，Overhead Hoist Transport)。行驶导轨18具备行驶面22和供电部23，移载台车20按照从上到下的 顺序具备行驶单元24、受电单元25、横向移动单元26、转动单元27、升降驱动部28以及升 降台30。在实施例中，移载台车20的行驶单元24被支承于行驶导轨18内的行驶面22并 自动行驶，但是，也可以利用来自带、链、丝杆等的力使移载台车20自身行驶。并且，行驶单 元24具备旋转型的马达，但也可以是具备直线马达。受电单元25从供电部23接受电力， 并经由无线LAN等与未图示的地面侧的控制器之间进行通信。电力的接收可以通过非接触 供电进行，或者也可以通过电缆拖链(cableveyor)等布线进行。 横向移动单元26使转动单元27、升降驱动部28以及位于它们下部的升降台30例 如相对于移载台车20的行驶方向朝左右两侧横向移动。转动单元27使升降驱动部28和 升降台30在水平面内转动，也可以不设置转动单元27。升降驱动部28使用吊持部件31使 升降台30升降。32是设置于升降台的卡盘，该卡盘能够自由地把持/释放设置于物品16 的上部的卡合部34。在实施例中，横向移动单元26使升降驱动部28横向移动，但也可以是升降驱动部 28使横向移动单元26和升降台30横向移动。33为相对位置传感器，该相对位置传感器测 定移载台车20相对于桥式行走车14的行驶方向的相对位置，并且从相对位置的变化求出 移载台车20和桥式行走车14的相对速度。使桥式行走车14和移载台车20等速地平行行驶，通过升降驱动部28使升降台30 例如以数mm左右的行程升降，从而移载物品16。此时，根据升降台30是否保持物品16，施 加于物品16的风压的量的力变化。为了防止升降台30通过该力沿行驶方向振动，在升降 台30或者升降驱动部28上设置销35，并使该销35与设在相对侧的销孔36卡合，由此能够 使升降台30相对于升降驱动部28的行驶方向的位置恒定。并不限于销35和销孔36，只要 是能够使升降台30相对于升降驱动部28沿行驶方向定位的单元即可，能够使用任意的部 件。另外，当为了与装载口 10之间进行移载而使升降台30以长行程下降时，销35从销孔 36脱出，当使升降台30上升时，销35回复至销孔36内。桥式行走车14具备行驶单元40，未图示的直线马达的二次侧位于该行驶单元40 的内部。并且，桥式行走车14的支承单元41突出至直线马达导轨12的上部，并支承物品 16的底部。支承单元41的例如上表面上存在标记42，利用移载台车20侧的相对位置传感 器33读取该标记42从而检测相对位置。44、45为支柱，支柱44通过洁净室等的顶棚支承 直线马达导轨12，支柱45同样通过洁净室等的顶棚支承缓冲系统6。另外，也可以经由直 线马达导轨12支承缓冲系统6。图3示出在升降驱动部28和升降台30之间设有导电弓(pantograph) 38的变形 例，通过利用吊持部件31使导电弓38升降，能够使升降台30以较小的行程升降。进而，在 与桥式行走车14之间的物品的移载中使用导电弓38使升降台30升降，在与缓冲系统6以 及装载口 10之间的移载中使用升降驱动部28和吊持部件31使升降台30升降。这样，当 与桥式行走车14之间移载物品16时，即便施加于升降台30的力变化施加于物品16的风压的量，升降台30也难以在行驶方向的前后振动。因此能够更顺畅地移载物品16。图4示出桥式行走车14侧的标记42，此处，标记42由一维或者二维的条型码构 成，相对位置传感器33由线传感器(line sensor)或者CCD传感器等光学传感器和图像处 理部构成。例如考虑使移载台车和桥式行走车14的相对速度在lmm/sec以下、使行驶方 向的位置误差在0. Imm以下的情况。在该情况下，例如设相对位置传感器33的分辨率为 0. 03mm左右，利用传感器33例如隔开0. 03秒左右的间隔拍摄标记42，并求出上次的图像 和这次的图像的差分。如果相对速度在lmm/sec以下，则间隔0. 03秒拍摄的图像的移位在 分辨率以下，差分大致为0。在相对速度的容许范围更广的情况下，能够使传感器的分辨率 更小，在使利用传感器进行测定的测定时间更短的情况下，需要使分辨率更高。通过上述情况，能够检测到足够小的相对速度，并同时进行对位。如果在条型码中 记载有桥式行走车14的ID等的话，移载台车20能够确认桥式行走车14的ID。在移载台 车20和桥式行走车14的对位中，并不限于条型码，能够使用任意的光学的标记和光学传感 器，在移载时的相对速度等的容许误差大的情况下，也可以不设置相对位置传感器33和标 记42。图5示出桥式输送系统的控制系统，输送控制器50对桥式输送系统的整体进行控 制，直线马达控制器52对设在直线马达导轨内的直线马达进行控制，由此对桥式行走车14 的行驶进行控制。移载台车的机载控制器54对移载台车进行控制，通过对行驶马达55进 行控制而使移载台车与作为移载相对方的桥式行走车等速地行驶。在桥式行走车与移载台车之间的移载中，输送控制器50输出移载指令，该移载指 令中含有何时在哪个位置在哪个桥式行走车与哪个移载台车之间进行移载。另外，进行移 载时的桥式行走车和移载台车的速度图形(pattern)恒定，控制器52、54存储这些图形，并 根据移载指令对直线马达53和行驶马达55进行控制。并且，直线马达控制器52将作为移 载相对方的桥式行走车(OHS)的位置和速度通知移载台车侧。移载台车根据该数据使移载 台车与桥式行走车之间的相对速度变小，并对相对位置进行控制，利用相对位置传感器的 信号进行准确的对位和等速化，进而移载物品。图6、图7示出从桥式行走车朝移载台车移载物品时的算法。当接近进行移载的位 置时，桥式行走车减速，同时，移载台车加速，对于移载台车来说桥式行走车的速度图形是 已知的。由于即便使升降台升降，只要不使卡盘动作，就不会与桥式行走车上的物品干涉， 因此在桥式行走车和移载台车变成相等速度之前使升降台下降。接着，通过移载台车的传 感器监视相对速度和相对位置，当行驶速度相等、且使卡盘与卡合部对位时，使升降台微速 上升，从而移载物品。之所以使行驶速度相等，是为了在移载物品时不会通过桥式行走车和 移载装置的相对速度施加冲击。所谓等速例如意味着速度差在30mm/sec以下，优选为在 10mm/sec以下，更加优选为在3mm/sec以下，在实施例中为lmm/sec以下。并且，需要以相 等速度行驶的期间是使升降台微速上升，将物品的支承从桥式行走车切换至移载台车的期 间。在移载物品后，施加于升降台的力变化，但是，利用上述的销或者导电弓等防止升 降台的振动，以使升降台不会由于力的变化而振动。通过设在升降台的卡盘上的未图示的 载荷传感器等检测到移载完毕的情况，增加升降台的上升速度，并将移载完毕的情况从移 载台车通知给直线马达控制器52。由此，桥式行走车增速，移载台车等待升降台的上升完毕，然后开始减速，行驶到卸下物品的缓冲部或者装载口并停止。另外，在从移载台车朝桥 式行走车移载物品的情况下，在使二者大致等速之后，一边使升降台下降一边使移载台车 和桥式行走车对位并使速度一致。当速度一致且能够对位时，使升降台稍稍下降，将物品的 支承从移载台车切换至桥式行走车。当利用载荷传感器检测到移载完毕的情况时，桥式行 走车再次加速，移载台车打开卡盘并使升降台进一步下降，避免与物品干涉，接着开始使升 降台上升及减速。返回图2，在缓冲部7与移载台车20之间，利用横向移动单元26使升降驱动部28 等横向移动，从而移载物品。并且，在缓冲部7与装载口 10之间的物品的移载中也通过横 向移动单元26使升降驱动部28等横向移动，并利用升降驱动部28使升降台30升降从而 进行移载。另外，图2的29是横向移动单元26的顶部，是在左右方向最大幅度地移动的部 分。在缓冲部7与装载口 10之间的移载中，移载台车20停止而不行驶。移载台车系统4的行驶导轨18与桥式行走车系统2的直线马达导轨12平行地设 于直线马达导轨12的上部，并将缓冲系统6和装载口 10设在行驶导轨18的左右。并且， 针对多个处理装置8分配一条行驶导轨18，优选通过一条行驶导轨18使多台移载台车20 行驶，并对多个处理装置8进行物品的供给和搬出。这样，对于作业集中的处理装置，能够 使用多台移载台车20集中地进行物品的供给和搬出。在实施例中能够得到以下的作用效果。(1)桥式行走车14不停止就能够进行物品的移载。此时，虽然桥式行走车14减 速，但是，与停止的情况相比，相对于后续的桥式行走车，堵塞行驶路径的时间短，不易引起 阻塞。另外，也可以不使桥式行走车14减速，使移载台车20加速至桥式行走车14的通常 速度并进行移载，但是物品的移载变困难。(2)相对于装载口 10的物品16的供给和搬出由移载台车20进行，能够使用缓冲 系统6暂时保管物品。(3)在桥式行走车14中支承单元41位于上方，在移载台车20中升降台30朝下 配置。因此，桥式行走车14和移载台车20能够以不会干涉的方式进行移载。另外，升降台 30也可以不使用卡盘32，而是利用基于电磁铁的吸附等保持卡合部34。(4)当移载台车20以微小的行程使升降台30升降时，就能够与桥式行走车14之 间移载物品，等速行驶所需的时间例如为0. 1秒的数量级。由于桥式行走车14不需要停止， 因此加减速的时间例如减速和加速各为1秒以下。作为一个例子，如果桥式行走车14的速 度为5m/sec，加速度为2. 5m/sec2,移载时的速度为3m/seC，等速行驶时间为0. 1秒的话，后 续的桥式行走车不用减速地用于进行移载的车间距离为1.8m。并且，如果移载时的速度为 4m/sec的话，所需的车间距离为0. 5m。在相同条件下，如果桥式行走车14停止1秒钟的时 间以进行移载的话，为了使后续的桥式行走车不用减速，需要15m的车间距离。(5)移载时的物品所承受的风压与速度的二次方 三次方成比例。并且，移载台 车20用于进行加减速的行程与速度的二次方成比例。因此，桥式行走车14减速比移载台 车20加速至桥式行走车14的通常行驶速度有利。 (6)由于桥式行走车14不需要移载机构，因此能够利用地面一次的直线马达容易 进行控制。因此，能够以较短的车间距离对多台桥式行走车14进行集中控制，桥式行走车 14与移载台车20的等速行驶也容易。
在图1 图7的实施例中，当升降台30在保持物品16的状态下通过直线马达导轨12的上部时，会妨碍桥式行走车14的行驶。图8 图11示出用于解决该问题的实施例，这 些实施例中的缓冲系统的配置可以一并使用图2中的缓冲系统6的配置。在图8中，将缓 冲系统6设在处理装置8的上部，以俯视时与行驶导轨18重合的方式将装载口 10设置在 移载台车系统4的正下。桥式行走车系统2位于行驶导轨18的左右一方侧，缓冲系统6位 于左右另一方侧。并且，移载台车利用横向移动单元26在该移载台车与桥式行走车14之 间移载物品。其他的点与图1 图7的实施例同样，在图8的实施例中能够利用处理装置 8的上部的空余空间设置缓冲系统6。在图9的实施例中也利用横向移动单元26在与桥式行走车14之间移载物品，在 该情况下，横向移动单元26只要能够在与直线马达导轨12之间横向移动物品16即可，即 便不能使物品朝左右两方横向移动也没关系。以俯视时与行驶导轨18重合的方式将装载 口 10和缓冲系统86设置在移载台车系统4的下方，各个缓冲部86a配置于装载口 10、10 之间的空间。另外，87为缓冲系统86的支柱，也可以使用桥式行走车系统2等支承缓冲系 统86。在图10、图11的实施例中，以俯视时与直线马达导轨12重合的方式将缓冲系统 96设置在直线马达导轨12的下部空间中，97是该缓冲系统96的支柱。在图10、图11的实 施例中，将升降驱动部设在移载台车的转动单元27的下部，使横向移动单元26升降，并将 升降台30设在横向移动单元26的顶部29。此处，如果在使吊持部件31较大地伸出的状态 下与缓冲系统96之间移载物品16的话，存在横向移动单元26朝行驶方向的左右倾斜的可 能性。因此，例如将前后一对引导件90以朝下的方式安装于升降驱动部28等，将被引导体 92设置于横向移动单元26，一边利用引导件90进行引导一边升降。另外，由于在与装载口 10之间的移载中不需要引导件90，因此引导件90在比装载口 10高的位置结束，横向移动 单元侧的被引导体92自由通过引导件90的下端。另外，横向移动单元26只要能够在直线 马达导轨12与缓冲系统96之间使物品16横向移动即可。另外，在移载时也可以使桥式行走车14停止并在桥式行走车14与移载台车20之 间移载物品，在该情况下，移载台车20也可以是不具备行驶单元24的固定的移载装置。
权利要求
一种桥式输送系统，具备设于地面侧的工位和设于顶棚侧的桥式行走车系统，其特征在于，在所述桥式行走车系统中设有桥式行走车和行驶导轨，所述桥式行走车支承物品的底部并行驶，所述行驶导轨设在该桥式行走车的底部侧，并且，在所述桥式行走车系统中还设有移载装置，该移载装置从上方以自由释放的方式保持物品，从而在该移载装置与所述桥式行走车之间移载物品，并且，使物品在桥式行走车的上部与所述行驶导轨的侧方的所述工位的上部之间横向移动，并使物品在桥式行走车与所述工位之间升降而进行移载。
2.根据权利要求1所述的桥式输送系统，其特征在于，所述移载装置具备升降台，从上方保持物品；升降驱动部，使升降台升降；以及横向 输送部，使升降驱动部在所述行驶导轨的上方与工位的上方之间横向移动。
3.根据权利要求2所述的桥式输送系统，其特征在于，设有所述移载装置的行驶导轨，使所述移载装置与桥式行走车的行驶导轨平行地行驶。
4.根据权利要求3所述的桥式输送系统，其特征在于，还设有用于暂时保管物品的缓冲部。
5.根据权利要求4所述的桥式输送系统，其特征在于，以俯视时与移载装置的行驶导轨重合的方式将桥式行走车的行驶导轨配置在所述移 载装置的行驶导轨的下方，并且，将所述缓冲部设在所述移载装置的行驶导轨的左右第一 侧，将所述工位配置在所述移载装置的行驶导轨的左右第二侧。
6.根据权利要求4所述的桥式输送系统，其特征在于，将桥式行走车的行驶导轨配置在所述移载装置的行驶导轨的左右第一侧的下方，并 且，以俯视时与移载装置的行驶导轨重合的方式将所述工位配置在所述移载装置的行驶导 轨的下方。
7.根据权利要求6所述的桥式输送系统，其特征在于，将所述缓冲部设在所述移载装置的行驶导轨的左右第二侧。
8.根据权利要求6所述的桥式输送系统，其特征在于，在所述移载装置的行驶导轨的下方，以俯视时与移载装置的行驶导轨重合的方式将所 述缓冲部设在所述工位和工位之间。
9.根据权利要求6所述的桥式输送系统，其特征在于，以俯视时与桥式行走车的行驶导轨重合的方式将所述缓冲部设在所述桥式行走车的 行驶导轨的下方。
10.一种桥式输送系统中的物品的移载方法，其特征在于，为了在设于地面侧的工位和 设于顶棚侧的桥式行走车系统之间移载物品，该移载方法设有以下步骤使所述桥式行走车系统的桥式行走车支承物品的底部并沿着行驶导轨行驶的步骤；通过利用移载装置从桥式行走车的上方保持和释放物品，从而在移载装置与桥式行走 车之间移载物品的步骤；利用所述移载装置使物品在桥式行走车的上部与所述行驶导轨的侧方的所述工位的 上部之间横向移动的步骤；以及利用所述移载装置升降物品，从而在所述桥式行走车与所述工位之间移载物品的步骤。
全文摘要
一种桥式输送系统及物品的移载方法，使桥式行走车支承物品的底部并使该桥式行走车行驶，利用移载装置从上方保持物品，并使物品在桥式行走车的上部与行驶导轨的侧方的工位的上部之间移动，并使物品在桥式行走车与工位之间升降从而进行移载。
文档编号H01L21/67GK101837871SQ20101013591
公开日2010年9月22日 申请日期2010年3月16日 优先权日2009年3月17日
发明者石川和广 申请人:村田机械株式会社