专利名称：一种扩散片pn面判定仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种扩散片，特别涉及一种扩散片PN面判定仪。
背景技术：
扩散片是半导体元器件制造过程中产生的半成品。其在生产过程中需要进行PN 面的判定，传统的检测方法是将扩散片取出部分，置于混合酸测试溶液中，根据扩散面PN 面的不同腐蚀速率来判断PN面，测试具有破坏性。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单测试方便的扩散片PN面判定 仪。为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为一种扩散片PN面判定仪，包括 放大器，该放大器具有两个输入端和一个输出端，其创新点在于所述放大器的两输入端分 别连接有两根钢针，输出端连接有电流表，在其中一根钢针的中部绑有电烙铁。本实用新型的优点在于使用时，电烙铁对于其接触的钢针加热，将一冷钢针和加 热的热钢针同时抵住扩散片的同一面，利用同一面的钢针温差激发电子流，该电子流经放 大器放大后，由电流表读出，根据扩散片PN面电子流不同的流向和电流表指针的方向来判 定PN面。结构简单，判断快速方便，不具有破坏性。
附图为本实用新型扩散片PN面判定仪结构示意图。
具体实施方式
如附图所示，本实用新型包括放大器1、第一钢针2、第二钢针3、电烙铁4、电流表 5。上述放大器1具有两个输入端和一个输出端，两根输入端上分别连接有第一钢针 2和第二钢针3，输出端连接有电流表5。在第一钢针2的中部绑有电烙铁4。使用时，将电烙铁4通电，对第一钢针2进行加热，将冷的第二钢针3和热的第一 钢针2同时抵住扩散片的同一面，利用同一面的钢针温差激发电子流，该电子流经放大器1 放大后，由电流表5读出，根据扩散片PN面电子流不同的流向和电流表指针的方向来判定 PN面，结构简单，判断快速方便，不具有破坏性。
权利要求一种扩散片PN面判定仪，包括放大器，该放大器具有两个输入端和一个输出端，其特征在于所述放大器的两输入端分别连接有两根钢针，输出端连接有电流表，在其中一根钢针的中部绑有电烙铁。
专利摘要本实用新型涉及一种扩散片PN面判定仪，包括放大器，该放大器具有两个输入端和一个输出端，其创新点在于所述放大器的两输入端分别连接有两根钢针，输出端连接有电流表，在其中一根钢针的中部绑有电烙铁。使用本实用新型时，电烙铁对于其接触的钢针加热，将一冷钢针和加热的热钢针同时抵住扩散片的同一面，利用同一面的钢针温差激发电子流，该电子流经放大器放大后，由电流表读出，根据扩散片PN面电子流不同的流向和电流表指针的方向来判定PN面。结构简单，判断快速方便，不具有破坏性。
文档编号H01L21/66GK201717247SQ20102017870
公开日2011年1月19日 申请日期2010年5月5日 优先权日2010年5月5日
发明者张练佳, 梅余锋, 贲海蛟, 陈建华, 黄建山 申请人:如皋市易达电子有限责任公司