专利名称：快速热处理机台滚珠的装卸工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体设备，尤其涉及一种快速热处理机台滚珠的装卸工 具。
背景技术：
快速热处理(Rapid thermal processing，RTP)是 将晶片快速加热到设定温度，进 行短时间快速热处理的方法，热处理时间通常小于1 2分钟。过去几年间，RTP已逐渐成 为先进半导体制造必不可少的一项工艺，用于氧化、退火、金属硅化物的形成和快速热化学 沉积。在快速热处理机台使用过程中，为延长快速热处理机台寿命，保证快速热处理机 台高效工作，要对快速热处理机台进行定期清洗和保养。每次进行月保养的时候，都要对快速热处理机台的腔室内部的滚珠进行清洗，当 季保养的时候是需要对滚珠进行检查、更换。对滚珠进行清洗是重要的组成部分，清洗的干 净与否对下次的使用寿命起到至关重要的作用。滚珠在旋转过程根据作用分为两种，一种起到润滑作用，一种起到支撑作用，采用 不同颜色区分。现有技术中的清洗方法是人工将所有的滚珠从腔室内部取下，将滚珠放在 容器中，用专用擦布对每一个滚珠进行清洗并更换坏掉的滚珠，再手动将不同的颜色的滚 珠按照序列摆回到面板上，由于位置的原因，在摆放的过程中，要对不同颜色的滚珠进行分 别摆放，在摆放过程中，由于滚珠比较小、摆放的空间比较狭小，人的手指在摆放过程中很 容易触碰到其他已经摆放好的滚珠，使其掉落，这会导致以前的工作失效，从而效率降低。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是，提供一种快速热处理机台滚珠的装卸工具，使 不容易拆卸与安装的滚珠可以同时拆卸、清洗和安装，方便操作，提高工作效率。为解决上述问题，本实用新型提供一种快速热处理机台滚珠的装卸工具，包括装 卸圆环，所述装卸圆环包括若干小块和若干弹簧，相邻小块之间通过弹簧连接，每个小块底 面设有第一圆弧形凹槽和第二圆弧形凹槽，每个小块的第一圆弧形凹槽与相邻小块的第二 圆弧形凹槽相匹配构成一个装卸凹槽，每个所述装卸凹槽与所述快速热处理机台的一个滚 珠相匹配。进一步的，所述小块的材料为耐腐蚀材料。优选的，所述小块的材料为塑料。较佳的，所述弹簧为耐腐蚀材料。进一步的，所述快速热处理机台滚珠的装卸工具还包括调节装置，所述调节装置 包括弹性条和调节杆，所述弹性条紧贴在所述装卸圆环内圈，所述调节杆连接所述弹性条 的两端。较佳的，所述调节装置为耐腐蚀材料。[0013]较佳的，所述调节杆为调节螺丝。综上所述，本实用新型中所述快速热处理机台滚珠的装卸工具，包括若干小块和弹簧，所述小块之间通过弹簧连接，所述装卸工具的底面形成有若干半球形凹槽，所述半球 形凹槽与所述快速热处理机台滚珠的数量相同，位置对应，同时所述半球形凹槽可调节松 紧，可将滚珠从所述快速热处理机台中夹起，使不容易拆卸与安装的滚珠可以同时拆卸、清 洗和安装，方便操作，提高工作效率。
图1为本实用新型一实施例中快速热处理机台滚珠的装卸工具的俯视图。图2为本实用新型一实施例中所述装卸工具的仰视图。图3为本实用新型一实施例中所述装卸工具的俯视局部放大的结构示意图。图4为本实用新型一实施例中小块侧面的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内 容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知 的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了 便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。本实用新型的核心思想是提供一种快速热处理机台滚珠的装卸工具，所述装卸 工具上设置有装卸凹槽，所述装卸凹槽与所述快速热处理机台滚珠相匹配，所述装卸凹槽 松紧可调，夹紧时可将滚珠全部夹起，从而使不容易拆卸与安装的滚珠可以同时拆卸、清洗 和安装，方便操作，提高工作效率。结合上述核心思想，本实用新型提供一种快速热处理机台滚珠的装卸工具，包括 若干小块和若干弹簧，相邻小块之间通过弹簧连接，每个小块底面设有第一圆弧形凹槽和 第二圆弧形凹槽，每个小块的第一圆弧形凹槽与相邻小块的第二圆弧形凹槽相匹配构成一 个装卸凹槽，每个所述装卸凹槽与所述快速热处理机台的一个滚珠相匹配。图1为本实用 新型一实施例中快速热处理机台滚珠的装卸工具的俯视图。请结合图1，所述快速热处理机 台滚珠的装卸工具包括装卸圆环10，所述装卸圆环包括若干小块101和弹簧102，较佳的， 本实施例中所述小块101的大小、形状均相同，所述小块101与相邻所述小块101通过所述 弹簧连接，所述小块与所述弹簧共同形成圆环形结构。图2为本实用新型一实施例中所述装卸工具的仰视图。参考图2，所述小块101的 底面设有第一圆弧形凹槽和第二圆弧形凹槽，每个小块101的第一圆弧形凹槽与相邻小块 101的第二圆弧形凹槽相匹配构成一个装卸凹槽，每个所述装卸凹槽与所述快速热处理机 台的一个滚珠相匹配。图3为本实用新型中所述装卸工具的俯视局部放大的结构示意图，参考图3，所述 小块101与相邻所述小块101的侧面通过所述弹簧102连接，所述小块101两两相靠，所述 小块101与所述弹簧102共同形成圆环形结构。图4为本实用新型一实施例中小块侧面的结构示意图，参考图4并结合图3，分别以所述小块101的底面的两对边为直径，形成第一圆弧型凹槽和第二圆弧形凹槽，所述第 一圆弧型凹槽和第二圆弧形凹槽的位于所述小块底边相对的两侧，每个小块101的第一圆 弧形凹槽与相邻小块101的第二圆弧形凹槽相匹配构成一个装卸凹槽，较佳的，所述第一 圆弧槽与所述第二圆弧槽形状相同，所述装卸圆弧槽为半球形凹槽，所述装卸凹槽的直径 等于或略小于滚珠的直径。在所述弹簧102的收缩力作用下，所述装卸凹槽可夹紧所述滚 珠。所述装卸凹槽与所述快速热处理机台滚珠的数量相同，位置对应。例如，所述快速热 处理机台中有60个滚珠，所述滚珠相靠形成圆环形，则所述装卸凹槽与所述滚珠的数量相 同，也为60个，所述装卸凹槽的位置与所述滚珠的位置一一对应，即每个所述装卸凹槽均 对应罩在一个所述滚珠之上。 进一步的，所述小块101的材料为耐腐蚀材料，其中较佳的，所述小块101的材料 为塑料，从快速热处理机台中取出所述滚珠后，对所述滚珠进行清洗是在所述装卸工具上 进行的，在清洗过程中清洗液具有一定的腐蚀性，所以采用塑料材料具有较佳的耐腐蚀效 果，同时塑料材料为常见材料，易于生产加工。进一步的，快速热处理机台滚珠的装卸工具还包括调节装置30，所述调节装置包 括弹性条301和调节杆302，所述弹性条301紧贴在所述装卸圆环10内圈，所述调节杆302 连接所述弹性条301的两端。所述弹性条301弯成圆形，由于具有向外的张力，撑在所述装 卸圆环10的内圈，所述弹性条301具有向外的张力，调节所述弹性条301的张力，就可以调 节所述小块101之间的距离，进一步的调节所述装卸凹槽的松紧；所述弹性条301的两端部 通过所述调节杆302调节、固定，所述调节杆302可以调节所述弹性条301，当所述调节杆 302收紧时，所述弹性条301收缩，所述弹簧102随之收缩，所述小块101之间的距离缩小， 进一步将所述装卸凹槽收紧。进一步的，所述调节装置30为耐腐蚀材料。从快速热处理机台中取出所述滚珠 后，对所述滚珠进行清洗是在所述装卸工具上进行的，在清洗过程中清洗液具有一定的腐 蚀性，腐蚀液部分会流到所述调节装置上，所以采用耐腐蚀材料，例如塑料等，具有较佳的 耐腐蚀效果，使所述拆卸工具可长时间使用。较佳的，所述调节杆302为调节螺丝。在本实用新型一实施例中所述弹性条301的 两端部均呈“L”型，弯曲所述弹性条301时，所述弹性条301呈圆形，所述弹性条301两端 的尾部相对，所述弹性条两端的尾部上均设有螺纹口，所述调节螺丝可以旋入所述螺纹口， 旋转调节螺丝即可调节两端的尾部的距离，进而调节所述弹性条301的松紧。本实用新型一实施例中所述装卸工具的使用原理为，调节所述调节杆302，使所述 弹性条301两端尾部的距离变大，在所述弹性条301张力的作用下所述弹簧102伸长，使所 述小块101之间的距离增加，则所述装卸凹槽放松，此时所述滚珠可放入所述装卸凹槽，或 从所述装卸凹槽中取出；当手动调节所述调节杆302，使所述弹性条301两端尾部的距离变 小，所述弹簧102随之收缩，使所述小块101之间的距离减小，所述装卸凹槽收紧，此时可夹 紧所述滚珠不掉落。本实用新型一实施例中所述装卸工具的使用过程为，调节所述调节杆302，使所述 装卸凹槽放松，将每个所述装卸凹槽对准快速热处理机台上的所述滚珠；对准后手动调节 所述调节杆302，使所述装卸凹槽夹紧所述滚珠；确保夹紧所述滚珠后提起所述装卸工具， 将所述滚珠从快速热处理机台中全部取下；接着将所述装卸工具翻转，再次手动调节所述调节杆302，所述装卸凹槽慢慢松动，不将所述滚珠从装卸工具中取下，直接在所述滚珠上 滴擦拭液后用洁净布擦拭；当清洗完毕后，手动调节所述调节杆302，使所述装卸凹槽夹紧 所述滚珠，将所述装卸工具翻转，将所述滚珠放回到所述快速热处理机台，将所述滚珠对准 位置后手动调节所述调节杆302，使所述装卸凹槽放松所述滚珠，将所述滚珠放回到所述快 速热处理机台上的位置。综上所述，本实用新型中所述快速热处理机台滚珠的装卸工具，包括若干小块101 和弹簧102，所述小块101之间通过弹簧102连接，所述装卸工具的底面形成有若干装卸凹 槽，所述装卸凹槽与所述快速热处理机台滚珠的数量相同，位置对应，同时所述装卸凹槽可 调节松紧，可将滚珠从所述快速热处理机台中夹起，使不容易拆卸与安装的滚珠可以同时 拆卸、清洗和安装，方便操作，提高工作效率。本实用新型中所述装卸工具采用的材料为工艺常见材料，方便取材，成本较低，便 于制作。虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何 所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更 动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求一种快速热处理机台滚珠的装卸工具，其特征在于，包括装卸圆环，所述装卸圆环包括若干小块和若干弹簧，相邻小块之间通过弹簧连接，每个小块底面设有第一圆弧形凹槽和第二圆弧形凹槽，每个小块的第一圆弧形凹槽与相邻小块的第二圆弧形凹槽相匹配构成一个装卸凹槽，每个所述装卸凹槽与所述快速热处理机台的一个滚珠相匹配。
2.如权利要求1所述的快速热处理机台滚珠的装卸工具，其特征在于，所述小块的材 料为耐腐蚀材料。
3.如权利要求1所述的快速热处理机台滚珠的装卸工具，其特征在于，所述小块的材 料为塑料。
4.如权利要求1所述的快速热处理机台滚珠的装卸工具，其特征在于，还包括调节装 置，所述调节装置包括弹性条和调节杆，所述弹性条紧贴在所述装卸圆环内圈，所述调节杆 连接所述弹性条的两端。
5.如权利要求4所述的快速热处理机台滚珠的装卸工具，其特征在于，所述调节装置 为耐腐蚀材料。
6.如权利要求4所述的快速热处理机台滚珠的装卸工具，其特征在于，所述调节杆为 调节螺丝。
专利摘要本实用新型提供一种快速热处理机台滚珠的装卸工具，包括装卸圆环，所述装卸圆环包括若干小块和若干弹簧，相邻小块之间通过弹簧连接，每个小块底面设有第一圆弧形凹槽和第二圆弧形凹槽，每个小块的第一圆弧形凹槽与相邻小块的第二圆弧形凹槽相匹配构成一个装卸凹槽，每个所述装卸凹槽与所述快速热处理机台的一个滚珠相匹配。本实用新型中所述快速热处理机台滚珠的装卸工具可将所述滚珠从所述快速热处理机台中夹起，使不容易拆卸与安装的滚珠可以同时拆卸、清洗和安装，方便操作，提高工作效率。
文档编号H01L21/324GK201773824SQ20102026133
公开日2011年3月23日 申请日期2010年7月16日 优先权日2010年7月16日
发明者许鹖 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司