被处理基体的处理方法
【专利摘要】在一实施方式中，提供一种对在表面上暴露有含有Ni和Si的第1层和含有Si和N的第2层的被处理基体中的第2层进行蚀刻的方法。一实施方式的方法包括：(a)在处理容器内准备被处理基体的工序；以及(b)向处理容器内供给不含有氧而含有碳和氟的第1处理气体并在该处理容器内产生等离子体的工序。
【专利说明】被处理基体的处理方法
【技术领域】
[0001]本发明的各方面均涉及被处理基体的处理方法。
【背景技术】
[0002]在下述专利文献I中记载有一种被处理基体的处理方法。专利文献I所记载的方法涉及一种MOS晶体管的制造方法。在专利文献I所记载的方法中:(a)使形成于半导体基板上的氧化硅膜和多晶硅膜图案化而形成栅电极，(b)将栅电极用作掩模并向半导体基板注入离子而形成低浓度扩散区域，(C)在栅电极的侧壁上依次形成第I侧壁间隔层和第2侧壁间隔层，(d)将上述侧壁间隔层用作掩模并向半导体基板注入离子而形成高浓度扩散区域，(e)在栅电极和高浓度扩散区域上形成硅化镍层。
[0003]在MOS晶体管的制造方法中，有时第I侧壁间隔层由氧化硅构成且第2侧壁间隔层由氮化硅构成。另外，有时在形成硅化镍层之后利用干蚀刻去除第2侧壁间隔层。在第2侧壁间隔层的干蚀刻中，通常使用混合气体，该混合气体含有:氧气；含有碳和氟的气体(CF系气体)。
[0004]专利文献1:日本特开2006 - 339327号公报
【发明内容】
[0005]发明要解决的问题
[0006]如上述MOS晶体管的制造方法那样，在表面上具有含有硅化镍的层和含有氮化硅的层的被处理基体中，在利用干蚀刻去除含有氮化硅的层时，源自硅化镍层所含有的Ni的残留物(Residue)有时会堆积在被处理基体上。
[0007]因而，在该【技术领域】中，在对含有氮化硅的层应用干蚀刻时，需要抑制产生源自硅化镍所含有的Ni的残留物。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]本发明的一发明提供一种被处理基体的处理方法，其中，该处理方法包括以下工序:(a)在处理容器内准备被处理基体的工序，该被处理基体的含有硅化镍的第I层和含有氮化硅的第2层暴露于该被处理基体的表面；以及(b)对第2层进行蚀刻的工序，在该蚀刻工序中，向该处理容器内供给不含有氧而含有碳和氟的第I处理气体，并在该处理容器内产生等离子体。
[0010]在利用干蚀刻去除在表面上具有氮化硅层和硅化镍层的被处理基体中的氮化硅层的情况下，通常使用混合气体，该混合气体含有:氧气；含有碳和氟的气体。其原因在于，相对于硅化镍层而选择性地对氮化硅层进行蚀刻。然而，在使用该混合气体的干蚀刻中，有时在被处理基体上产生含有Ni的残留物。能够推测该残留物是由于以下说明的机理而产生的。即，硅化镍被蚀刻，Ni与碳自由基和氧自由基相结合，结果生成Ni(C0)4。然后，祖(0))4发生解离而与氧气反应，结果生成(Ni(CO)x)n，该(Ni(CO)x)n作为残留物而堆积在被处理基体上。此外，X和η是I以上的整数。
[0011]另一方面，采用一发明的被处理基体的处理方法，由于在向处理容器内供给的第I处理气体中不含有氧，因此，能够抑制产生含有Ni的上述残留物。
[0012]在一技术方案中，也可以是，第I处理气体还含有氢。氢与第I处理气体中的氟相结合而有助于抑制过多的硅被蚀刻。该氢也可以以H2气体的形态进行供给。
[0013]在一技术方案中，也可以是，被处理基体的处理方法还包括自在蚀刻工序中进行蚀刻后的被处理基体去除残留物的工序，在该工序中，向处理容器内供给不含有氧而含有氮和氢的第2处理气体，并在该处理容器内产生等离子体。
[0014]在使用上述第I处理气体进行蚀刻后，源自第I处理气体所含有的碳和氟的残留物(含有碳和氟的残留物)可能堆积在被处理基体上。为了去除含有碳和氟的残留物，也不使向处理容器内供给的第2处理气体含有氧，由此能够抑制产生含有Ni的残留物。
[0015]在一技术方案中，也可以是，在蚀刻工序之后，在不将被处理基体自处理容器取出的情况下在同一处理容器内进行去除含有碳和氟的残留物的工序。采用该技术方案，能够抑制氧进入到处理容器内。因而，能够抑制产生含有Ni的残留物。
[0016]在一技术方案中，第2处理气体也可以含有H2气体和N2气体。SH2气体生成的自由基与含有碳和氟的残留物中的氟相结合，由N2气体生成的自由基与含有碳和氟的残留物中的碳相结合。因而，采用该技术方案，能够有效地去除含有碳和氟的残留物。
[0017]本发明的另一发明提供一种被处理基体的处理方法，其中，该处理方法包括以下工序:(a)在处理容器内准备被处理基体的工序，该被处理基体的含有硅化镍的第I层和含有氮化硅的第2层暴露于该被处理基体的表面；(b)在处理容器内使第I层的表面氧化的工序；以及(C)对第2层进行蚀刻的工序，在该蚀刻工序中，向处理容器内供给含有碳和氟的第I处理气体，并在该处理容器内产生等离子体。采用该另一发明的被处理基体的处理方法，在对第2层进行蚀刻之前，第I层的表面被氧化，因此，在对第2层进行蚀刻时，能够抑制产生源自第I层所含有的Ni的残留物。
[0018]发明的效果
[0019]如以上说明那样，采用本发明的各种发明和各种技术方案，可提供在将干蚀刻应用于含有氮化硅的层时能够抑制产生源自硅化镍所含有的Ni的残留物的被处理基体的处理方法。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]图1是表示一实施方式的被处理基体的处理方法的流程图。
[0021]图2是表示能够应用图1所示的处理方法的被处理基体的一个例子的图。
[0022]图3是表示能够在图1所示的处理方法中使用的等离子体处理装置的一个例子的图。
[0023]图4是表示图3所示的等离子体处理装置能够包括的控制部的图。
[0024]图5是表示另一实施方式的被处理基体的处理方法的流程图。
【具体实施方式】
[0025]以下，参照附图详细说明各种实施方式。图1是表示一实施方式的被处理基体的处理方法的流程图。如图1所示，在一实施方式的被处理基体的处理方法中，首先，在工序SI中，准备被处理基体W。该被处理基体W具有含有硅化镍(NiSi)的层(第I层)和含有氮化硅(SiN)的层(第2层)。含有硅化镍的层和含有氮化硅的层暴露于被处理基体W的表面。
[0026]图2是表示能够应用图1所示的处理方法的被处理基体的一个例子的图。在图2中，示出了在制造MOS晶体管的方法的中间工序中生成的被处理基体的一个例子。以下，以图2所示的被处理基体为例来说明一实施方式的被处理基体的处理方法。
[0027]图2所示的被处理基体W包括基板100、绝缘膜102、栅电极104、低浓度扩散区域108、第I侧壁间隔层110、第2侧壁间隔层112、高浓度扩散区域114以及硅化镍层116、118。
[0028]基板100例如是第I导电型(P型和η型中的一者)的Si基板。在基板100上设有绝缘膜102，在该绝缘膜102上设有栅电极104。绝缘膜102例如是S12膜。栅电极104由例如多晶硅构成。在该栅电极104上设有硅化镍层118。
[0029]在栅电极104的一对侧壁上分别依次设有第I侧壁间隔层110和第2侧壁间隔层112。S卩，第I侧壁间隔层110以与栅电极104的侧壁相接触的方式设置，并设置在栅电极104的侧壁与第2侧壁间隔层112之间。第I侧壁间隔层110由S12构成，第2侧壁间隔层112由氮化硅(SiN)构成。
[0030]在基板100中的位于第I侧壁间隔层110和第2侧壁间隔层112这两者的下方的部位处设有低浓度扩散区域108。低浓度扩散区域108自基板100的表面形成至该基板100的内部的某一深度。低浓度扩散区域108具有第2导电型(P型和η型中的另一者)。
[0031]高浓度扩散区域114设于基板100内的低浓度扩散区域108的侧方。高浓度扩散区域114具有第2导电型(P型和η型中的另一者)。在高浓度扩散区域114中扩散有浓度高于低浓度扩散区域108中的第2导电型的杂质的浓度的第2导电型的杂质。在高浓度扩散区域114上设有硅化镍层116。
[0032]图2所示的被处理基体W能够如以下说明那样制作。首先，在工序(a)中，利用例如CVD (Chemical Vapor Deposit1n:化学气相沉积)法在基板100上形成S12膜和多晶娃膜。在接下来的工序(b)中，利用光刻法和蚀刻使在工序(a)中形成的S12膜和多晶硅膜图案化而形成绝缘膜102和栅电极104。
[0033]在接下来的工序(C)中，通过将栅电极104用作掩模并使第2导电型的离子扩散至基板100内，从而形成低浓度扩散区域108。在接下来的工序(d)中，利用例如CVD法以覆盖在工序(c)中制作的产物的表面的方式形成S12膜，通过对该S12膜进行回蚀而形成第I侧壁间隔层110。
[0034]在接下来的工序(e)中，利用例如CVD法以覆盖在工序(d)中制作的产物的表面的方式形成SiN膜，通过对该SiN膜进行回蚀而形成第2侧壁间隔层112。
[0035]在接下来的工序(f)中，通过将第2侧壁间隔层112用作掩模并使第2导电型的离子扩散至基板100内，从而形成高浓度扩散区域114。在接下来的工序(g)中，利用溅射法等以覆盖在工序(f)中制作的产物的表面的方式形成Ni膜，并进行退火，由此形成硅化镍层116和硅化镍层118。然后，通过去除未反应的Ni膜，能够获得被处理基体W。在如此制作的被处理基体W的表面上暴露有含有氮化硅的第2侧壁间隔层112，另外，在该被处理基体W的表面上暴露有硅化镍层116和硅化镍层118。
[0036]再次参照图1。在图1所示的工序SI中，在处理容器内准备被处理基体W。以下，说明能够在一实施方式的被处理基体的处理方法中使用的等离子体处理装置的一个例子。图3是表示能够在图1所示的处理方法中使用的等离子体处理装置的一个例子的图。
[0037]图3所示的等离子体处理装置10包括处理容器12、载置台14、微波发生器16、天线18以及电介质窗20。等离子体处理装置10是利用来自天线18的微波来产生等离子体的微波等离子体处理装置。
[0038]处理容器12划分出用于对被处理基体W进行等离子体处理的处理空间S。处理容器12能够具有侧壁12a和底部12b。侧壁12a具有沿轴线X方向(即，轴线X的延伸方向)延伸的大致筒形状。底部12b设于侧壁12a的下端侧。在底部12b上设有排气用的排气孔12h。侧壁12a的上端部开口。
[0039]侧壁12a的上端部开口被电介质窗20封闭。在该电介质窗20与侧壁12a的上端部之间设有O型环21。通过该O型环21，能够更可靠地实现处理容器12的密闭。
[0040]微波发生器16产生例如2.45GHz的微波。等离子体处理装置10还包括调谐器
22、波导管24、模式转换器26以及同轴波导管28。
[0041]微波发生器16经由调谐器22与波导管24相连接。波导管24例如是矩形波导管。波导管24与模式转换器26相连接,该模式转换器26与同轴波导管28的上端相连接。
[0042]同轴波导管28沿着轴线X延伸。该同轴波导管28具有外侧导体28a和内侧导体28b。外侧导体28a具有沿轴线X方向延伸的大致圆筒形状。内侧导体28b设于外侧导体28a的内部。该内侧导体28b具有沿着轴线X延伸的大致圆筒形状。
[0043]由微波发生器16产生的微波经由调谐器22和波导管24导入至模式转换器26。模式转换器26转换微波的模式，并将模式转换后的微波供给至同轴波导管28。来自同轴波导管28的微波被供给至天线18。
[0044]天线18根据由微波发生器16产生的微波而辐射等离子体激发用的微波。天线18具有缝隙板30、电介质板32以及冷却套34。
[0045]缝隙板30是构成径向线缝隙天线的缝隙板。缝隙板30由具有导电性的金属制的圆板构成。在缝隙板30上形成有多个缝隙对。各缝隙对具有沿相互交叉的方向或相互正交的方向延伸的两个缝隙。多个缝隙对相对于轴线X沿径向以规定的间隔配置，另外，多个缝隙对相对于轴线X沿周向以规定的间隔配置。
[0046]电介质板32设于缝隙板30与冷却套34的下侧表面之间。电介质板32例如由石英制成，并具有大致圆板形状。冷却套34的表面能够具有导电性。冷却套34用于将电介质板32和缝隙板30冷却。为此，在冷却套34内形成有制冷剂用的流路。该冷却套34的上部表面与外侧导体28a的下端电连接。另外，内侧导体28b的下端穿过形成于冷却套34和电介质板32的中央部分的孔而与缝隙板30电连接。
[0047]来自同轴波导管28的微波向电介质板32传播，并自缝隙板30的缝隙经由电介质窗20被导入至处理空间S内。电介质窗20具有大致圆板形状，并由例如石英构成。该电介质窗20设置在处理空间S与天线18之间，并设于轴线X方向上的、天线18的正下方。
[0048]在同轴波导管28的内侧导体28b的内孔中贯穿有导管36。导管36沿着轴线X延伸，并与气体供给部G1、G2、G3、G4相连接。气体供给部Gl用于向导管36供给含有碳和氟的气体。含有碳和氟的气体例如是CH3F气体、CF4气体或CH2F2气体。气体供给部Gl能够具有气体源Gla、阀Glb以及流量控制器Glc。气体源Gla是含有碳和氟的气体的气体源。阀Glb用于对来自气体源Gla的气体的供给和供给停止进行切换。流量控制器Glc例如是质量流量控制器，用于调整来自气体源Gla的气体的流量。
[0049]气体供给部G2用于向导管36供给H2气体。气体供给部G2能够具有气体源G2a、阀G2b以及流量控制器G2c。气体源G2a是H2气体的气体源。阀G2b用于对来自气体源G2a的气体的供给和供给停止进行切换。流量控制器G2c例如是质量流量控制器，用于调整来自气体源G2a的气体的流量。
[0050]气体供给部G3用于向导管36供给Ar气体。气体供给部G3能够具有气体源G3a、阀G3b以及流量控制器G3c。气体源G3a是Ar气体的气体源。阀G3b用于对来自气体源G3a的气体的供给和供给停止进行切换。流量控制器G3c例如是质量流量控制器，用于调整来自气体源G3a的气体的流量。
[0051]气体供给部G4用于向导管36供给N2气体。气体供给部G4能够具有气体源G4a、阀G4b以及流量控制器G4c。气体源G4a是N2气体的气体源。阀G4b用于对来自气体源G4a的气体的供给和供给停止进行切换。流量控制器G4c例如是质量流量控制器，用于调整来自气体源G4a的气体的流量。
[0052]等离子体处理装置10还包括喷射器41。喷射器41用于向形成于电介质窗20的通孔20h供给来自导管36的气体。供给至电介质窗20的通孔20h后的气体被向处理空间S供给。
[0053]等离子体处理装置10还包括导管42。导管42用于在载置台14与电介质窗20之间自轴线X的周围向处理空间S供给气体。导管42在电介质窗20与载置台14之间以轴线X为中心呈环状延伸。在导管42上形成有多个气体供给孔42b。多个气体供给孔42b呈环状排列并朝向轴线X开口，用于将供给至导管42的气体朝向轴线X供给。导管42经由导管46与气体供给部G5、G6、G7、G8相连接。
[0054]气体供给部G5用于向导管42供给与气体供给部Gl相同种类的气体、即含有碳和氟的气体。气体供给部G5能够具有与气体供给部Gl同样的构成要件、即气体源G5a、阀G5b以及流量控制器G5c。气体供给部G6用于向导管42供给与气体供给部G2相同种类的气体、即H2气体。气体供给部G6能够具有气体供给部G2同样的构成要件、即气体源G6a、阀G6b以及流量控制器G6c。气体供给部G7用于向导管42供给与气体供给部G3相同种类的气体、即Ar气体。气体供给部G7能够具有与气体供给部G3同样的构成要件、即气体源G7a、阀G7b以及流量控制器G7c。气体供给部G8用于向导管42供给与气体供给部G4相同种类的气体、即N2气体。气体供给部G8能够具有与气体供给部G4同样的构成要件、即气体源G8a、阀G8b以及流量控制器G8c。
[0055]载置台14以在轴线X方向上与电介质窗20相面对的方式设置。该载置台14以其与电介质窗20之间隔着处理空间S的方式设置。在载置台14上载置有被处理基体W。载置台14能够具有台14a、静电吸盘15以及聚焦环17。
[0056]台14a由筒状支承部48支承。筒状支承部48由绝缘性的材料构成，并自底部12b向铅垂上方延伸。另外，在筒状支承部48的外周设有导电性的筒状支承部50。筒状支承部50沿着筒状支承部48的外周自处理容器12的底部12b向铅垂上方延伸。在该筒状支承部50与侧壁12a之间形成有环状的排气路径51。
[0057]在排气路径51的上部安装有环状的挡板52，在该挡板52上设有多个通孔。排气孔12h的下部经由排气管54与排气装置56相连接。排气装置56具有涡轮分子泵等真空泵。能够利用排气装置56将处理容器12内的处理空间S减压至所期望的真空度。
[0058]台14a兼用作高频电极。台14a经由匹配单元60和供电棒62电连接到RF偏压用的高频电源58。高频电源58以规定的功率输出适合对被吸引至被处理基体W的离子的能量进行控制的恒定的频率、例如13.65MHz的高频电力。匹配单元60收纳有用于在高频电源58侧的阻抗与主要是电极、等离子体、处理容器12这样的负载侧的阻抗之间进行匹配的匹配器。在该匹配器中具有自偏压生成用的隔直电容器。
[0059]在台14a的上表面设有作为用于保持被处理基体W的保持构件的静电吸盘15。在静电吸盘15利用静电吸附力保持被处理基体W。在静电吸盘15的径向外侧设有呈环状围绕被处理基体W的周围和静电吸盘15的周围的聚焦环17。
[0060]静电吸盘15具有电极15d、绝缘膜15e以及绝缘膜15f。电极15d由导电膜构成并设于绝缘膜15e与绝缘膜15f之间。电极15d经由开关66和被覆线68电连接到高压的直流电源64。静电吸盘15能够通过由直流电源64施加的直流电压产生的库仑力来保持被处理基体W。
[0061]在台14a的内部设有沿着周向延伸的环状的制冷剂室Hg。从冷却单元(未图示)经由配管70、72向该制冷剂室14g循环供给规定温度的制冷剂、例如冷却水。能够通过该制冷剂的温度来控制静电吸盘15上的被处理基体W的处理温度。另外，在等离子体处理装置10中，导热气体例如He气体经由气体供给管74供给到静电吸盘15的上表面与被处理基体W的背面之间。
[0062]在如此构成的等离子体处理装置10中，将气体经由导管36和喷射器41的通孔41h自电介质窗20的通孔20h沿着轴线X供给至处理空间S内。另外，在比通孔20h靠下方的空间中，自导管42将气体朝向轴线X供给。并且，将微波自天线18经由电介质窗20导入到处理空间S内。由此，在处理空间S内产生等离子体。这样，采用等离子体处理装置10，能够在不施加磁场的情况下产生等离子体。在该等离子体处理装置10中，能够利用供给至处理空间S的气体的等离子体来对载置在载置台14上的被处理基体W进行处理。
[0063]再次参照图1。在图1所示的工序SI中，将被处理基体W载置在载置台14上、SP静电吸盘15的上表面。接着，在工序S2中，对含有氮化硅的层、即第2侧壁间隔层112进行蚀刻。通过工序S2中的蚀刻，能够部分或完全地去除第2侧壁间隔层112。
[0064]在工序S2中，自等离子体处理装置10的气体供给部Gl和气体供给部G5向处理容器12内供给含有碳和氟的气体，并在该处理容器12内生成等离子体。在等离子体处理装置10中，作为等离子体的激发源，将微波自天线18经由电介质窗20导入至处理空间S内。由此,在处理容器12内的处理空间S内产生等离子体。在一实施方式中，在工序S2中，也可以将H2气体自气体供给部G2和气体供给部G6供给至处理空间S内。另外，在一实施方式中，在工序S2中，也可以将Ar气体自气体供给部G3和气体供给部G7供给至处理空间S内。
[0065]在工序S2中向处理空间供给的气体构成第I处理气体。如上所述，在工序S2中向处理容器12内供给的第I处理气体不含有氧。因而，在工序S2中，能够抑制产生含有Ni的残留物。另外，在工序S2中供给的H2气体与第I处理气体中的氟相结合，从而能够抑制因氟导致过多的硅被蚀刻。此外，在一实施方式中，也可以替代H2气体而供给NH3气体。
[0066]此处，以下，表示利用等离子体处理装置10实施工序S2的情况下的处理条件的一个例子。
[0067]处理空间S 的压力: 10mTorr (13.33Pa)
[0068]来自高频电源58的电力:30W
[0069]微波发生器16的电力:1800W
[0070]第I处理气体的流量:
[0071]Ar 气体:100sccm
[0072]CH3F 气体:6sccm
[0073]H2 气体:30sccm
[0074]来自导管36的气体与来自导管42的气体的流量比(来自导管36的气体的流量/来自导管42的气体的流量):95/5
[0075]处理时间:300秒
[0076]在一实施方式的被处理基体的处理方法中，在接下来的工序S3中，从在工序S2中蚀刻后的被处理基体W去除残留物。在工序S3中去除的残留物源自在工序S2中使用的第I处理气体所含有的碳和氟。即，该残留物是含有碳和氟的化合物。在该工序S3中，将蚀刻后的被处理基体W载置在载置台14上，向该处理容器12内供给不含有氧而含有氮和氢的第2处理气体，并在该处理容器12内生成等离子体。
[0077]在一实施方式中，在工序S3中，将H2气体自气体供给部G2和气体供给部G6供给至处理容器12内，并将N2气体自气体供给部G4和气体供给部G8供给至处理容器12内。另外，在工序S3中，将微波自天线18经由电介质窗20导入至处理空间S。由此，在处理容器12内的处理空间S内产生等离子体。利用工序S3的处理而在处理容器12内产生氮自由基和氢自由基。氮自由基与残留物所含有的碳相结合，氢自由基与残留物所含有的氟相结合。因而，能够利用工序S3去除被处理基体W上的残留物。另外，在工序S3中，也能够使用不含有氧的第2处理气体来抑制产生含有Ni的残留物。
[0078]在一实施方式中，也可以是，在工序S2之后，在不将被处理基体W自处理容器12取出的情况下进行工序S3。由此，能够抑制氧进入到处理容器12内。因而，能够更加有效地抑制产生含有Ni的残留物。
[0079]以下，表示利用等离子体处理装置10实施工序S3的情况下的处理条件的一个例子。
[0080]处理空间S 的压力: 2OmTorr (2.666Pa)
[0081]来自高频电源58的电力:OW
[0082]微波发生器16的电力:2000W
[0083]第2处理气体的流量:
[0084]N2 气体:200sccm
[0085]H2 气体:200sccm
[0086]来自导管36的气体与来自导管42的气体的流量比(来自导管36的气体的流量/来自导管42的气体的流量):100/0
[0087]处理时间:15秒
[0088]以下，参照图4。图4是表示图3所示的等离子体处理装置能够包括的控制部的图。在一实施方式中，等离子体处理装置10还能够包括控制部C1。等离子体处理装置10也可以在控制部ClO的控制下实施上述工序S2和工序S3。控制部ClO既可以是具有CPU和存储器这样的构成要件的计算机，也可以根据存储在存储器中的程序而对等离子体处理装置10的各构成要件发出控制信号。
[0089]更具体而言，在工序S2中，控制部ClO对阀Gib、流量控制器Glc、阀G2b、流量控制器G2c、阀G3b、流量控制器G3c、阀G5b、流量控制器G5c、阀G6b、流量控制器G6c、阀G7b、流量控制器G7c发出控制信号而将第I处理气体供给至处理容器12内。另外，在工序S2中，控制部ClO能够向微波发生器16发出控制信号而将微波供给至处理容器12内。另外，在工序S2中，控制部ClO对高频电源58发出控制信号而调整来自高频电源58的电力，并能够对排气装置56发出控制信号而调整处理容器12内的处理空间S的真空度。
[0090]另外，在工序S3中，控制部ClO能够对阀G2b、流量控制器G2c、阀G4b、流量控制器G4c、阀G6b、流量控制器G6c、阀G8b、流量控制器G8c发出控制信号而将第2处理气体供给至处理容器12内。另外，在工序S2中，控制部ClO能够对微波发生器16发出控制信号而将微波供给至处理容器12内。另外，在工序S2中，控制部ClO能够对高频电源58发出控制信号而调整来自高频电源58的电力，并能够对排气装置56发出控制信号而调整处理容器12内的处理空间S的真空度。
[0091]以下，说明另一实施方式。图5是表示该实施方式的被处理基体的处理方法的流程图。在图5所示的实施方式的被处理基体的处理方法中，首先，与图1的工序SI同样地，在处理容器内准备被处理基体。在该实施方式中，被处理基体能够是图2所示的被处理基体W。另外，在该实施方式中，能够使用与图3所示的等离子体处理装置10相同的等离子体处理装置。但是，在图5所示的实施方式的被处理基体的处理方法中，作为自气体供给部G2和气体供给部G6或者气体供给部G4和气体供给部G8供给的气体，供给氧气、例如O2气体。
[0092]接着，在图5所示的实施方式的被处理基体的处理方法的工序S4中，对被处理基体W实施氧化处理。在该工序S4中，通过在处理容器内产生氧等离子体，能够使含有硅化镍的层、例如被处理基体W的层116和层118的表面氧化。在该实施方式中，在工序S4中，自气体供给部G2和气体供给部G4或者气体供给部G6和气体供给部G8将氧气供给至处理容器12内，从而在该处理容器12内产生等离子体。另外，在该实施方式中，在工序S4中，也可以将Ar气体自气体供给部G3和气体供给部G7供给至处理空间S内。
[0093]此处，以下，表示利用等离子体处理装置10实施工序S4的情况下的处理条件的一个例子。
[0094]处理空间S的压力:2OmTorr?10mTorr
[0095]来自高频电源58的电力: O?100W
[0096]微波发生器16的电力: 3kW(13.56MHz)
[0097]第I处理气体的流量:
[0098]供给气体的流量:
[0099]氧气(O2气体):350sccm、或者
[0100]氧气(O2气体):350sccm、Ar 气体:350sccm
[0101]处理时间:30秒
[0102]接着，在图5所示的实施方式的被处理基体的处理方法的工序S5中，对含有氮化硅的层、例如第2侧壁间隔层112进行蚀刻。通过工序S5中的蚀刻，能够部分或完全地去除第2侧壁间隔层112。
[0103]在工序S5中，自等离子体处理装置10的气体供给部Gl和气体供给部G5向处理容器12内供给含有碳和氟的气体，并在该处理容器12内生成等离子体。另外，在工序S5中，也可以将Ar气体自气体供给部G3和气体供给部G7供给至处理空间S内。
[0104]此处，以下，表示利用等离子体处理装置10实施工序S5的情况下的处理条件的一个例子。
[0105]处理空间S 的压力:10mTorr (I3.33Pa)
[0106]来自高频电源58的电力: 30W
[0107]微波发生器16的电力:1800W
[0108]供给气体的流量:
[0109]Ar 气体:100sccm
[0110]CH3F 气体或 CH2F2 气体: 6sccm
[0111]来自导管36的气体与来自导管42的气体的流量比(来自导管36的气体的流量/来自导管42的气体的流量): 95/5
[0112]在以上说明的图5的被处理基体的处理方法中，由于在对含有氮化硅的层、例如层112进行蚀刻之前，含有硅化镍的层、例如层116和层118的表面已被氧化，因此，在对含有氮化硅的层进行蚀刻时，能够抑制产生源自含有硅化镍的层所含有的Ni的残留物。
[0113]以上，说明了各种实施方式，但并不限定于上述实施方式，而能够进行各种变形。例如，能够在一实施方式的被处理基体的处理方法中使用的等离子体处理装置并不限定于微波等离子体处理装置，也可以是平行平板型的等离子体处理装置等任意的等离子体处理装置。
[0114]附图标记说明
[0115]10、等离子体处理装置；12、处理容器；14、载置台；16、微波发生器；18、天线；20、电介质窗；28、同轴波导管；30、缝隙板；32、电介质板；34、冷却套；36、导管；41、喷射器；42、导管；56、排气装置；58、高频电源；C10、控制部；G1~G8、气体供给部；W、被处理基体；100、基板；102、绝缘膜；104、栅电极；108、低浓度扩散区域；110、第I侧壁间隔层；112、第2侧壁间隔层(含有氮化硅的层)；114、高浓度扩散区域；116、118、硅化镍层。
【权利要求】
1.一种方法，其用于处理被处理基体，其中， 该方法包括以下工序: 在处理容器内准备被处理基体的工序，该被处理基体的含有硅化镍的第I层和含有氮化硅的第2层暴露于该被处理基体的表面；以及 对上述第2层进行蚀刻的工序，在该蚀刻工序中，向上述处理容器内供给不含有氧而含有碳和氟的第I处理气体，并在该处理容器内产生等离子体。
2.根据权利要求1所述的方法，其中， 上述第I处理气体还含有氢。
3.根据权利要求2所述的方法，其中， 上述第I处理气体含有H2气体。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中， 该方法还包括自在上述蚀刻工序中进行蚀刻后的上述被处理基体去除残留物的工序，在该工序中，向上述处理容器内供给不含有氧而含有氮和氢的第2处理气体，并在该处理容器内产生等离子体。
5.根据权利要求4所述的方法，其中， 在上述蚀刻工序之后，在不将上述被处理基体自上述处理容器取出的情况下进行上述去除残留物的工序。
6.根据权利要求4或5所述的方法，其中， 上述第2处理气体含有H2气体和N2气体。
7.一种方法，其用于处理被处理基体，其中， 该方法包括以下工序: 在处理容器内准备被处理基体的工序，该被处理基体的含有硅化镍的第I层和含有氮化娃的第2层暴露于该被处理基体的表面； 在上述处理容器内使上述第I层的表面氧化的工序；以及 对上述第2层进行蚀刻的工序，在该蚀刻工序中，向上述处理容器内供给含有碳和氟的第I处理气体，并在该处理容器内产生等离子体。
【文档编号】H01L21/336GK104054163SQ201280066942
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2012年11月9日 优先权日:2012年1月25日
【发明者】井上雅喜, 小津俊久, 谷川雄洋, 吉川润 申请人:东京毅力科创株式会社