薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的制造方法。所述薄膜层压装置，用于在平面显示面板上层压薄膜，所述平面显示面板包括基板及在基板的一面上形成的显示部，所述薄膜层压装置的特征在于，包括：工作台，用于在所述显示部相对于所述基板朝下的状态下支撑所述平面显示面板；及移送机器人，用于在所述显示部朝上的状态下支撑所述平面显示面板后，翻转所述平面显示面板，使得所述显示部朝下，并以该翻转状态将所述平面显示面板转移到所述工作台。
【专利说明】薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明的实施例涉及一种薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的制造方法。
【背景技术】
[0002]近年来，显示装置表现出由可携带的薄型平板显示装置取代的趋势。在平板显示装置中，有机发光显示装置作为自发光显示装置不仅视角宽，对比度优异，还具有响应速度快的优点，因此作为下一代显示器装置倍受关注。
[0003]有机发光显示装置具有中间层、第一电极及第二电极。中间层具有有机发光层，当向第一电极和第二电极施加电压时，在有机发光层产生可见光。
【发明内容】
[0004]本发明的主要目的在于提供一种薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的制造方法，该薄膜层压装置及该制造方法能够在平面显示面板的显示部层压薄膜的工序中避免显示部受到损伤。
[0005]根据本发明一实施例的薄膜层压装置，用于在平面显示面板上层压薄膜，所述平面显示面板包括基板及在基板的一面上形成的显示部，所述薄膜层压装置的特征在于，包括:工作台，用于在所述显示部相对于所述基板朝下的状态下支撑所述平面显示面板；及移送机器人，用于在所述显示部朝上的状态下支撑所述平面显示面板后，翻转所述平面显示面板，使得所述显示部朝下，并以该翻转状态将所述平面显示面板转移到所述工作台。
[0006]所述移送机器人可包括:臂，包括相互隔开的多个支撑条(support bar)及在所述多个支撑条的一侧与所述多个支撑条结合的连接部；关节部件，与所述臂连接，用于改变所述臂的位置；以及第一吸附部件，配置于所述支撑条的一面上，用于吸附所述平面显示面板，其中所述支撑条的所述一面供所述平面显示面板安置。
[0007]彼此相邻的支撑条之间的间距可相同。
[0008]所述臂可以以所述关节部件为中心旋转。
[0009]当所述平面显示面板配置于所述臂上时，所述臂可处于所述第一吸附部件朝上的状态；在所述平面显示面板配置于所述臂上并被所述第一吸附部件吸附后，所述臂旋转，使得所述平面显示面板朝下。
[0010]所述移送机器人在使所述臂旋转使得所述显示部朝下后，可将所述平面显示面板移送到所述工作台。
[0011]所述关节部件可与所述连接部相连。
[0012]所述关节部件可使所述臂上下左右移动。
[0013]在所述多个支撑条中的每一个的长度方向可与所述连接部的长度方向相互垂直。
[0014]所述第一吸附部件可由真空吸盘形成。
[0015]在所述平面显示面板配置于所述支撑条上时，所述第一吸附部件可吸附所述平面显示面板使之固定于所述臂上；在所述平面显示面板转移到工作台后，所述第一吸附部件可解除对所述平面显示面板的吸附。
[0016]所述工作台可包括:主体部；多个支撑肋(support rib)，配置于所述主体部的底面，供所述平面显示面板安置；多个收容部，位于所述多个支撑肋之间，能够收容所述多个支撑条中的每一个；及第二吸附部件，配置于所述支撑肋的一面，用于固定通过所述移送机器人转移的所述平面显示面板。
[0017]所述收容部的深度可比所述支撑条的高度大。
[0018]所述多个支撑肋之间的间距可比所述支撑条的宽度大。
[0019]所述多个支撑肋可与所述主体部形成为一体。
[0020]所述多个支撑肋可独立于所述主体部形成后，配置于所述主体部的底面。
[0021]在所述支撑条被收容于所述收容部后，所述第二吸附部件可吸附所述平面显示面板并固定到所述支撑肋。
[0022]所述第二吸附部件可吸附所述平面显示面板的所述基板，所述平面显示面板处于所述显示部朝下的状态。
[0023]在所述第二吸附部件吸附并固定所述平面显示面板后，所述第一吸附部件解除对所述平面显示面板的吸附。
[0024]在所述平面显示面板通过所述第二吸附部件被固定于所述工作台后，所述移送机器人移动，使得所述多个支撑条完全脱离所述多个收容部。
[0025]本发明一实施例的有机发光显示装置的制造方法，可包括以下步骤:准备平面显示面板，所述平面显示面板在基板上形成有显示部；在所述显示部相对于所述基板朝上的状态下，用移送机器人固定并支撑所述平面显示面板；使所述平面显示面板旋转，使得所述显示部相对于所述基板朝下；将所述平面显示面板固定并支撑于工作台；以及在所述显示部上层压薄膜。
[0026]所述移送机器人可包括:臂，包括相互隔开的多个支撑条(support bar)及在所述多个支撑条的一侧与所述多个支撑条结合的连接部；关节部件，与所述臂连接，用于改变所述臂的位置；以及第一吸附部件，配置于所述支撑条的一面上，用于吸附所述平面显示面板，其中所述支撑条的所述一面供所述平面显示面板安置。
[0027]用所述移送机器人固定并支撑所述平面显示面板的步骤可包括以下步骤:使所述臂处于所述第一吸附部件朝上的状态；将所述基板配置于所述第一吸附部件上；及用所述第一吸附部件吸附所述基板，并将所述平面显示面板固定于所述臂。
[0028]使所述平面显示面板旋转的步骤可包括:使所述臂旋转，使得处于所述显示部朝上并且所述基板被所述第一吸附部件吸附状态的所述平面显示面板中的所述显示部朝下。
[0029]所述工作台可包括:主体部；多个支撑肋(support rib)，配置于所述主体部的底面，供所述平面显示面板安置；多个收容部，位于所述多个支撑肋之间，能够收容所述多个支撑条中的每一个；以及第二吸附部件，配置于所述支撑肋的底面，用于固定通过所述移送机器人转移的所述平面显示面板。
[0030]所述收容部的深度可比所述支撑条的高度大。
[0031 ] 所述支撑肋之间的间距可比所述支撑条的宽度大。
[0032]将所述平面显示面板固定并支撑于工作台的步骤可包括以下步骤:向所述工作台提升所述臂，其中所述臂在所述显示部朝下的状态下支撑着所述平面显示面板；用所述第二吸附部件吸附所述基板；解除所述第一吸附部件对所述基板的吸附；以及使所述臂移动，使得所述臂脱离所述多个收容部。
[0033]向所述工作台提升所述臂的步骤可包括:提升所述臂，直至所述支撑条收容于所述收容部并且所述基板能够接触所述第二吸附部件。
[0034]根据本发明的实施例，在平面显示面板的显示部上层压薄膜的工序中能够避免显示部受到损伤。
【专利附图】
【附图说明】
[0035]图1为示意地表示本发明一实施例的薄膜层压装置的结构图。
[0036]图2为示意地表示图1所示薄膜层压装置的臂的俯视图。
[0037]图3为示意地表示平面显示面板的剖视图。
[0038]图4为表示通过移送机器人将平面显示面板转移到工作台的过程的剖视图。
[0039]图5至图10为在平面显示面板上层压薄膜的各工序剖视图。
[0040]图11为示意地表示使用本发明一实施例的薄膜层压装置制造的有机发光显示装置的剖视图。
[0041]符号说明
[0042]1000:薄膜层压装置 100:移送机器人
[0043]110:臂111:支撑条
[0044]112:连接部113:第一吸附部件
[0045]120:关节部件200:工作台
[0046]201:主体部211:支撑肋
[0047]52、52a、52b、52c:有源层
【具体实施方式】
[0048]下面，参照附图所示的本发明的实施例，对本发明的结构及作用进行详细说明。
[0049]图1为示意地表示本发明一实施例的薄膜层压装置的结构图。
[0050]参照图1，本发明的一实施例的薄膜层压装置1000可包括移送机器人100和工作台200。其中，所述移送机器人100包括臂110、关节部件120和第一吸附部件113 ;所述工作台200包括主体部201、支撑肋211和第二吸附部件212。
[0051]移送机器人100用于接收并吸附从其他设备传送过来的平面显示面板，然后将吸附的平面显示面板转移到工作台。
[0052]移送机器人100可具备臂110、关节部件120及第一吸附部件113。
[0053]图2为示意地表示图1所示薄膜层压装置的臂的俯视图。
[0054]参照图1及图2，臂110可具备支撑条111和连接部112。臂110能够接收从有机发光显示装置的制造设备转移过来的面板(图3中的10)，并将其吸附并支撑。
[0055]支撑条111可为多个。作为一个例子，如图1所示，支撑条111可为四个。本发明并不局限于此，可有两个以上的支撑条111。
[0056]多个支撑条111彼此隔开，多个支撑条111之间的间距均可相同。[0057]支撑条111的一面可为平面，从而能够安置平面显示面板10。如图1及图2所示，支撑条111可为四棱柱形状。但本发明并不局限于此，支撑条111也可为一面是平面的多棱柱或半圆柱。
[0058]多个支撑条111配置为其平面均朝向相同的方向，并且多个支撑条111的平面配置在同一个平面上。由此，多个支撑条111相互隔开配置，从而使平面显示面板10能够配置在多个支撑条111的平面上。
[0059]在支撑条111的平面上可配置有第一吸附部件113。在各支撑条111的平面上可配置有多个第一吸附部件113。
[0060]第一吸附部件113用于吸附配置在支撑条111上的平面显示面板10，并将所述平面显示面板10固定在臂110上。第一吸附部件113可为真空吸盘。在平面显示面板10固定在工作台200后，第一吸附部件113可解除对平面显示面板10的吸附。由此臂110可与平面显示面板10分离。对此将在后面描述。
[0061]多个支撑条111的一端可与连接部112连接。连接部112的长度方向垂直于支撑条111的长度方向。多个支撑条111可沿连接部112的长度方向相互隔开而配置。多个支撑条111可独立于连接部112而形成后，多个支撑条111结合到连接部112上，此外多个支撑条111也可与连接部112形成为一体。
[0062]关节部件120与臂110连接，从而能够使臂110旋转，并且使臂110上升或下降，或前后左右来改变位置。
[0063]关节部件120可由第一部件121、第二部件122、第三部件123及固定部件125组成。固定部件125位于地面上，起到将移送机器人100固定于地面的作用。第一部件121的一端结合在固定部件125，另一端与第二部件122相连。第二部件122与第一部件121相连，能够进行上下左右运动。第三部件123的一端与第二部件122相连，另一端与臂110的连接部112相连。第三部件123能够以第二部件122为中心进行上下左右运动。连接部112可旋转地与第三部件123相连，从而臂110能够以第三部件123为中心轴进行旋转。即，如图1所示，臂110可处于第一吸附部件113朝上的状态；在臂110以第三部件123为中心旋转后，如图4所示，可处于第一吸附部件113朝下的状态。
[0064]工作台200可包括主体部201、收容部213及支撑肋211。工作台200起到如下作用:对由移送机器人100转移过来的平面显示面板10进行吸附及固定，在进行在平面显示面板10上层压薄膜的工序的期间支撑平面显示面板10。
[0065]多个支撑肋211配置于主体部201的底面。多个支撑肋211相互隔开而配置在主体部201的底面，多个支撑肋211之间的间距可相同。多个支撑肋211之间的间距可大于支撑条111的宽度。
[0066]支撑肋211的一面可为平面，从而能够安置平面显示面板10。如图1及图4所示，支撑肋211可为四棱柱形。柱的一面与主体部201结合，柱的另一面可供平面显示面板10安置。但本发明并不局限于此，支撑肋211可为一面是平面的多棱柱。
[0067]多个支撑肋211相对于其长度方向，相互平行地配置于主体部201的底面。朝向地面的支撑肋211的底面均配置在同一个假想平面上。由此，在多个支撑肋211的底面上能够配置平面显示面板10。
[0068]在多个支撑肋211的底面可配置有第二吸附部件212。在各支撑肋211的底面可配置有多个第二吸附部件212。
[0069]第二吸附部件212用于吸附配置在支撑肋211的底面上的平面显示面板10，并将所述平面显示面板10固定于工作台200。第二吸附部件212可为真空吸盘。由于第二吸附部件212吸附并固定平面显示面板10，因此能够避免平面显示面板10掉在地面。为了使第二吸附部件212吸附并固定平面显示面板10，支撑肋211和/或主体部201可包括排气导管202。通过该排气导管202，空气能够排出到外部。
[0070]图3为示意地表示平面显示面板的剖视图。
[0071]参照图3，平面显示面板10可具备基板50和显示部50a。
[0072]在基板50上设置有包括有机发光元件的显示部50a。基板50不仅可以使用玻璃材料的基板，还可以使用诸如丙烯酸类等各种塑料材料的基板，进一步还可以使用金属板。根据需要，在基板50上还可以进一步具备缓冲层(未图示)。
[0073]显示部50a可具备多个有机发光元件。显示部50a的有机发光元件包括像素电极、与所述像素电极相对的对电极、设置在像素电极和对电极之间的至少包括发光层的中间层。像素电极可设置为透明电极或反射电极。当设置为透明电极时，可由ΙΤ0、ΙΖ0、Ζη0或In2O3形成；当设置为反射电极时，可包括:由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr或它们的化合物等形成的反射膜；和在所述反射膜上由ITO、IZO、ZnO或In2O3形成的膜。对电极也可设置为透明电极或反射电极，当设置为透明电极时，可包括:由L1、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Mg或它们的化合物沉积形成的、朝向像素电极和对电极之间的中间层的膜；和在所述膜上由ITO、IZO、ZnO或In2O3等用于形成透明电极的物质形成的辅助电极或汇流电极线(bus electrode line)。而当设置为反射电极时,可通过沉积L1、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Mg或它们的化合物而设置。像素电极和对电极之间的中间层可由低分子有机物或高分子有机物形成。在使用低分子有机物时，可由空穴注入层(HIL:hole injection layer)、空穴传输层(HTL:hole transport layer)、有机发光层(EML:emission layer)、电子传输层(ETL:electron transport layer)、电子注入层(EIL:electron injection layer)等形成为单层结构或层压形成为复合结构。可使用的有机材料有多种材料，主要有:铜酞菁(CuPc:copper phthalocyanine)、N, N- 二 (萘—I—基)-N, N’ - 二苯基-联苯胺(N, N’ -Di (ηaphthalene-l-yl )-Ν, N’ -diphenyl-benzidine:NPB)、三 _8_ 轻基喹啉招(tris-8-hydroxyquinoline aluminum, Alq3)等。这些低分子有机物可通过利用掩模的真空沉积等方式形成。当由高分子有机物形成时，中间层可具有大致包括空穴传输层(HTL)及发光层(EML)的结构。此时，所述空穴传输层使用PEDOT (聚(3，4-乙烯二氧噻吩)；Poly (3, 4-Ethylenedioxythiophene)),发光层使用PPV (聚对苯撑乙烯,Poly-Phenylene vinylene)类及聚荷(Polyfluorene)类等高分子有机物。
[0074]如上所述，由于在基板50上形成显示部50a,因此在平面显示面板10的一面,显示部50a外露,在另一面,基板50外露。如图1所不,臂110处于第一吸附部件113朝上的状态，在第一吸附部件113上可安置基板50，第一吸附部件113吸附基板50并将平面显示面板10固定到支撑条111。由于臂110不是支撑平面显示面板10的显示部50a而是支撑基板50，因此在通过移送机器人100转移平面显示面板10时，能够避免臂110对显示部50a造成的损伤。
[0075]图4为表示通过移送机器人将平面显示面板转移到工作台的过程的剖视图。[0076]平面显示面板10配置在臂110上。其中，所述臂110处于第一吸附部件113位于支撑条111上面的状态，所述第一吸附部件113吸附基板50。即，平面显示面板10的显示部50a朝上。然后，如图4所示，臂110旋转，使得平面显示面板10位于支撑条111的下面，此时,显示部50a朝下。
[0077]在保持平面显示面板10翻转的状态下，移送机器人100位于工作台200的下面，并将平面显示面板10转移到工作台200。更为具体地，移送机器人100使平面显示面板10位于工作台200的下面后，提升所述臂110，使得多个支撑条111收容到工作台200的收容部213中。
[0078]由于所形成的收容部213的深度hi比支撑条111的厚度h2大，且收容部213的宽度wl比支撑条111的宽度w2大，因此支撑条111能够收容到收容部213中。
[0079]移送机器人100向工作台200提升臂110，直至基板50与工作台200的第二吸附部件212接触。第二吸附部件212可为真空吸盘。第二吸附部件212吸附基板50，从而将平面显示面板10固定到工作台200。
[0080]图5至图10为在平面显示面板上层压薄膜的各工序剖视图。
[0081]首先，参照图5，平面显示面板10配置在臂110的上面，此时基板50位于显示部50a的下面。第一吸附部件113吸附基板50，从而将平面显示面板10固定到臂110上。此时在平面显示面板10中，显示部50a朝向工作台200，基板50朝向地面。
[0082]图6a及图7a为移送机器人100的侧视图，图6b及图7b为移送机器人100的主视图。
[0083]参照图6a及图6b，臂110在图5所示位置旋转180°。由此，在平面显示面板10中，显示部50a朝向地面，基板50朝向工作台200。由于第一吸附部件113吸附基板50，因此即使臂110旋转180° ,平面显示面板10也不会掉在地面。
[0084]接下来，参照图7a及图7b，移送机器人100在臂110旋转180°的状态下将臂110向工作台200提升。
[0085]接下来，参照图8，移送机器人100进一步提升臂110并将平面显示面板10固定到工作台200。S卩，移送机器人100向工作台200提升臂110，并使支撑条111收容于收容部213中。移送机器人100继续提升臂110，直至基板50与工作台200的第二吸附部件212接触。与第二吸附部件212接触的基板50被第二吸附部件212吸附并固定到工作台200。
[0086]之后，如图9所示，平面显示面板10处于固定在工作台200的状态，而臂110则脱离收容部20。更为具体地,在平面显示面板10固定于工作台200之后,第一吸附部件113解除对基板50的吸附，从而分离基板50和臂110。然后，臂110沿着收容部213的长度方向后退并脱尚工作台200。
[0087]然后，如图10所示，在平面显示面板10的显示部50a上层压薄膜。更为具体地，在平面显示面板10中，基板50被第二吸附部件212吸附并固定，显示部50a朝向地面。在此状态下，载置台(stage )310和薄膜300附着在显示部50a的一端，辊轮320向显示部50a对薄膜300进行加压，从而将薄膜300层压到显示部50a上。如此在显示部50a的下面层压薄膜300时，更能保持薄膜300绷紧的状态，从而防止在薄膜300和显示部50a之间产生气泡，提高薄膜300的附着精度。
[0088]如此，根据本发明一实施例的薄膜层压装置，通过移送机器人100吸附平面显示面板10的基板50而非吸附显示部50a并进行转移，并且通过工作台200吸附及固定基板50并进行层压工序，因此能够避免移送机器人100或工作台200对显示部50a造成的损伤。
[0089]图11为示意地表示使用本发明一实施例的薄膜层压装置制造的有机发光显示装置的剖视图。
[0090]参照图11，有源矩阵型的所述有机发光显示装置形成在基板50上。所述基板50可由透明材料例如玻璃材料、塑料材料或金属材料形成。在整个所述基板50上形成有诸如缓冲层的绝缘膜51。
[0091]如图11所示，在所述绝缘膜51上形成有薄膜晶体管(TFT ；Thin flimtransistor)和有机发光元件(OLED)。
[0092]在所述绝缘膜51的上表面形成有按照规定图案排列的半导体有源层52。所述半导体有源层52被栅极绝缘膜(gate insulator film)53填埋。所述有源层52可由p型或η型半导体构成。
[0093]在所述栅极绝缘膜(gate insulator film) 53的上表面与所述有源层52对应的部分形成有TFT的栅电极54。并且形成有覆盖所述栅电极54的层间绝缘膜55。在形成所述层间绝缘膜55之后,通过干法蚀刻等蚀刻工序蚀刻所述栅极绝缘膜(gate insulatorfilm) 53和层间绝缘膜55以形成接触孔，从而使所述有源层52的一部分露出。
[0094]然后，在所述层间绝缘膜55上形成源电极56/漏电极57,所述源电极56/漏电极57通过接触孔与露出的有源层52相接。形成覆盖所述源电极56/漏电极57的保护膜58，通过蚀刻工序使所述漏电极57的一部分露出。为了使保护膜58平整，在所述保护膜58的上面还可进一步形成另外的绝缘膜59。
[0095]另外，所述有机发光元件(OLED)用于随着电流的流动，发出红、绿、蓝光，从而显示规定的图像信息，在所述保护膜58上形成有第一电极61。所述第一电极61与TFT的漏电极57电连接。
[0096]此外，形成覆盖所述第一电极61的像素限定膜60。在该像素限定膜60上形成规定的开口后，在由该开口限定的区域内形成包括发光层的有机层62。并且在有机层62的上部形成第二电极63。
[0097]所述像素限定膜60用于划分各像素，由有机物形成，使形成有第一电极61的基板表面尤其使保护层59的表面平整。
[0098]所述第一电极61和第二电极63彼此绝缘,对包括发光层的有机层62施加不同极性的电压，从而使之发光。
[0099]所述包括发光层的有机层62可使用低分子或高分子有机物。当使用低分子有机物时，可由空穴注入层(HIL:Hole Injection Layer)、空穴传输层(HTL:Hole TransportLayer)、发光层(EML:Emission Layer)、电子传输层(ETL:Electron Transport Layer)、电子注入层(EIL:Electron Injection Layer)等形成为单层结构或层压形成为复合结构，可使用的有机材料有多种材料，主要有:铜酞菁(CuPc:copper phthalocyanine)、N, N-二(蔡-1-基)-N, N’ - 二苯基联苯胺(N, N’ -Di (naphthalene-l-yl )-N, N’ -diphenyl-benzidine:NPB)、三-8-轻基喹啉招(tris-8-hydroxy quinoline aluminum:Alq3)。
[0100]在形成这种有机发光膜之后，可采用同样的沉积工序形成第二电极63。
[0101]另外，所述第一电极61起到阳极作用，所述第二电极63起到阴极作用。当然，第一电极61和第二电极63的极性也可与上述极性相反。此外，第一电极61可对应于各像素区域而被构图；第二电极63可形成为覆盖全部像素。
[0102]所述第一电极61可设置为透明电极或反射型电极。当用作透明电极时，可由ΙΤ0、IZO、ZnO或In2O3形成；当用作反射型电极时，可由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr及它们的混合物形成反射层后，在所述反射层上使用ITO、IZO, ZnO或In2O3形成透明电极层。这种第一电极61，通过溅射法等成膜后，再通过光刻法等形成图案。
[0103]另外，所述第二电极63也可设置为透明电极或反射型电极。当用作透明电极时，由于该第二电极63用作阴极，因此可以朝向包括发光层的有机层62沉积功函数较小的金属即L1、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Ag、Mg或它们的化合物，然后在其上由ITO、IZO、ZnO或In2O3等形成辅助电极层或汇流电极线。此外，当用作反射型电极时，整体上沉积上述L1、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Ag、Mg或它们的化合物而形成。此时，可采用与前述包括发光层的有机层62的沉积相同的方式进行沉积。
[0104]在第二电极63上附着薄膜300。薄膜300则通过图1至图10中的薄膜层压装置层压于第二电极63上。
[0105]除此之外，本发明也可应用于有机TFT的有机层或无极膜等的沉积中，可在其他各种材料的成膜工序中应用。
[0106]参照附图所示的实施例说明了本发明，但上述实施例只不过是示例。在本领域中具有一般知识的技术人员应能理解，基于上述实施例可进行各种变形并实施其他等同的实施例。因此本发明真正的技术保护范围应由所附的权利要求书的技术思想来确定。
【权利要求】
1.一种薄膜层压装置，用于在平面显示面板上层压薄膜，所述平面显示面板包括基板及在基板的一面上形成的显示部，所述薄膜层压装置的特征在于，包括: 工作台，用于在所述显示部相对于所述基板朝下的状态下支撑所述平面显示面板；及移送机器人，用于在所述显示部朝上的状态下支撑所述平面显示面板后，翻转所述平面显示面板，使得所述显示部朝下，并以该翻转状态将所述平面显示面板转移到所述工作台。
2.根据权利要求1所述的薄膜层压装置，其特征在于，所述移送机器人包括: 臂，包括相互隔开的多个支撑条及在所述多个支撑条的一侧与所述多个支撑条结合的连接部； 关节部件，与所述臂连接，用于改变所述臂的位置；以及 第一吸附部件，配置于所述支撑条的一面上，用于吸附所述平面显示面板，其中所述支撑条的所述一面供所述平面显示面板安置。
3.根据权利要求2所述的薄膜层压装置，其特征在于: 彼此相邻的多个支撑条之间的间距相同。
4.根据权利要求2所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述臂以所述关节部件为中心能够旋转。
5.根据权利要求4所述的薄膜层压装置，其特征在于: 当所述平面显示面板配置于所述臂上时，所述臂配置为所述第一吸附部件朝上； 在所述平面显示面板配置于所述臂上并被所述第一吸附部件吸附后，所述臂旋转，使得所述平面显示面板朝下。
6.根据权利要求2所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述移送机器人在使所述臂旋转使得所述显示部朝下后，将所述平面显示面板移送到所述工作台。
7.根据权利要求2所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述关节部件与所述连接部相连。
8.根据权利要求2所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述关节部件能够使所述臂上下左右移动。
9.根据权利要求2所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述多个支撑条中每一个的长度方向与所述连接部的长度方向相互垂直。
10.根据权利要求2所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述第一吸附部件由真空吸盘形成。
11.根据权利要求2所述的薄膜层压装置，其特征在于: 在所述平面显示面板配置于所述支撑条上时，所述第一吸附部件吸附所述平面显示面板使之固定于所述臂上；在所述平面显示面板转移到工作台后，所述第一吸附部件解除对所述平面显示面板的吸附。
12.根据权利要求2所述的薄膜层压装置，其特征在于，所述工作台包括: 主体部； 多个支撑肋，配置于所述主体部的底面，供所述平面显示面板安置； 多个收容部，位于所述多个支撑肋之间，能够收容所述多个支撑条中的每一个；以及第二吸附部件，配置于所述支撑肋的一面，用于固定通过所述移送机器人转移的所述平面显示面板。
13.根据权利要求12所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述收容部的深度比所述支撑条的高度大。
14.根据权利要求12所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述多个支撑肋之间的间距比所述支撑条的宽度大。
15.根据权利要求12所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述多个支撑肋与所述主体部形成为一体。
16.根据权利要求12所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述多个支撑肋独立于所述主体部形成后，配置于所述主体部的底面。
17.根据权利要求12所述的薄膜层压装置，其特征在于: 在所述支撑条被收容于所述收容部后，所述第二吸附部件吸附所述平面显示面板并固定到所述支撑肋。
18.根据权利要求12所述的薄膜层压装置，其特征在于: 所述第二吸附部件吸附所述平面显示面板的所述基板，所述平面显示面板配置为所述显示部朝下。`
19.根据权利要求12所述的薄膜层压装置，其特征在于: 在所述第二吸附部件吸附并固定所述平面显示面板后，所述第一吸附部件解除对所述平面显示面板的吸附。
20.根据权利要求19所述的薄膜层压装置，其特征在于: 在所述平面显示面板通过所述第二吸附部件固定于所述工作台后，所述移送机器人移动，使得所述多个支撑条完全脱离所述多个收容部。
21.一种有机发光显示装置的制造方法，其特征在于，包括以下步骤: 准备平面显示面板，所述平面显示面板在基板上形成有显示部； 在所述显示部相对于所述基板朝上的状态下，用移送机器人固定并支撑所述平面显示面板； 使所述平面显示面板旋转，使得所述显示部相对于所述基板朝下； 将所述平面显示面板固定并支撑于工作台；以及 在所述显示部上层压薄膜。
22.根据权利要求21所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于， 所述移送机器人包括: 臂，包括相互隔开的多个支撑条及在所述多个支撑条的一侧与所述多个支撑条结合的连接部； 关节部件，与所述臂连接，用于改变所述臂的位置；以及 第一吸附部件，配置于所述支撑条的一面上，用于吸附所述平面显示面板，其中所述支撑条的所述一面供所述平面显示面板安置。
23.根据权利要求22所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于， 用所述移送机器人固定并支撑所述平面显示面板的步骤包括以下步骤: 使所述臂处于所述第一吸附部件朝上的状态；将所述基板配置于所述第一吸附部件上；以及 用所述第一吸附部件吸附所述基板，从而将所述平面显示面板固定于所述臂。
24.根据权利要求23所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于，使所述平面显示面板旋转的步骤包括: 使所述臂旋转，使得处于所述显示部朝上并且所述基板被所述第一吸附部件吸附状态的所述平面显示面板中的所述显示部朝下。
25.根据权利要求22所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于， 所述工作台包括: 主体部； 多个支撑肋，配置于所述主体部的底面，供所述平面显示面板安置； 多个收容部，位于所述多个支撑肋之间，能够收容所述多个支撑条中的每一个；以及第二吸附部件，配置于所述支撑肋的底面，用于固定通过所述移送机器人转移的所述平面显示面板。
26.根据权利要求25所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于: 所述收容部的深度比所述支撑条的高度大。
27.根据权利要求25所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于: 所述多个支撑肋之间的间距比所述支撑条的宽度大。
28.根据权利要求25所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于， 将所述平面显示面板固定并支撑于工作台的步骤包括以下步骤: 向所述工作台提升所述臂，其中所述臂以所述显示部朝下的状态支撑着所述平面显示面板； 用所述第二吸附部件吸附所述基板； 解除所述第一吸附部件对所述基板的吸附；以及 使所述臂移动，使得所述臂脱离所述多个收容部。
29.根据权利要求28所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于，向所述工作台提升所述臂的步骤包括: 提升所述臂，直至所述支撑条收容于所述收容部并且所述基板能够接触所述第二吸附部件。
【文档编号】H01L51/56GK103770429SQ201310029488
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年1月25日 优先权日:2012年10月18日
【发明者】金学民 申请人:三星显示有限公司