保持工作台的制作方法与工艺

文档序号:11868185阅读:来源:国知局
保持工作台的制作方法与工艺

技术特征:
1.一种保持工作台,其是保持板状物的保持工作台,其特征在于,具有:环状保持部,其具有保持板状物的外周部的环状保持面;以及中央凹部,其被所述环状保持部围绕,在所述环状保持部形成有:抽吸口,其开口于所述环状保持面;抽吸通路,其一端与所述抽吸口连通并且另一端连接于抽吸源;液体喷出口,其开口于所述抽吸口的外周侧的所述环状保持面;以及液体流路,其一端与所述液体喷出口连通并且另一端连接于液体供给源,一边从所述液体喷出口喷出液体一边实施加工,通过喷出的液体来冲洗在该加工中产生的切削屑,抑制该切削屑附着于板状物以及保持工作台上。2.根据权利要求1所述的保持工作台,其中,所述环状保持部由树脂形成。
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