电化学处理器中的密封环的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种电化学处理器，包含：容器；转子，所述转子能够与所述容器啮合；密封环，所述密封环在所述转子上，所述密封环具有外壁，所述外壁通过末端接合至尖端圆弧，其中所述末端的半径小于0.25mm，且所述尖端圆弧的半径小于0.75mm。2.如权利要求1所述的电化学处理器，其中所述外壁包含直壁。3.如权利要求1所述的电化学处理器，其中所述密封环具有用于啮合晶片的上端，其中所述上端是通过直壁和半径形成。4.如权利要求3所述的电化学处理器，进一步包括支撑环，所述支撑环附接至所述密封环。5.如权利要求4所述的电化学处理器，其中密封环包含氟橡胶，并且所述支撑环包含金属。