专利名称：简易晶舟承载器具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种简易晶舟承载器具，用于半导体清洗设备中。
背景技术：
目前，在半导体清洗设备中，社会上应用于高温高酸碱液内晶片清洗的器具非常多，怎样去设计，怎么样实现其功能，尽可能的考虑结构简单，制作方便，是这个行业设计人员考虑的问题。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、制作方便，减少清洗时的障碍，又能保证工作过程中的安全性和准确性的简易晶舟承载器具。为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是:一种简易晶舟承载器具，它包括挂钩和承载器，承载器上具有两个侧板，承载器的顶部还固定有石英棒，石英棒支承在两个侧板之间，挂钩勾住石英棒，承载器上还具有多层承载板组，承载板组由两个具有定位孔的承载板组成，承载板组的每个承载板固定在相应的侧板上。进一步，所述的承载器和挂钩均由石英材料制成。采用了上述技术方案后，本实用新型的结构简洁，制作方便，在实现了功能的同时，大大减少了清洗时的障碍，降低成本，另外，考虑到本器具是在强酸碱环境下清洗，不能产生本体污染，本实用新型的材料采用高纯度的石英材料。
图1为本实用新型的简易 晶舟承载器具的工作示意图；图2为本实用新型的承载器的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，如图1、2所示，一种简易晶舟承载器具，它包括挂钩I和承载器2，承载器2上具有两个侧板2-1，承载器2的顶部还固定有石英棒2-2，石英棒2-2支承在两个侧板2-1之间，挂钩I勾住石英棒2-2，承载器2上还具有多层承载板组，承载板组由两个具有定位孔的承载板2-3组成，承载板组的每个承载板2-3固定在相应的侧板2-1上。承载器2和挂钩I均由石英材料制成。本实用新型的结构简洁，制作方便，在实现了功能的同时，大大减少了清洗时的障碍，降低成本，另外，考虑到本器具是在强酸碱环境下清洗，不能产生本体污染，本实用新型的材料采用高纯度的石英材料。以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新 型的保护范围之内。
权利要求1.一种简易晶舟承载器具，其特征在于:它包括挂钩(I)和承载器(2)，承载器(2)上具有两个侧板(2-1 )，承载器(2)的顶部还固定有石英棒(2-2)，石英棒(2-2)支承在两个侧板(2-1)之间，挂钩(I)勾住石英棒(2-2 )，承载器(2 )上还具有多层承载板组，承载板组由两个 具有定位孔的承载板(2-3)组成，承载板组的每个承载板(2-3)固定在相应的侧板(2-1)上。
2.根据权利要求1所述的简易晶舟承载器具，其特征在于:所述的承载器(2)和挂钩(I)均由石英材料制成。
专利摘要本实用新型公开了一种简易晶舟承载器具，它包括挂钩和承载器，承载器上具有两个侧板，承载器的顶部还固定有石英棒，石英棒支承在两个侧板之间，挂钩勾住石英棒，承载器上还具有多层承载板组，承载板组由两个具有定位孔的承载板组成，承载板组的每个承载板固定在相应的侧板上。本实用新型结构简单、制作方便，减少清洗时的障碍，又能保证工作过程中的安全性和准确性。
文档编号H01L21/67GK203085502SQ20132007079
公开日2013年7月24日 申请日期2013年2月7日 优先权日2013年2月7日
发明者卡尔·罗伯特·休斯特 申请人:硅密(常州)电子设备有限公司