一种晶舟结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种晶舟结构，所述晶舟结构至少包括：位于底部的两根连接柱，所述连接柱两端分别固定有前挡板及后挡板，所述前挡板与所述后挡板之间设置有多个平行且间隔排列的支撑板，所述支撑板为下宽上窄的无底边的框体结构。本实用新型的晶舟结构的支撑板减小了卡槽的槽位宽度，很好的固定了减薄晶圆，能直接用带晶舟的水晶盒来储存和运输减薄晶圆，不需要将减薄晶圆从水晶盒中转移到圆盒或黑盒中，减少不必要的重复劳动，同时避免减薄晶圆在带普通晶舟的水晶盒中储存和运输时遇到的因晃动而变形甚至破片的情况，提高减薄晶圆的良品率，保证后续工艺的正常运作。
【专利说明】一种晶舟结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体设备领域，特别是涉及一种晶舟结构。
【背景技术】
[0002]晶舟作为晶圆的承载装置，已广泛应用于半导体制造领域。在晶圆的储存及运输过程中，由于晶圆很薄，很脆弱，如果直接将晶圆暴露于空气中，将直接造成晶圆受到污染或者受外力伤害而破损，所以需要对晶圆进行包装保护，在对晶圆进行包装时，一般是使用带有晶舟的水晶盒对晶圆进行保存，避免晶圆直接接触污染物和外力，影响其使用性能。晶舟是一个内部设有多条卡槽的晶圆固定装置，能将每一片晶圆单独隔开摆放，不会产生晶圆与晶圆之间的摩擦，造成晶圆表面的磨损，同时减小晶圆在水晶盒中的晃动，最大程度上保证储存及运输的过程中，晶圆是完好无损的。
[0003]对于厚度大于15Mil的晶圆而言，其储存与运输均可在现有晶舟的固定下完成。但是，随着现代半导体【技术领域】的发展，晶圆的厚度被一再减薄，当晶圆厚度被减薄至15Μ?1以下时，减薄晶圆十分脆弱、极易弯折，由于传统晶舟卡槽设计上的缺陷，水晶盒内设的晶舟的槽位宽度过大并不能很好地固定减薄晶圆，如果直接用带晶舟的水晶盒储存或运输减薄晶圆，很容易发生晃动，导致减薄晶圆发生变形和破片的情况，降低减薄晶圆的良品率；为了保证减薄晶圆在运输过程中的安全，现在也会采用圆盒或黑盒进行包装，但这又存在以下问题:由于包装前使用的都是带晶舟的水晶盒，因此包装时需要使用真空吸笔手动地把减薄晶圆一片一片的放进圆盒或黑盒中，这样势必会带来重复劳动而且效率低下，同时存在很大的破片风险 。目前为了尽量减少这些不必要的晶圆损伤，会要求操作人员在操作时尽量谨慎小心，并要求快递和物流公司在运输晶圆时要避免对货物野蛮操作和撞击，但是这些解决方法都收效甚微，完全不能从根本上解决减薄晶圆在运输过程中的变形甚至破片问题，提闻减薄晶圆的良品率。
实用新型内容
[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶舟结构，用于解决现有技术中减薄晶圆在储存及运输过程中变形甚至破片的问题，为后续工艺的正常运作提供保障，提闻减薄晶圆的良品率。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶舟结构，所述晶舟结构至少包括:位于底部的两根连接柱，所述连接柱两端分别固定有前挡板及后挡板，所述前挡板与所述后挡板之间设置有多个平行且间隔排列的支撑板，所述支撑板为下宽上窄的无底边的框体结构。
[0006]优选地，所述多个支撑板均匀排布。
[0007]优选地，任意两个相邻的支撑板之间的槽位宽度为0.8mm~1.2mm。
[0008]优选地，所述框体结构为梯形，其下边长度为84mm~86mm，上边长度为18.5mm~19.5mmο[0009]优选地,所述支撑板的高度为IOlmm?103mm。
[0010]优选地,所述梯形框体结构的框体宽度为7.5mm?8.5mm。
[0011]优选地，所述支撑板在沿厚度W3方向的平面上的投影包括矩形下部以及位于所述矩形下部上的梯形上部。
[0012]优选地，所述支撑板的矩形下部厚度为4.8mm?5.2_。
[0013]优选地，所述连接柱的宽度为12.5mm?13.5mm,高度为7.5mm?8.5_。
[0014]如上所述，本实用新型提供一种晶舟结构，所述晶舟结构至少包括:位于底部的两根连接柱，所述连接柱两端分别固定有前挡板及后挡板，所述前挡板与所述后挡板之间设置有多个平行且间隔排列的支撑板，所述支撑板为下宽上窄的无底边的框体结构。本实用新型具有以下有益效果:本实用新型所提供的支撑板结构减小了卡槽的槽位宽度，很好的固定了减薄晶圆，能直接用带该晶舟的水晶盒来储存和运输减薄晶圆，不需要将减薄晶圆从水晶盒中转移到圆盒或黑盒中，减少不必要的重复劳动，同时避免减薄晶圆在带普通晶舟的水晶盒中储存和运输时遇到的因晃动而变形甚至破片的情况，提高减薄晶圆的良品率，保证后续工艺的正常运作。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1显示为本实用新型的晶舟结构在水晶盒中的结构示意图。
[0016]图2显示为本实用新型的晶舟结构的正面结构示意图。
[0017]图3显示为本实用新型的晶舟结构的侧面结构示意图。
[0018]元件标号说明
[0019]I 本实用新型提供的晶舟结构
[0020]2 水晶盒
[0021]3 减薄晶圆
[0022]11连接柱
[0023]12前挡板
[0024]13后挡板
[0025]14支撑板
[0026]LI梯形框体结构的下边长度
[0027]L2梯形框体结构的上边长度
[0028]L3支撑板梯形上部的倾斜面长度
[0029]L4从前挡板到后挡板在连接柱上占据的长度
[0030]Wl连接柱的截面宽度
[0031]W2任意两个相邻的支撑板之间的槽位宽度
[0032]W3支撑板矩形下部的厚度
[0033]W4梯形框体结构的框体宽度
[0034]Hl连接柱的截面高度
[0035]H2支撑板的高度
[0036]H3支撑板矩形下部的高度【具体实施方式】
[0037]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0038]请参阅图1至图3。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0039]如图1所示，图中显示了本实用新型提供的晶舟结构I配合水晶盒2装载减薄晶圆3的结构示意图。本实用新型提供的晶舟结构I下宽上窄的结构比较稳定，能够稳固放置于水晶盒2中，不会带来本实用新型提供的晶舟结构I与水晶盒2之间的晃动；减薄晶圆3在本实用新型提供的晶舟结构I固定下，避免了前后方向上的晃动，同时水晶盒2又在左右方向上固定减薄晶圆3。由此可知，减薄晶圆3装载在带有本实用新型提供的晶舟结构I的水晶盒2中，能有效避免储存和运输过程中的晃动，保护减薄晶圆3不变形甚至破片，保证后续工艺的正常运作。
[0040]如图2及图3所示，本实用新型提供的一种晶舟结构1，所述晶舟结构I至少包括位于底部的两根连接柱11，所述连接柱11两端分别固定有前挡板12和后挡板13，所述前挡板12与所述后挡板13之间设置有多个平行且间隔排列的支撑板14，所述支撑板14为下宽上窄的无底边的框体结构。本实施例中，优选为梯形框体结构。
[0041]本实用新型中的连接柱11为截面为矩形的柱体，所述连接柱11的截面宽度Wl设定为12.5mm?13.5mm,高度Hl设定为7.5mm?8.5mm,在本实施例中，所述连接柱的截面宽度Wl设定为13mm,高度Hl设定为8mm。本实用新型的两个连接柱11能有效固定前挡板12、后挡板13及支撑板14，结合下宽上窄的无底边的梯形框体结构的支撑板14，为本实用新型提供的晶舟结构I提供坚实、稳固的支架结构，使本实用新型提供的晶舟I结构稳固。
[0042]本实用新型提供的晶舟结构I上均匀排布支撑板14，任意两个相邻的支撑板14之间的槽位宽度W2设定为0.8mm?1.2mm,在本实施例中，所述槽位宽度W2设定为1.2mm,该槽位宽度W2是普通晶舟槽位宽度的一半，能有效固定厚度是普通晶圆厚度一半的减薄晶圆；所述支撑板14的高度H2设定为IOlmm?103mm，在本实施例中，所述支撑板的高度H2设定为102mm,支撑板14的下宽上窄的无底边的梯形框体结构的下边长度LI设定为84mm?86mm,上边长度L2设定为18.5mm?19.5mm,梯形框体结构的框体宽度W4设定为
7.5mm?8.5mm,在本实施例中，所述梯形框体结构的下边长度LI设定为85mm,上边长度L2设定为19mm，框体宽度W4设定为8mm，下宽的设计使底盘更稳，上窄的设计使接触面积相对减小，既能有效固定减薄晶圆3，又能减小接触面对减薄晶圆3的伤害。同时，支撑板在侧平面上的投影包括矩形下部以及位于所述矩形下部上的梯形上部，该矩形下部高度H3设定为79mm?81mm,矩形下部厚度W3设定为4.8mm?5.2mm,该梯形上部的倾斜面长度L3设定为22mm?24mm,在本实施例中，矩形下部高度H3设定为80mm,厚度W3设定为5mm,梯形上部的倾斜面长度L3设定为23mm，该设计使槽位上端较宽，能便于将减薄晶圆3插入本实用新型提供的晶舟I结构中，设计考量比较能够凸显人性化。[0043]前挡板12和后挡板13形状与支撑板14 一致，使得本实用新型提供的晶舟结构I在立面结构上保持统一，比较整齐美观；从前挡板12到后挡板13在连接柱11上占据的长度L4设定为159mm?161mm,在本实施例中,所述长度L4设定为160mm,该长度的设定能够提供足够多的槽位来装载减薄晶圆3。
[0044]综上所述，本实用新型提供一种晶舟结构，所述晶舟结构至少包括位于底部的两根连接柱，所述连接柱两端分别固定有前挡板及后挡板，所述前挡板与所述后挡板之间设置有多个平行且间隔排列的支撑板，所述支撑板为下宽上窄的无底边的框体结构。本实用新型所提供的支撑板结构减小了卡槽的槽位宽度，很好的固定了减薄晶圆，能直接用带该晶舟的水晶盒来储存和运输减薄晶圆，不需要将减薄晶圆从水晶盒中转移到圆盒或黑盒中，减少不必要的重复劳动，同时避免减薄晶圆在带普通晶舟的水晶盒中储存和运输时遇到的因晃动而变形甚至破片的情况，提高减薄晶圆的良品率，保证后续工艺的正常运作。
[0045]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种晶舟结构，其特征在于，所述晶舟结构至少包括:位于底部的两根连接柱，所述连接柱两端分别固定有前挡板及后挡板，所述前挡板与所述后挡板之间设置有多个平行且间隔排列的支撑板，所述支撑板为下宽上窄的无底边的框体结构。
2.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于:所述多个支撑板均匀排布。
3.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于:任意两个相邻的支撑板之间的槽位宽度为0.8mm?1.2臟。
4.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于:所述框体结构为梯形，其下边长度为.84mm ?86mm,上边长度为 18.5mm ?19.5mm。
5.根据权利要求4所述的晶舟结构，其特征在于:所述梯形框体结构的框体宽度为.7.5mm ?8.5mm。
6.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于:所述支撑板的高度为IOlmm?.103mm η
7.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于:所述支撑板在沿厚度W3方向的平面上的投影包括矩形下部以及位于所述矩形下部上的梯形上部。
8.根据权利要求7所述的晶舟结构，其特征在于:所述支撑板的矩形下部厚度为.4.8mm ?5.2mm。
9.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于:所述连接柱的宽度为12.5mm?.13.5mm,高度为 7.5mm ?8.5mm。
【文档编号】H01L21/673GK203690269SQ201420031375
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2014年1月17日 优先权日:2014年1月17日
【发明者】张学良, 高海林 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司