纳米结构半导体发光器件的制作方法

文档序号:14685868发布日期:2018-06-14 21:47阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的一个实施例提供了一种纳米结构半导体发光器件,其包括:基础层,其由第一导电类型的半导体构成;绝缘层,其形成在基础层上并且具有暴露出基础层的部分区域的多个开口;纳米核,其形成在基础层的暴露的区域中的每一个上,由第一导电类型的半导体构成,并且具有晶面与其侧表面的晶面不同的上端部分;在纳米核的表面上接连形成的有源层和第二导电类型的半导体层;以及电流阻挡中间层,其形成在纳米核的上端部分上,以位于有源层与纳米核之间。

技术研发人员:徐软瑀;金定燮;崔荣进;丹尼斯·桑尼科夫;成汉珪;千大明;许在赫;
受保护的技术使用者:三星电子株式会社;
技术研发日:2014.10.30
技术公布日:2016.07.13

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