一种新型宽束流减速器的制作方法

文档序号:11100398阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型宽束流减速器装置,该装置主要用于低能宽束离子注入机减速环节。其特征包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7),离子通过减速器之后既达到减速目的,又起到更好聚焦作用。

2.一种新型宽束流减速器装置,该装置主要用于低能宽带束离子注入机减速环节。其特征是,离子通过减速电极(1)进入减速器,在减速电极(1)和抑制电极1(2)之间的电势差产生一个加速电场,离子加速,同时聚焦电极(6)与抑制电极1(2)之间的电势差形成了一个水平方向电场,此电场方向使离子向里靠拢,达到水平方向离子聚焦作用。

3.根据权利要求1所述的宽带减速器装置,其特征是,离子通过抑制电极1(2)和聚焦电极(6)之后,随后是两个抑制电极2(4)、两个地电极1(3)和两个地电极2(5)构成透镜,根据透镜原理,离子在穿过透镜过程中,离子先聚焦后发散。

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